石英振子式湿敏元件的研制

在气湿敏感技术领域中,自从W.H.King开创石英振子湿敏元件先河以来,经人们努力开拓,它在气湿敏感技术领域中已显示出广阔的应用前景.显然,由于它的工     

石英谐振式CO_2气敏元件

以聚乙烯亚胺 (PEI)为敏感涂层 ,制作了石英谐振式气敏元件。研究结果表明 ,该元件对CO2具有较高的灵敏度和较好的选择性及快速的响应恢复特性     

高分子湿敏器件及其特性

由憎水性的甲基丙烯酸丁酯（Ｂｕ）和亲水性的甲基丙烯酰羟乙基三甲基氯化胺（Ｑｂ）合成的高分子材料作为感湿膜,制作的湿敏元件具有良好的感湿特性,为增强其耐水性,可加入适量的交联剂和增涂保护膜,取得了良好的效果。     

电容式高分子湿敏元件的研制

用等离子体聚合技术，制得一种结构新型和性能优良的电容式高分子湿敏元件。     

湿敏元件测试系统研制

该测试系统由湿度源、测控电路、通信接口、虚拟监控面板、数据分析软件五个部分组成。湿度源采用平衡水汽压法设计；在测控电路设计上实现了对传感器输入信号的检测、调理和控制功能；采用虚拟监控面板取代传统仪器中仪器面板或液晶屏幕，提供测试系统与用户的人机界面、进行数据处理和对下位机进行实时监控：统计分析软件包括对C值、Q值、线性、湿滞、精度、失效模块等数据的显示、分档、存储、打印、以及数据库管理的操作，     

降低高分子电容式湿敏元件湿滞的实验研究

针对高分子电容式湿敏元件的湿滞无法通过后续电路完全实现补偿的问题,提出了从高分子电容式湿敏元件本身降低湿滞的方法。主要从制作工艺、湿敏材料的选择两方面进行了实验验证,并对制作完成的高分子电容式湿敏元件进行性能测试与数据分析。实验结果表明：通过控制制作工艺和对湿敏材料进行改性可以降低湿滞,湿滞优于1.5%RH。采用该方法制作的湿敏元件无需再次通过后续电路进行湿滞补偿。     

石英晶体谐振式绝对压力传感器研制

介绍了一体化石英谐振式压力传感器的研制,采用石英晶体材料制做弹性膜片,用音叉式石英力敏谐振器检测压力,减少了传感器的体积,降低了制造工艺难度。研制的传感器量程为0~120 kPa,中心频率为(40±4)kHz,精度为0.05%。     

石英谐振式称重传感器的数据获取及处理

分析研究了石英谐振式称重传感器的输出信号的获取及数据处理方法，并针对输出信号的特点，提出了数字非线性滤波、线性滤波、漂移抑制等组合数据处理方法，得到了高精度、高稳定度和响应快速的称重传感器数据。并给出了具体的信号提取电路和分析处理数据实例。     

涂敷脲醛树脂的石英晶体微天平湿度传感器

在碱性条件下预先合成脲醛树脂单体,然后在酸性条件下于石英晶体的电极上原位合成脲醛树脂高分子薄膜,制备了石英晶体微天平湿度传感器。同时考察敏感膜厚度对检测灵敏度的影响以及传感器的响应特性、重复性和稳定性。试验结果表明:涂敷脲醛树脂薄膜的传感器频率随测试的相对湿度变化明显,传感器具有良好的重复性和稳定性。制作的湿度传感器可应用于实际的生产、生活中。     

一种音叉式水晶温度传感器

研制成功一种水晶温度传感器。它采用ＺＹＴＷ１２０°／８．５°新切型,弯曲振动模式工作。封装尺寸是Φ３ｍｍ×８ｍｍ。测温范围宽－５５～２６０℃,准确度高（≤０．０２℃）,分辨率好（≤０．０１℃）,响应速度快（≤４ｓ）,功耗低（≤２μＷ）,长期稳定性佳（≤０．０１℃／年）,不必使用Ａ／Ｄ变换器,直接与计算机配合使用。该传感器已成功地应用在ＷＹ－Ｊ１型精密水晶温度仪中,并在某国防工程应用,效果满意。     

CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor

A high-sensitivity capacitive humidity sensor intended for use as part of a respirator end-of-service-life indicator system is presented. This paper reports a method for improving the sensitivity of integrated capacitive chemical sensors by removing the underlying substrate. The sensor is integrated with CMOS testing electronics using maskless postprocessing followed by ink-jet deposition of a sensitive polymer. Two different methods of depositing polymer, namely, capillary wicking and coating the top surface directly, were investigated. The sensors had measured sensitivities of 0.16% to 0.18% change in capacitance per percent relative humidity, which is the highest demonstrated for an integrated capacitive humidity sensor. Temperature sensitivity of the sensor, which is an important criterion for a sensor intended for a variety of different ambient conditions, was measured to be $0.07%/^{circ}hbox{C}$. The cross sensitivities to toluene and acetone, which are two common industrial solvents that are filtered by respirator cartridges, were measured to be $2.4 times 10^{-4}$ and $9.0 times 10^{-5}%/hbox{ppm}$, respectively.$hfill$ [2009-0165]      

采用阻抗输出薄膜式湿度传感器的单片机湿度监控仪

本文报导一种新研制的湿度监控仪.由于采用了先进的MCS-51系列8031单片微机及阻抗输出湿度传感器构造,该监控仪具有硬件结构简单、抗干扰能力强、可靠性高和体积小等特点.     

国外湿度传感器发展动态

综述了近年来国外湿敏元件及其传感器的发展动态，重点介绍了电容式、电阻式等湿度传感器所采用的新材料、新结构以及新工艺．文中指出，对发展高分子电阻式湿度传感器这一技术动向应予以重视．     

湿度传感器的选用及发展趋势

湿度传感器在工农业控制领域的应用越求越广泛,介绍了湿度传感器的分类和各自的优缺点以及适用领域,并对湿度传感器选用原则进行了介绍,同时对湿度传感器与湿度变送器进行了区别,最后总结了当前湿度传感器的发展情况及发展的趋势.     

声表面波湿度传感器

叙述了声表面波的有关概念。介绍了声表面波湿度传感器的工作原理及器件制作,并对这种新型湿度传感器的性能及有关问题作了讨论.     

采用IC传感器的相对湿度测量

在比较各种相对湿度测量方法及传感器的基础上,结合实例介绍了集成湿度传感器的特性及使用方法,指出使用条件的影响因素及补偿途径,给出了带有湿度效应补偿作用的相对湿度检测具体实现线路,并提供了检测软件计算的具体表达式,分段实施的对比实验结果,以及检测过程的外界条件限制。     

基于ELC谐振器的湿度传感器

LC谐振式湿度传感器因无源无线,可极大拓展传感器应用范围,已成为湿度传感器的研究热点之一.将超常媒质(metamaterials)应用在谐振器的结构选择上,解决了传统LC谐振式传感器尺寸过大,灵敏度较低的问题.湿度传感器由电耦合LC谐振器(ELC谐振器)和聚乙烯醇(PVA)敏感薄膜构成.首先利用电磁仿真软件,分析ELC谐振器主要结构参数对谐振特性的影响,设计和制作谐振频率为2.45 GHz的谐振器,品质因数达到302.然后通过滴涂法将制备好的感湿材料聚乙烯醇溶液涂敷在ELC谐振器表面制作湿度传感器,并进行了湿度敏感测试.实验结果显示:ELC谐振器在全频段内磁导率均为正,在频段2.19 GHz~2.98 GHz内介电常数为负,具有超常媒质特性;湿度传感器在相对湿度35% RH~88% RH范围内,谐振频率共偏移69.875 M,且在83%~88% RH湿度范围内感湿灵敏度η达到71.5 MHz/% RH.研究表明ELC谐振器因超常媒质特性实现了结构小型化,且由于品质因数较高改善了湿度灵敏度.