全金属超高真空气动闸板阀的研制

一、概述 近年来,随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空闸板阀已被重视和较多的应用。我所已研制成功直径为 150毫米和 200毫米两种超高真空全金属铟密封的气动闸板阀。 这种阀是由阀体、密封阀盖、摆动气缸三部组成(如图1所示)。阀的材料采用1Cr18Ni 9 Ti制成,可防腐蚀,阀口密封铟垫圈采用水冷却方法,可使阀烘烤至300,经过试验证明这种阀具有结构简单,占空间位置小(尤其是采用摆动形式,结…     

超高阀铟密封实验研究

近年来由于无油超高高效的抽气系统的广泛采用,促进了配套的主超高阀门的研究工作。大型的全金属超高铟阀就是在这种背景下产生出来的。苏联在63年以后提出了一个超高铟间系列。西欧的真空阀门专业厂生产了阀口通径为200mm以下的各种超高钢阀。我们国内相适应地也研制成功了口径300、 200、 150 mm等规格的全金属的超高铟阀。广泛的使用和长时间的生产实践证明,当前的超高铟阀还是技术不过关的。 一、超高铟阀存在的问题 当前超高铟阀技术不过关的集中表现,为性能不可靠、使用不方便、工艺复杂这三个方面。造成这些问题的出现,其一就是因为…     

全金属密封超高真空闸阀

前言 随着加速器等科学技术的发展,对清洁超高真空系统提出了新的要求,全金属密封闸阀已被重视和较多应用。这种阀门与弹性体(橡胶)密封的阀门相比,大大降低了有机物的污染,具有通导大,压强增长率低,有利于获得更高的真空度,还具有耐高温和抗高能粒子辐射效应等优点。本文浅述了有关技术要点。并提一个复合金属密封闸阀的研制中情况。 一、金属密封闸阀的 必要条件 金属密封闸阀由于金属密封材料的塑性变形和在密封时的硬性接触,以及内部机构的其它原因,需要有足够的力来达到密封。为了实现密封性能可靠和长寿命,通常要有精确重合能力的密封…     

大通径全金属超高真空阀的应用分析和研制

本文通过典型的真空应用设备的发展情况分析，描述了大通径全金属超高真空阀的使用条件和需求，以及现今的科研情况。同时对大通径的全金属超高真空阀门的开发工作作了初步总结。     

第九讲：真空系统组成元件

３．真空阀门的设计（上接１９９９年第５期第４８页）真空阀门是真空系统的重要元件。对于构成管路一部分的阀门,其流导大小是一个重要的性能参数。对于主要用来起开关气路作用的阀门,阀板关闭的密封性能也是重要的性能参数之一。密封性能是用其漏气率来衡量的。对于主要用来调节气流大小的阀门,能够调节气流量的精度及范围,则是一项重要的性能参数。对于全金属超高真空阀门,每次关闭是否性能稳定？使用寿命是否长？是其主要的性能指标。（１）对真空阀门的一般要求①阀门的密封性能要好,阀板密封处的漏气率要小;②阀板开启后应尽可…     

CCQ-400型超高真空闸板阀的研制

CCQ-400型超高真空闸板阀的研制是根据兰州近代物理研究所建造的重粒子加速器的要求,作为3500升/秒的分子泵配套的主阀门被提出来的,要求阀门具有高度的可靠性,不允许阀门在中途出现任何一点故障。 我们针对着阀门的结构、性能、可靠性展开了研究试制工作。 一、超高真空阀门的     

φ40全金属密封闸阀

一、引言 通径φ40毫米全金属密封闸阀是为强流短脉冲电子直线加速器的栅控电子枪与大气隔离而设计、研制的。电子枪的束流传输要求该问阀的厚度尽量薄,能直接通过电子束流。由于电子枪的烘烤排气和阴极分解激活的工艺要求,以及加速器真空系统需获得超高真空,要求该闸阀内部结构简单,能耐可靠,关闭时闸板的主密封对大气的泄漏率不大于10-9-10-10托·升/秒。配上这样闸阀的电子枪在制造的工艺过程中能获得很高的超高真空,并在靠闸阀与大气隔离而移出排气台后一段较长的时间内,枪内仍能维持相当高的高真空,已激活的复合阴极不致中毒,阴极发射…     

新型系列超高真空闸板阀

一、前言 北京大学同上海先锋电机厂合作,共同设计、试制了一台4.5MeV单级静电加速器。目前,这台加速器正在进行安装前的各个部件的调试工作。在该加速器长达80米的束流管道上和所有真空机组上。共设计了36个四种尺寸的超高真空闸板阀,即口径分别为75、100、150(图1)、250毫米。阀门结构简单,特别容易加工,使用可靠。近三年来的使用表明,它的各项指标全部达到了设计要求,取得了满意的结果。上海先锋电机厂已把这些阀门系列化,即“CG系列超高真空闸阀”,作为产品进行生产,已经销售到许多单位。本文将简要介绍该阀门的结构及其特点。 二、阀…     

通径150毫米可烘烤全金属超高真空闸阀的研制

一、引言可烘烤金属密封的超高真空阀门在我国还是一个薄弱环节。至今定型的商品化的只有无氧铜阀头的,口径为25毫米和50毫米的两种角阀,尚未形成较完整的系列。近几年来,国内有几个单位正在研制口径150、200和300毫米的超高真空闸阀。作为软密封面材料的有氟橡胶、铟和在钛合金板上镀银等。有的已经研制成功并见之于报道。本文介绍的阀门是托卡马克类型的受控核聚变装置HLQ-1上的部件。开始我们为了提高烘烤时的抗氧化性能,采用黄金电镀层作为软密封面,但结果不理想。我们没有在镀金方面深入下去,而是改用了镶嵌金丝圈的方法,取得了较满意的结果。     

