扫描电子显微镜在激光研究中的应用

本文总结了用扫描电子显微镜对激光玻璃、激光晶体、激光薄膜、半导体激光器等激光材料和元件进行观察与分析的初步结果,讨论了扫描电子显微镜在激光领域中的其他一些可能的应用。     

扫描电子显微镜在新材料研究中的应用

本文总结了我们在激光晶体、激光玻璃、激光窗口材料和非晶态金属等新材料研究中应用国产DX-3型扫描电镜所取得的初步结果。     

用扫描电子显微镜研究半导体激光器中的缺陷

一、前言近年来,利用扫描电子显微镜(SEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)研究结型半导体器件和发光器件(包括表面势垒型器件)方面有了很大的发展,特别是研究器件中的单个结构缺陷,微区光电性质和能级结构方面,展现了广阔的前景,证实了它是极有效的工具之一。SEM是利用一极细的高能电子束轰击样品,激发产生多种信息,将这些信息分别收集并加以恰当地利用,便可以反应器件的各种物理性质。对于半导体器件,高能电子束     

扫描电子显微镜在植物中的应用研究进展

扫描电子显微镜(SEM)作为一种行之有效的科研分析工具,可对多种植物材料的表面形貌进行观察研究,具有较广的应用范围.本文论述了扫描电子显微镜样品的制备以及在植物花器官、种子表皮、种子形态、叶片表皮、内含物、病原体以及在植物细胞水平的研究进展,并对今后扫描电子显微镜的应用前景进行了展望,以期为利用SEM从事植物研究的科研...     

用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路

用普通扫描电子显微镜 (ＳＥＭ)只能观测样品的表面形貌 ,不能观测到隐藏在表面绝缘层下面的半导体材料和集成电路的微结构。在普通的ＳＥＭ中安装了我们研制成功的透表面检测仪后就可以突破普通的ＳＥＭ只能观测样品表面形貌的限制 ,透过表面绝缘层透视到下面的半导体材料的缺陷和集成电路的微结构。我们在本文中首次公布用改装的ＳＥＭ观测到该绝缘层下面的半导体材料缺陷的微结构 (图 1 )。在研制和生产多层结构的集成电路时 ,在两层电路之间要制作一层ＳｉＯ2 来作绝缘层 ,在制作好的集成电路表面需要制作一层ＳｉＯ2 和Ｓｉ3Ｎ4 组成的…     

扫描电子显微镜在栅光刻工艺中的应用

阐述了扫描电子显微镜在解决栅光刻在线监测中遇到的问题和解决过程。在充分的理论分析基础上,通过大量实验研究,克服了光刻胶在高能电子辐照下变形、变性的问题;削弱了光刻胶样品表面荷电对图像质量的影响;在观测"T"型栅的胶窗口时采用特殊的工作条件获得了三层胶的立体形貌图像,从而能够观察三层胶的内部结构。上述问题的解决和技术的改进实现了栅光刻工艺的在线监测;并为栅光刻工艺的稳定和改进、产品成品率的提高提供了大量数据和图像。     

环境扫描电子显微镜在材料科学中的若干应用

本文简单介绍了构成环境扫描电镜（ESEM）的多级真空系统和气体二次电子探测器，描述了ESEM的基本工作原理。指出环境扫描电镜在材料科学研究中的独特作用、适用领域，并列举了若干应用实例。     

环境扫描电子显微镜在检验水中尸体中的应用

确定水中尸体是溺死 (生前入水 )或非溺死 (死后入水 )是刑事侦察的一个特别环节 ,通常用检验尸体内脏器官有无硅藻 (水中的浮游生物 )来判断 ,因其误差大、准确性差 ,常常给工作带来困难 ,准确解决水中尸体是否生前入水是一个世界级的难题。本文用环境扫描电子显微镜成功解决这一难题 ,准确度达到 1 0 0 %。在实际案件中使用效果很好。材料与方法参照硅藻检验方法解剖尸体 ,取尸体的肺脏 ,肾脏 ,心脏 ,肝脏。取肺时先用缝线结扎气管 ,防止异物进入肺组织 ;肾脏连包膜一起取下 ,用干净容器装标本 ,将标本用 1 0 %中性福尔马林(分析纯 )固定 …     

扫描电子显微镜在柞蚕茧丝形态结构研究中的初步应用

本文报告了使用国产TSM—1型扫描电镜观察到了柞蚕茧丝离子刻蚀前、刻蚀后的表面形态结构。电镜下显示,柞蚕茧丝是由两根扁平的单纤维组合而成,表面有不少纵线互相交织,并附有不少粒状的结晶物。两根单纤维有平行排列的,也有非平行排列的。单纤维的横截面形状不很规则,但多数近似为三角形。由于两根单纤维在茧丝中的排列位置经常改变,使茧丝的横截面形状也常有变化,大多为扁平的椭圆形,有时也近似于三角形。离子刻蚀后,在柞蚕茧丝纵向可以看到它的巨原纤的排列基本平行丝轴,且有层状排列结构。巨原纤的直径约为0.1—2μm左右,如照片所示。     

