采用虚拟仪器技术的湿度传感器测试系统

为满足湿度传感器生产的需要,采用虚拟仪器技术设计了电容式湿度传感器测试系统。该测试系统由湿度源、信号采集系统及计算机组成,可以同时对30-100个湿度传感器的电容值和Q值进行测量,使湿度传感器测试实现了智能化、自动化。     

湿度传感器检定方法探讨

文章针对湿度传感器检定规程中对传感器稳定时间和测量次数没有具体规定,为了提高湿度传感器检定数据的准确性,选用自动气象站业务中广泛使用的HMP155A型温湿一体化传感器。根据检定数据,分析讨论了符合实际检定条件的湿度传感器稳定时间和测量次数,对自动气象站湿度传感器的检定过程具有一定的参考意义。     

湿度测量技术与湿度传感器的发展趋势 ——5~(th)IMCS评析

通过对第五届国际化学传感器会议的分析,作者认为,发展专用湿度传感器,例如高温、高湿环境测湿用的湿度传感器以及检测固体表面凝聚水量、检测微区空间气相湿度的测湿技术和湿度传感器等,乃是当前湿度传感器和测湿技术深入发展的主要标志之一。文章对SAW固体电介质（氧离子导体、氢离子导体）、聚合物电阻型以及微型si空气桥热力学式等四类湿度传感器技术与国际先进水平作了一些比对,并对与国际先进水平的差距及其学术上的原因作了某些分析。     

孔深孔径对多孔湿度传感器灵敏度的影响

湿度传感器有电阻和电容等类型,由此可以从电阻和电容等方面分析湿度的变化.根据多孔Al2O3电容湿度传感器微观结构,建立了该器件的等效电路模型,利用此模型讨论了孔深和孔径对多孔Al2O3 湿度传感器性能的影响.根据孔深孔径的合理取值范围,通过仿真,找出孔高比与面积占空比的最佳值,提高了湿度传感器的灵敏度.     

湿度传感器技术展望

随着工业的发展,湿度监测已广泛地应用在仪器仪表、自动控制系统,农业、气候和环境等各个领域。文中以近十几年的文献资料为基础,介绍了目前利用电学、声学和光学各种不同原理制作的湿度传感器,比较了采用陶瓷,半导体、聚合物和纳米等敏感材料制备的湿度传感器对其灵敏度、湿滞,恢复和响应时间等的影响,给出了一些市场上流行的湿度传感器性能指标。并对未来湿度传感器产品应用、制造材料、工艺的趋势做了展望。     

湿度传感器应用到家电领域

湿度传感器有各种类型,大致可分为(1)离子电导型,(2)静电容型,(3)热电导型。其中主流是离子电导型,又可分为两种形式:陶瓷式和高分子式。高分子式中又可分为三类,根据相对湿度的情况来分。检测相对湿度为100％,即结露状态的传感器为结露传感器,检测70～100％高湿度的传感器有高湿度开关传感器,对30～70％的是湿度传感器。高分子式的湿度传感器都是利用了树脂的吸水牲和由吸水引起电阻值的变化。各种传感器虽各有特点,但除陶瓷传感器     

如何选用湿度传感器产品

随着时代的发展,科研、农业、暖通、纺织、机房、航空航天、电力等工业部门,越来越需要采用湿度传感器,对产品质量的要求越来越高,对环境温、湿度的控制以及对工业材料水份值的监测与分析都已成为比较普遍的技术条件之一。湿度传感器产品及湿度测量属于90年代兴起的行业。如何使用好湿度传感器,如何判断湿度传感器的性能,这对一般用户来讲,仍是一件较为复杂的技术问题。多年来,我们作为此种产品的研究和生产单位,积累了许多经验,有了比较深刻的认识,发表此文供大家参考。1　湿度传感器的分类及感湿特点湿度传感器,分为电阻式和电容式两种,产…     

基于Nafion的石英晶体微天平低湿传感器

针对大部分湿度传感器测量低相对湿度的不足,建立了一种配制低相对湿度环境的方法,并通过比较不同Nafion涂覆量的石英晶体微天平湿度传感器在低相对湿度下的湿敏曲线,综合考虑到QCM传感器的稳定性以及传感器对湿度变化的灵敏程度,得到QCM低湿度传感器较为合适的Nafion涂覆量。以此为基础,研究了此湿度传感器在低相对湿度的特性,实验结果表明基于QCM的Nafion低湿度传感器在1%~10%相对湿度范围内具有良好的线性,可以分辨相对湿度1%的变化。     

新型可集成的湿度传感器设计与分析

电容性传感器存在难以集成、无法满足高精度测量等问题,文中提出了一种利用SiO_2感湿特性的SPR模型检测湿度的新方法,设计传感器能够弥补电容性湿度传感器的不足,通过SPR对介质折射率变化敏感特性,实现湿度传感。检测结果表明:发出波长为630 nm的P偏振光入射时,传感器的灵敏度高达0.026/%,这一结果对于发展新型微纳传感器提出了新的设想。研究结果为制备高灵敏度可集成湿度传感器提供了理论基础和应用数据。     

