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晶体硅片上激光打孔的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
背面接触太阳电池越来越多地被人们关注,这种电池增加了使用激光器在硅片上打孔工艺。选用了半导体激光器作为光源在晶体硅片上进行打孔实验。通过调节激光器的功率、离焦量、脉冲重复频率等参数并分析其对打孔的影响。在激光打孔后,对硅片使用显微镜测试来分析打孔大小、形貌和损伤区,并优化打孔的参数。通过实验证实孔的入孔直径和出孔直径都随激光能量的增大而增大。随着离焦量的增大,出孔直径先增大后减小,且出孔直径越大时孔附近的破坏区域越小。脉冲重复频率的变化由于影响激光能量而影响孔径。另外,脉冲重复频率过大时,激光能量仍然比较大,但却打不穿硅片。 相似文献
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宽幅高速激光打孔光学系统研究 总被引:2,自引:2,他引:0
为了实现对膏药等薄型材料的宽幅高速打孔以增加其透气性,提出了一种采用高功率连续CO2激光器在线打孔的实现方案,并从方案原理和光路设计上对其进行研究和实验分析。在采用连续激光输入的情况下,通过半透半反镜分光和多棱镜分光相结合的密集分光的方法将一束连续光转变为多束脉冲光从而扩展加工头数,实现高速打孔。采用2000W激光器,当膏药运行速度不大于8m/min时,膏药幅宽为800mm~960mm,孔距为5mm~6mm,孔径为0.2mm~0.8mm。结果表明,该系统能应用于各种宽幅面打孔的实际生产。 相似文献
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高峰值功率自准直脉冲Nd:YAG激光加工无锥度直孔研究 总被引:1,自引:1,他引:1
利用改进的脉冲Nd:YAG激光器,对激光冲击打孔加工无锥度直孔进行了实验研究。在优化激光脉冲峰值功率和脉冲能量、辅助气压参数的基础上,通过比较实验证明,能量递增组合脉冲是实现无锥度直孔加工的有效方式,增加脉冲组合中脉冲的个数可加工出负锥度的孔;激光焦点位置是影响孔锥度的重要因素,焦点位于材料表面上方1.1~1.7 mm有利于减小锥度。在厚度为1.5,3.0 mm的镍基高温合金材料上,获得孔径分别为480,510μm的直孔,重复打孔孔径误差约30μm,孔锥度<1%。给出了可实用于激光冲击打孔的直孔加工方法和脉冲激光器,并可用于其他材料的加工。 相似文献
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阐述在数控激光打孔机上进行群孔激光打孔时,最佳打孔路线数学模型的建立以及解决该模型的算法。在此基础上开发了适应于数控激光打孔系统的自动编程软件。 相似文献
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生瓷带打孔机冲孔组件的设计 总被引:2,自引:2,他引:0
生瓷带打孔机是LTCC生产线上最关键的设备之一,它包含了精密制造、精密控制、光学和气动等许多理论知识,是自动化程度很高的打孔设备,完成生瓷片快速打孔,冲孔组件是其核心部件,其中打孔精度±0.008mm,打孔速度600孔/min,因此冲孔组件对设计和加工都提出了很高的要求。主要介绍了生瓷带打孔机中冲孔组件设计过程中关键结构的设计,包括冲孔组件的升降设计、冲孔单元的设计、分布、冲头设计及气路结构设计。 相似文献
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《激光与光电子学进展》2000,(9)
Vickers精密机械公司从 L umonics公司购买了一批用于制造气轮机的激光器 ,包括两台L aserdyne780光束导向系统和两台新型 JK70 4 TR(双棒 )激光器。公司为罗尔斯·罗伊斯、ABB等公司提供飞机、工业气轮发动机部件。喷嘴导杆轮叶的生产需要大量膜冷却孔。系统装在四元小盒中 ,配备两台装有JK70 4激光器的 L aserdyne550光束导向仪 ,用于打孔。打孔是件费时的事 ,激光打孔对于航空、动力产生装置这些工业应用极为有用 ,已广泛用于喷气发动机和气轮机部件的生产。使用新系统可根据用户需要制出多种孔。已用其生产 ABB GT2 4和 2 6型气… 相似文献