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用离子束增强沉积方法制备了SiN薄膜,其中Si由一束Ar离子从Si靶上溅射下来,在溅射沉积的同时,以一束N离子轰击正在沉积的膜层,于是获得了SiN膜。采用卢瑟福背散射、红外光谱和透射电镜对膜层的成分和结构进行了分析,结果表明:膜面平整,膜层为非晶或微晶结构,由Si和βSi3N4组成 相似文献
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用离子束增强沉积方法制备了Si-N薄膜,其中Si由一束Ar离子从Si靶上溅射上下来,在溅射沉只的同时,以一束N离子轰击正在沉积的膜层,于是获得了Si-N膜。采用卢瑟福背散射,红外光谱和透射电镜对膜层的成分和结构进行了分析,结果表明:膜面平整,膜层为非晶或微晶结构,由Si和βS3N4组成。 相似文献
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离子束增强沉积制备CrNx薄膜 总被引:4,自引:1,他引:3
利用离子束增强沉积(IBED)技术制备了CrNx薄膜。对不同能量氮离子轰击所制备的薄膜进行了X射线衍射、X射线光电子能谱分析、膜层断裂韧性以及摩擦学性能研究。试验结果表明,在相同试验条件下,氮离子轰击能量影响CrNx薄膜的相组成及取向,低能氮离子轰击所制薄膜具有较高的KIC数值,且表现出更优异的摩擦学性能。 相似文献
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离子束增强沉积TiN薄膜界面结合强度的研究 总被引:6,自引:0,他引:6
利用划痕法测定了离子束增强沉积TiN薄膜的界面结合力。结果表明,由于在离子束增强沉积过程中TiN薄膜和基体之间生成一层厚约30 ̄40nm的过渡层,从而大大改善了涂层的界面结合强度,其临界载荷可达140N,为一般PVD和CVD方法所生成的TiN膜的3 ̄4倍,并且发现它并不随膜厚的增加而变化。 相似文献
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离子束增强沉积纳米金属薄膜的摩擦特性 总被引:3,自引:0,他引:3
在原子力显微镜上对采用离子束增强沉积方法制备的4种纳米金属薄膜的摩擦特性进行了研究,分析了载荷和滑动速度对金属薄膜摩擦特性的影响,并对4种纳米金属薄膜的特性进行了比较.结果表明:铜薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而基本保持不变,镍薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而略有增加,钛薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而显著增加,而铝薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而减小;4种纳米薄膜的摩擦力均随着载荷的增大而增大,并且都存在一个载荷值,超过这个值,接触刚度增大,摩擦力急剧增加;4种薄膜中,铜薄膜的摩擦力最小,铝薄膜在载荷较大时的摩擦力最大;4种纳米金属薄膜摩擦特性的差异与薄膜的结构、形貌特征有关. 相似文献
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研究了不同界面共混工艺对精密轴承镀层表面粗糙度的影响。结果表明 ,用氮离子进行界面反冲共混 ,在动态反冲共混过程中 ,随着氮离子能量的增高 ,氮离子选择溅射和界面碳富集造成界面上沉积的镀层表面粗糙度相应增大 ,而对于在工件表面预先沉积一层纯钛的静态反冲共混工艺 ,镀层具有较低的表面粗糙度。当氮离子能量为 40keV时 ,静态反冲共混界面具有高的镀膜基体结合力。 相似文献
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分别在未施加偏压和施加-100 V偏压条件下,利用磁控溅射技术在压气机叶片用1Cr11Ni2W2MoV热强不锈钢基体上沉积了Ti0.3Al0.7N和Ti0.39Al0.55Si0.05Y0.01N硬质涂层.实验结果表明,施加偏压及Si和Y掺杂明显改变了涂层的相结构,提高了涂层致密度,施加-100 V偏压且添加Si和Y的涂层为非晶结构,表面更加均匀致密.950℃氧化实验表明:Ti0.39Al0.55Si0.05Y0.01N涂层表面形成极薄且致密的Al2O3保护性氧化膜,大大降低了氧化速率.施加-100 V偏压的(Ti,Al)N和(Ti,Al,Si,Y)N沉积态涂层与未施加偏压的相应涂层相比,硬度均降低,尤其是(Ti,Al,Si,Y)N涂层变化显著.经950℃热处理,施加偏压的(Ti,Al,Si,Y)N涂层硬度略有降低,这是由于形成了硬度较低的B4相,而未施加偏压的(Ti,Al,Si,Y)N涂层硬度显著提高,这归因于B1相固溶体的分解.划痕测试结果表明,在实验载荷(50N)下,所有涂层均未出现连续性的剥落. 相似文献
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新型铝锡硅合金结晶行为及微观组织 总被引:15,自引:2,他引:15
采用XRD、OM、SEM及EMPA,分析了新型铝锡硅轴承合金的微观结构。根据相图,探讨了合金的结晶过程。结果表明:新型铝锡硅合金的非平衡结晶相组织由α(Al)、Si、β(Sn)3相组成。β(Sn)相依附于共晶Si凝固并以近网状分布于晶界;经过适当的均匀化处理,β(Sn)相以Si为核心聚集球化而形成Sn环绕Si的软硬相相结合的“包晶”式相结构。此外,凝固组织的化学成分分析结果表明:合金元素未产生宏观偏析现象。 相似文献