一体化厚膜高分子温湿度传感器的研制

一体化湿湿度传感器是采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在同一Ａｌ２Ｏ３陶１基片上而形成一个集成一体化的多功能传感器,湿度传感器采用性能优良的高分子聚合物湿敏电阻,温度传感器采用具有ＮＴＣ特性的ＭｎＣｏＮｉ系氧化物厚膜热敏电阻。这不仅可以将温度和湿度这两个参数同时进行测量,而且给湿度传感器的温度补偿为了极大的方便。     

新型陶瓷湿度传感器

随着控制技术的发展,要求湿度传感器能够适应较宽的温度范围。可是目前一般的陶瓷湿度传感器,由于是利用金属氧化物表面物理吸附水而引起电导率变化的原理,所以在150℃以上的环境中,水的吸附量小,湿度检测困难。这就限制了湿度传感器的应用。而在某种特定条件下,低湿度和高温气     

3种型号湿敏电容传感器温度和迟滞特性的分析比较

为掌握目前气象行业使用的湿敏电容湿度传感器的测量准确度、迟滞误差、温度系数等测量特性,文章对3种不同型号的湿度传感器进行了测试,对不同温度点下传感器的相对湿度测量示值误差和迟滞误差进行了分析和比较,测试和分析结果表明不同传感器的温度和迟滞特性有较大的差异。其分析比较的结果对湿度传感器的选择和使用具有参考价值。     

电容式湿度传感器的测试方法及其DSP的实现

介绍了电容式湿度传感器复数电压法测量方法;建立了基于DSP技术的湿度传感器复数电压法测量模型,并且给出了硬件和软件设计方案;利用TMS320LF2407A作为主控器件设计了电容式湿度传感器的测试系统,为实现高精度快速测量提供了理论依据.     

用于探空仪的加热式湿度传感器及测量电路

针对探空仪湿度传感器在高空低温、高湿恶劣环境下容易结露,湿度波动大、电路板分布电容对测量结果有影响等问题,研究了具有蛇形加热器的平板夹心电容式湿度传感器及其工艺制备方法,并设计了测量电路。采用微机电系统(MEMS)加工工艺设计了加热式湿度传感器,通过对传感器进行有限元分析,确定了传感器表面加热区域温度分布情况,得出了环境温度、加热功率与加热温度三者之间的函数关系。提出一种基于电容充放电及比较法的湿度测量电路,从而有效地抑制了温度漂移和零点漂移,减小了寄生电容对测量结果的影响。地面实验结果显示:湿度传感器灵敏度约为2.3%RH·pF-1,迟滞约为0.7%F·S,重复性约为1.9%,测量总不确定度约为4%,时间常数约为0.5s。本文研究的湿度传感器及其测量电路具有很好的温度稳定性,能够在低温环境下正常工作。     

高分子湿度传感器的发展概况和发展方向

叙述高分子湿度传感器的发展概况和发展方向，重点介绍了离子型和胀缩型高分子湿度传感器的原理和特点。     

温度测量技术与温度传感器的发展趋势：——5^IMCS评析

通过对第五届国际化学传感器会议的分析，作者认为，发展专用湿度传感器，例如高温、高湿环境测湿用的湿度传感器以及检测固体表面凝聚水量、检测微区空间气相湿度的测湿技术和湿度传感器等，乃是当前湿度传感器和测湿技术深入发展的主要标志之一。文章对ＳＡＷ固体电介质（氧离子导体、氢离子导体）、聚合物电阻型以及微型ｓｉ空气桥热力学式等四类湿度传感器技术与国际先进水平作了一些比对，并对与国际先进水平的差距及其学术上的     

用于数字式电子探空仪的几种湿度传感器

本文介绍了目前在探空仪上使用的几种湿度传感器。着重介绍了集成湿度传感器的组成、原理和性质。     

湿度传感器电阻和电容分量测量方法的研究

高分子电阻型湿度传感器是一种有着广泛应用前景的新型湿度传感器，研究表明，对非纯电阻型湿敏元件，可将其等效为一电阻与电容的串联模型。文中提出了测量湿度传感器等效电路中的电阻分量只和电容分量C的实用方法，并介绍了该方法的工作原理，它是一种由传感器、标准电阻和运算放大器构成的负反馈电路。实验结果表明，该测量方法可用于精确测量湿度传感器的电阻及电容分量。     

应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器

压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5 mm×3.5 mm×0.8 mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器,铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程,给出了实验和测试方法。结果表明,压力传感器的精度优于0.05%;温度传感器的精度为0.3%;湿度集成传感器的量程为25%RH~95%RH,其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。     

CMOS集成电容湿度传感器

CMOS集成湿度传感器是利用MEMS技术基于CMOS工艺的新型传感器，将传感器结构与接口电路集成在同一块片子上，具有体积小，价廉、可靠性高等优点，利于批量生产和系统集成。主要介绍了湿度传感器的工作原理和一些常用感湿介质，如多孔硅、聚酰亚胺、空气的感湿特性，比较了几种流行的湿度传感器结构以及接口信号处理电路像开关电容电路、多谐振荡电路之间的优缺点。最后给出了微系统集成的概念，并对CMOS集成湿度传感器的应用前景进行了展望。