扫描电子显微镜在煤岩学上的应用

煤作为一种固体可燃有机岩，是我国长期依靠的重要能源。作者总结多年扫描电子显微测试分析工作，将扫描电镜在煤岩学上的应用大致归为以下几个方面。     

扫描电子显微镜

扫描电子显微镜(SEM)广泛用于研究开发和质量管理等领域。由于在半导体和高分子材料领域中,若将加速电压降到几千伏,就能清楚地观察试样表面,所以希望能开发以低加速电压高分辨率非破坏地观察试样的SEM。因此已将能以低加速电压高分辨率地观察直径150mm(6英寸)试料的S—4500型     

扫描电子显微镜

国外制成了一种扫描电子显微镜,它可用来极其精细地测绘微型电子设备上面积小于0.001平方寸的表面情况.这种显微镜和一般的电子显微镜不同,它是用一束极细的电子束对观察物表面进行逐行的扫描,所得到的图象用一种特殊的显象管显示出来. 由于扫描的电子束直径仅约0.1微米,因此显微镜的分辨力超过了任何一种最好的光学显微镜.这种     

基于扫描电子显微镜的半导体掺杂剂含量剖面分析研究进展

掺杂剂浓度剖面分析是半导体器件研发、诊断和电学性能提升的关键.扫描电子显微镜因具有埃级空间分辨率、成像速度快、荷电效应弱和辐照损伤小等优点,在表征掺杂半导体方面独具优势.本文简要介绍了扫描电子显微镜在掺杂半导体表征方面的研究进展及挑战,包括SEM图像中掺杂衬度的产生机理、成像参数以及SE的能量和出射角度对掺杂衬度的影响...     

扫描电子显微镜测试技术在岩土工程中的应用与进展

综述了扫描电子显微镜（SEM）测试技术在岩土工程中的若干进展，包括样品的制备及测试方法，微观结构变化的动态监测方法，扫描电子显微镜的定量分析技术，微观力学本构模型的研究等方面。就SEM应用现状及发展趋势作了评述。     

环境扫描电子显微镜中的电子传输

早期Ａｒｄｅｎｎｅ等人用对电子透明的薄膜将ＴＥＭ的样品封装起来 ,使其与真空隔离 ,达到了检测生命物质、活体孢子和化学反应的目的。现在环境扫描电镜ＥＳＥＭ成为在气体环境中 (压力可以达到一个大气压 )检测样品表面的另一种强有力手段。由于ＥＳＥＭ的加速电压相对较低 ,而电子要从高真空区域 ,经过压差光阑和低真空区域 ,才有可能最终到达样品表面。所以在设计和应用中 ,尽量创造良好的电子传输条件是非常必要的。分析 :钨灯丝ＥＳＥＭ的真空系统由图 1表示 ,图中的两只压差光阑ＰＬＡ1和ＰＬＡ2 ,使样品室、一级和二级抽真空系统的…     

微型计算机在电子显微镜中的应用的研究

当今电子显微学发展的一个重要趋势是电子计算机的广泛采用。这包括三个主要的方面:1)电子显微镜系统的计算机辅助设计;2)电子显微镜操作的智能化;3)电子显微样品图像、结构特征信息的分析处理。美国芝加哥大学的Crewe教授和日本大板大学的桥本教授都在他们的原子分辨本领的电子显微镜中使用了图像处理设备,并取得令人满意的结果。一、问题的提出要能在电子显微镜中进行图像数据的计算机处理所遇到的几个问题是:1)接口:为保证采集到的图像数据与样品中的采样点完全对应,这就要求图像数据的采集与电子束在     

溶蚀碳酸盐岩的扫描电子显微镜研究

本文着重用SEM对不同的碳酸盐类的岩石结构及其模拟溶蚀后的特征作了对比研究,并探讨了它们的地质意义。石灰岩类是指方解石含量占50％以上者。其溶蚀后的结构特征随方解石和其所含杂质的含量、杂质类型以及原始结构而定。杂质<10％的石灰岩溶蚀后呈不均一的网络状溶孔和溶隙(照片1)。洞、隙连通性较好,易于地     

NTD硅单晶的扫描电子显微镜研究

中子嬗变掺杂(NTD)硅单晶具有轴向和径向电阻率均匀、掺杂目标电阻率精确及无微电阻率结构等重要特点,用这种材料制得的高压整流元件具有雪崩特性好、电压分散小、等级合格率高和过载能力强等电学特性。本文用扫描电子显微镜的束感应电流(EBIC)象和吸收电流象(AEI)分别观察了NTD硅单晶和区熔硅单晶高压整流元件PN结的平整度、结深、耗尽区内的缺陷特征及其分布和少子扩散长度的变化,从而直观地显示出它们的电学特点。