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Al部分替代Si对基于动态相变热轧TRIP钢组织控制的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
通过Gleeble-1500热模拟单轴压缩实验,研究了Al部分替代Si对热轧TRIP钢过冷奥氏体动态相变特征、组织控制及残余奥氏体的影响.结果表明:用Al替代C-Mn Si钢中的部分Si后可缩小平衡相图中的γ相区,提高钢的A3温度并扩大A3-Ar3温度范围;动态相变时铁索体相变动力学提前,最佳贝氏体等温相变温度升高;组织中残余奥氏体具有较高的C含量,颗粒状残余奥氏体分布更为细小和弥散,但铁素体晶粒尺寸较C-Mn-Si钢的粗大. 相似文献
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The ductility map of 304HC stainless was determined by using the Gleeble-1500 dynamic thermal-mechanical simulator. The effect of Cu on the hot ductility of 304HC stainless steel was analyzed and the mathematical model of resistance to deformation was established. The microstructure, inclusion and fracture surface were studied by using the method of micro structure analysis, scanning, energy spectrum and electron microscope. The results show that Cu has effect on the hot ductility, and the hot ductility of 304HC stainless steel decrease with the increase of content of Cu. The deformation temperature also has much effect on the hot ductility, the suitable deformation temperature are 1100-1200℃. The reason of it is that the Cu rich chemical compounds were precipitated from austenite phase during cooling. The Cu rich chemical compounds are brittle substance such as Cu2S, Cu2O and ε-Cu etc. 相似文献
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高Si压铸Al合金ADC12的微弧氧化表面改性 总被引:5,自引:0,他引:5
利用恒流微弧氧化技术,在以Na2SiO3和Na3PO4为主盐的电解液中,在高硅压铸Al合金ADC12表面制备了陶瓷膜.显微硬度及耐蚀性能测试表明,陶瓷膜显微硬度(HV)高达1430,能对基体金属提供有效的防护.涡流测厚及SEM研究显示,该陶瓷膜厚度分布比较均匀,具有双层结构.EDX和XRD分析表明,该微弧氧化陶瓷膜的主要元素组成为0,Al,Si和P;主要相组成为γ-Al2O3和α-Al2O3,同时含有少量χ-Al2O3,θ-Al2O3和Al2SiO5晶体. 相似文献
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INFLUENCES OF TRACE ADDITIONS OF STRONTIUM AND PHOSPHORUS ON ELECTRICAL RESISTIVITY AND VISCOSITY OF LIQUID Al-Si ALLOYS 总被引:1,自引:0,他引:1
Gui Manchang Jia Jun * Li Qingchun * Guo Wenquan Institute of Aeronautical Materials Beijing * Harbin Institute of Technology Harbin Institute of Metal Research Chinese Academy of Sciences Shenyang 《中国有色金属学会会刊》1997,(4)
INFLUENCESOFTRACEADDITIONSOFSTRONTIUMANDPHOSPHORUSONELECTRICALRESISTIVITYANDVISCOSITYOFLIQUIDAlSiALLOYS①GuiManchang,JiaJun,... 相似文献
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铸造Al—Si—Mg合金的时效特性及形变机制 总被引:1,自引:1,他引:1
研究了AlSiMg系A357合金在不同时效状态下的显微组织、力学性能及形变特性。结果表明,时效条件不同,合金的强塑性配合不同,165℃短时时效,强塑性搭配较好;155℃,4h预时效,再经175℃,12h最终时效,进一步提高合金强度的同时,保证了塑性。不同温度下短时时效,析出物均为GP区,形变以位错切过的方式进行;长时时效,析出物均为β相,形变以位错绕过的方式进行。双级过时效处理,改善了β相的析出形态,使得滑移位错均匀分布 相似文献