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相似文献
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1.
光敏聚酰亚胺光刻胶及光刻工艺的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
  相似文献   

2.
本文说明了印刷线路板用热固型、光固(uv)型抗蚀剂的主要性能指标,抗蚀剂的主要成份及作用。重点阐述了影响抗蚀剂产品质量的主要因素以及国外在研究抗蚀剂方面所取得的经验。有助于国内进一步开发抗蚀剂这一产品,尽快实现印刷线路板用抗蚀剂的国产化。  相似文献   

3.
抗蚀剂近年发展动态   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

4.
纳米压印抗蚀剂研究进展   总被引:2,自引:0,他引:2  
纳米压印是最有希望的下一代纳米成像技术之一.基于其机械压印原理,纳米压印技术可以实现的图形分辨率超越了在别的传统技术中由光衍射或粒子束散射造成的局限.本文介绍纳米压印技术的基本原理,回顾了近期纳米压印抗蚀剂的研究进展.对影响抗蚀剂性能的主要因素进行讨论,包括玻璃化转化温度/热稳定性、粘度/平均分子量、抗蚀性能等.分别介绍了热压印和紫外压印的常见抗蚀剂材料,这些抗蚀剂的主要部分包括聚甲基丙烯酸甲酯(PM-MA)、有机硅改性的聚(甲基)丙烯酸酯、聚酰胺酯、聚二甲基硅烷、聚乙烯基醚化合物、环氧树脂等,并给出这些抗蚀剂体系的优、缺点.本文还介绍了纳米压印抗蚀剂面临的主要问题,对纳米压印技术的优势和问题作了小结.  相似文献   

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本文综述了近 10年来电子束化学增幅抗蚀剂的概况、主要组成、成像反应机理及电子束抗蚀剂的发展方向。  相似文献   

7.
酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理,主要包括(1)分子间氢键作用机理;(2)偶联反应机理;(3)两步即静态、动态溶解抑制机理;(4)表面沉积溶解抑制机理;(5)酚醛树脂的分子溶解及相关的抑制机理.  相似文献   

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甲酚醛树脂—HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究   总被引:2,自引:1,他引:1  
本文利用二苯碘盐为光敏产酸物,吩噻嗪为敏化剂,配制了一种甲酚醛树脂———六甲氧基甲基三聚氰胺(HMMM)负性水型紫外化学增抗蚀剂,并研究了光敏产酸物和增感剂对体系光敏性的影响及体系中存在的拉平效应,通过优化后的光刻工艺条件得到了分辨率为1.24μm的光刻图形.  相似文献   

10.
本文介绍了纳米压印技术的基本原理。总结了紫外纳米压印抗蚀剂的种类以及组分。具体包括丙烯酸酯体系、环氧树脂体系和乙烯基醚体系的配方组成及单体合成方法。比较了各个体系的优缺点。本文还分析了目前国内纳米压印抗蚀剂的研究现状并对其研究方向进行了分析与展望。  相似文献   

11.
光敏聚酰亚胺的进展及其在光纤涂料中的应用   总被引:1,自引:1,他引:1  
概述了负性光敏聚酰亚胺的研究进展和光纤涂料当前研究的热点,提出了将负性光敏聚酰亚胺用于耐高温光纤涂料的新设想。  相似文献   

12.
光敏树脂的研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文介绍了环氧丙烯酸醌和聚氨酯丙烯酸酯这两种光敏树脂的合成方法,固化体系的选择,并对几种光固化引发体系作了比较。本文还就电子转移敏化剂在光固化反应中的应用作了初步探索。  相似文献   

13.
正型重氮感光材料成像性能的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
为提高重氮感光材料的成像性能,对正型重氮感光材料的光谱感度、重氮盐与偶合剂的自偶合效应,偶合活性和所生成的偶氮染料的发色效率,溶剂效应及图像的色牢度等进行了试验研究,为成功制作出高质量的重氮感光材料提供了基础。  相似文献   

14.
本文合成了一种具有高玻璃化温度的苯乙烯和N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺的共聚体,并将其应用于紫外负性水型化学增幅抗蚀剂中,并初步确定了该光致抗蚀剂的光刻工艺操作条件,得到了分辨率为1.39μm的光刻图形.  相似文献   

15.
环氧树脂耐热绝缘材料的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文对用互穿网络方法制备环氧树脂绝缘材料进行了探讨,分别考察了环氧树脂、固化剂、添加剂及原料配比等对材料性能的影响。制备了具有较好工艺性、较高耐热性(F级)和机械性能的绝缘材料。  相似文献   

16.
本文引入单体MAGME合成了具有自交联作用的MAGME、苯乙烯和N ( 4 羟基苯基 )马来酰亚胺的共聚物 ,并以该聚合物为基体树脂 ,研制了一种新型的水显影化学增幅型负性抗蚀剂 ,并初步研究了其光刻工艺条件 .  相似文献   

17.
高压玻璃钢管道以其优异的性能被广泛应用于石油储运领域,如何提高玻璃钢管道的耐压能力成为目前研究的热点。本文从树脂的黏度特性角度出发,将提高管道耐压能力的问题转化成对管道成型工艺过程中的温度控制问题。利用有限元软件ANSYS和APDL语言开发了数值模拟程序,对采用传统恒温加热的固化成型工艺的缠绕过程进行了数值模拟,分析了外表面温度变化规律,并通过优化缠绕过程的加温历程使复合材料外表面温度在期望的范围内。  相似文献   

18.
主要研究酚醛树脂的浸渍含量对炭素机械密封材料的机械,物理性能的影响,同时对炭石墨材料浸渍酚醛树脂的浸渍机理及酚醛树脂固化机理作了初步的探讨。  相似文献   

19.
基于主元分析的工况区域识别方法   总被引:2,自引:0,他引:2  
赵捧 《化工学报》1998,49(3):276-281
工况区域的识别是进行区域优化控制的基础.提出了一种基于主元分析的工况区域识别方法,并以工业生产过程中常见的精馏过程为例,进行了仿真研究,证实了该方法的有效性.  相似文献   

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