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镉、锡复合氧化物及掺银薄膜的气敏光透射特性 总被引:3,自引:0,他引:3
CdO-SnO2复合氧化物是对乙醇气体选择性较好的敏感材料[1],但灵敏度比纯SnO2低。对镉、锡复合氧化物掺微量银后,灵敏度明显提高。掺银薄膜的气敏光透射特性好,可检测乙醇饱和气体的浓度高且重复性好。 相似文献
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用PCVD制备的SnO2导电薄膜及其对NOx的气敏特性 总被引:8,自引:0,他引:8
本文利用PCVD方法制得了SnO_2导电薄膜,分析了其电学性能与沉积参数的关系,同时测得该膜具有负温阻特性,这种薄膜是n型半导体膜。在不同温度和不同NOx气体浓度下,对该膜进行了NOx气敏特性的测试。发现在常温下,SnO_2薄膜对NOx,具有较高的灵敏度,响应时间快的特性。 相似文献
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气敏酞菁锌薄膜透射光谱特性 总被引:1,自引:0,他引:1
采用真空升华方法制备了酞菁锌(ZnPc)薄膜,并分别测量薄膜在不同浓度的乙醇和NH3气体中的透射光谱。结果发现,波长为350nm时有强的吸收峰,波长为460nm时光透射率最大;薄膜在乙醇气体中的透射率随浓度的增加而下降;NH3浓度的变化对薄膜的光透射率基本无影响。这说明Zn-Pc薄膜有良好的气敏光谱特性。 相似文献
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溶胶凝胶法制备的ZnO气敏薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
Zn(CH_3COO)_2通过溶胶凝胶法(Sol-Gel)被制备成粒度分布均匀的ZnO气敏薄膜,固有构参数已被确定。通过XRD(X射线衍射仪)和TEM(透射电镜)的分析结果,确认膜为ZnO多晶材料,并且利用高阻计测试了在不同气氛中试件的气体灵敏度。 相似文献
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环境温度对SnO2元件气敏特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了环境温度变化对各种SnO2元件气敏特性产生的影响,突出地表现为随着环境温度的降低,气敏元件在空气中的阻值R0明显增大。用有机硅化物处理元件的表面可减小元件R0的这种漂移。 相似文献
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SnO2超微粒子薄膜的气敏特性研究 总被引:4,自引:0,他引:4
作者用自行设计的直流气体放电活化反应蒸发装置制备出平均粒径约为40nm的SnO_2超微粒子薄膜.研究了不同氧分压下所得SnO_2超微粒膜的形貌、结构和组成等特性,以及不同样品对各种易燃气体的气敏特性,得出了灵敏度随氧分压及灵敏度随工作温度的变化曲线. 相似文献
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XPS分析表明,用直流溅射法制备的掺钯薄膜气敏元件,钯的溅射率比锡高,在薄膜中钯的含量高于靶中的含量、和纯SnO_2薄膜相比,此元件对还原性气体有很高的灵敏度,尤其对H_2和CH_4.对于该元件的气敏机理也作了初步探讨. 相似文献
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本文研究了用直流气体放电活化的反应蒸发制备的二化锡纳米薄膜的表面性质、电学性质以及气敏性质,重点研究正反向电场对其电学性质和气敏性质的影响,从理论上探讨了它的气敏机理。 相似文献
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采用酸化后的碳纳米管与聚苯胺掺杂作为传感器的气敏材料.通过丝网印刷技术将无铅铝浆印刷在氧化铝陶瓷基板上形成电感线圈,并将制备好的气敏材料涂覆到电感线圈上,制备出LC谐振式无源气体传感器.制作成气体传感器后在NH3气氛中进行测试分析,实现了在密闭环境下的非接触测量.重点分析了在室温下NH3气体的浓度对传感器谐振频率f0的变化及响应恢复时间的影响,结果表明气体浓度在300×10-6时,传感器的灵敏度为4.499 MHz. 相似文献