直径150毫米全金属超高真空插板阀及其用于天文电子照相机的实验

本文介绍了直径为150毫米的全金属超高真空插板阀门的研制情况和它在大型天文电子照相机中的应用实验。描述了装置的结构、性能以及排气试验结果。阀门与电子照相机管体的联合排气试验结果指出,阀门的性能能够满足制备和防护大型天文电子照相机光电阴极以及一般超高真空排气系统的选通要求。     

超高真空法兰金属密封方法

随着粒子加速器技术、航天技术的发展,对于真空的要求越来越高,进而发展而来了多种超高真空密封形式,以适应不同的工作环境。本文着重介绍当前主要应用于超高真空的金属密封方法。     

大口径氧化铝陶瓷与不锈钢材料的封接及其真空检漏

壁电流探头作为一种测量束团纵向尺寸以及强度的探头,在加速器系统中应用广泛。加速器真空系统为超高真空系统,氧化铝陶瓷耐高温,绝缘性能高,出气率低,介电强度高。不锈钢耐锈蚀,可烘烤,有较低的出气速率,是常用的优良的超高真空系统材料。介绍了陶瓷可阀合金封接工艺、可阀合金与不锈钢氩弧焊焊接结构、及氦质谱检漏技术。     

Φ45和Φ50直角式超高真空阀简介

在毛主席的“独立自主、自力更生”方针指引下,我国的电子工业、国防工业、科学技术等方面都有了迅猛异常的发展。为此,超高真空技术也得到了广泛应用。我国电子工业近两年来,对超高真空专用设备的需要越来越迫切,很多兄弟单位都在进行超高真空设备的研制,如超高真空镀膜和排气,以及科研方面所需的超高真空系统等等。在这些排气系统中都需要一套可以烘烤除气的截止阀。七零年在试制超高真空离子泵(包括冷阴极和热阴极)和去年试制超高真空离子泵排气台时,我们对φ45和φ50直角式超高真空间作了初步研制。实践证明这种阀,用铝垫密封,能在200℃…     

磁偶合传动

动力的传递一般讲是很容易的。可在真空中,尤其是在超高真空中,怎样把真空室外部的动力传递到真空室内不是一个简单的问题。它不但要解决一个传递的形式,而且要解决传动时的真空密封问题。对于低、中真空的旋转轴的密封已胜利的解决了。超高真空中,它的压力要低达10-9托以下。一般的橡胶圈密封已不能适应了。为此人们又想出了很多种办法,如采用铟、镓、锡低熔合金的液体密封,磁流体密封和磁偶合传动等。本文将介绍我们对磁偶合传动的试验情况。 我们在某项工程设备中,它需要把动力 (旋转运动)传递到超高真空室内去,而且转速很高,5000转/分以…     

全金属超高真空快速关闭阀关闭时间的精密测量

一、引言全金属超高真空快速关闭阀(以下简称快阀)是同步辐射装置的重要真空保护器件。它置于光束线上游,一旦光束线的下游发生真空事故,产生大气泄漏,气体压力传     

超高真空管路元件

一、前言 在任何真空系统中,常需要有像阀门、可拆卸密封、电引线和机械连通装置等零部件来连接。这些零部件称作真空管路元件,或简称元件。 对超高真空应用,这些元件必须满足刚性材料的要求[1],即放气的气源要最少,特别是当它们构成真空室壁一部份时,至少应能烘烤到250℃,有最     

光束线超高真空阀多参数状态监测系统设计

光束线良好的运行状态是用户正常实验和存储环安全运行的重要保障.为提高光束线的关键设备超高真空阀故障的诊断能力与运维水平,在合肥光源现有光束线控制系统的基础上,开展了超高真空阀门的状态监测研究.本文给出了超高真空阀的多参数状态监测实现方法,获取了超高真空阀门开关动作的数据波形,同时在实验物理和工业控制系统(EPICS)平...     

真空密封橡胶的选择与应用

真空技术在许多工业部门广泛应用,特别是电子工业、航天科学技术、表面物理等尖端科学研究工作的发展,促使真空技术的不断进步。随着科学技术的飞速发展,真空密封件已经成为真空技术中的重要元件之一。到目前为止,橡胶密封件已经可以解决10-9～10-10托的超高真空的密封,并且取得一定的工作寿命,为真空技术提供了较为可靠的密封手段。 解决真空密封,除了要有正确的橡胶密封结构设计外,合理选择真空密封弹性体是关键。而橡胶的耐热性、耐压缩变形、漏气率、气透性、出气率和升华等是影响真空密封的几个主要因素。下面就这几个因素对真空密封的…     

超高真空直接比较校准装置

本文主要介绍适应加速器的全金属超高真空直接比较校准装置。该装置采用比对法校准，选用性能比较稳定的磁悬浮转子粘滞规作为一级传递标准。在装置的设计、工艺处理等方面具有独到之处，从而获得较好的极限真空和校准结果。     

800毫米高真空插板阀的研制

一、引言 性能良好的真空阀门是真空系统不可缺少的部件。目前国内已有各类阀门可供选择。从真空角度来说,真空间门的主要要求是:通导大、密封可靠、通导调节性能好等。插板阀在这方面的优点是很突出的,特别是在大型阀门中多是这种结构,但目前国内口径大于400毫米的插板阀尚无产品。 近几年来,我国空间环模,大型镀膜和大型炼钢等大型真空设备的研制,急迫地需要大型的高真空阀门。为此,在七八年我们共同研制成功了二台800毫米通径的高真空插板阀。现对该阀的性能、设计、制造和试验情况作一简单介绍。 二、工作原理和主要 技术指标 阀门的外…