微波集成电路的中膜工艺

“中膜”工艺是一种兼有薄膜技术的高分辨率和厚膜技术成本低(因无需真空设备)等优点的工艺。本文就用于3～12GHz频率范围的微波集成电路的中膜微带传输线的性能给以阐述。对特性阻抗为35、50和71Ω的几个环形谐振器做了一些实验。这些谐振器是用中膜金导体在96％和99.6％的氧化铝衬底上制成的。进行了微带损耗的理论计算,并和使用扫频技术所得的微带衰减测量数据进行了比较。结果表明,中膜微带传输线的衰减与使用同样导体材料的厚膜线的结果基本相同,而且中膜另外还增加两个优点:一个是精细线条的分辨率高(50μm的线宽和间距),另一个是成本低。典型的数据是,在7GHz下在99.6％氧化铝衬底上的50Ω线的衰减常数是0.06dB/cm,而理论上的下限值是0.05dB/cm。另外,已经使用由100Ω厚膜电阻器(EMCA5512)隔离的中膜金微带支路制作出了Wilkinson 3dB同相功率分配器。也发现,中膜导体可以和厚膜电阻器同时使用,而且,正如所预计的,Wilkinson 3dB混合电路的性能为:在中心频率为6GHz、带宽为500MHz的范围内,隔离度大于30dB。     

微波集成电路图形镀金工艺研究

通过对混合微波集成电路图形镀金工艺的分析研究,提出了以液态感光油墨作为掩蔽层,硫酸盐镀镍体系及柠檬酸盐镀金体系镀镍/金的最佳施镀方案,并通过一系列可靠性试验,证明了该镍/金镀层良好的抗蚀能力和焊接可靠性.     

微波集成电路

一、前言在伟大领袖毛主席的“中国人民有志气,有能力,一定要在不远的将来,赶上和超过世界先进水平”的伟大号召下,我国正出现一个工农业迅速发展的大好形势。由于空间电子技术和雷达的迫切需要,近年来,微波集成电路受到很大重视,发展十分迅速。遵照毛主席“知彼知己,百战不殆”和“洋为中用”的教导,根据国外期刊上的一些报导,加以综合整理分析,编写了本文。全文包括:概述、微带线、微带元件、微带组件及典型微波集成电路的设计计算及工艺技术等部分。     

微波集成电路及工艺专业委员会成立

微波学会下属的微波集成电路及工艺专业组,自成立以来,活动内容逐步扩大,成员与联系单位也较快增长。因此有必要以专业委员会的组织形式来开展学术交流和进行各项活动,这一提案在89年10月成都全国微波会议上已获得学会同意。会后又经过积极的筹备和协商,制定了专业委员会章程,推荐并讨论了委员名单、经微波学会批准,专业委员会设主任一人,由清华大学高葆新教授担任,设副主任七人:李英、胡南山、赵国南、沈楚玉、过常宁、程义凯、李浩模,另有委员12人。1990年4月17日在全国第三届“MIC及工艺学     

砷化镓单片微波集成电路工艺述评

本文讨论了砷化镓单片微波集成电路的优缺点、工艺特点、应用领域和今后展望.     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y2000-62332-754 0016231可分离2维离散子波变换的有效 VLSI 结构=An effi-cieat VLSI architecture for separable 2-D discretewaydet transform[会,英]/Peng,W.-S.& Lee,C.-Y.//1999 International Conference on Image Process-ing,Vol.2.—754～758(HC)     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y2002-63119-529 0217376通过滤波组和提升方法的双正交子波变换的有效 VL-SI 结构=Efficient VLSI architectures for the biorthogo-nal wavelet transform by filter bank and lifting scheme[会,英]/Jou,J.M.&Shiau,Y.-H.//The IEEE In-ternational Symposium an Circuits and Systems Vol.2 of5.—529～532(HE)     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y98-61351-1457 9905904传真和数字电报图像压缩的 VLSI 的实现=A VLSIimplementation of image processor for facsimile and digi-tal copier[会,英]/Park,C.D.& Jeong,Y.H.//1997IEEE 40th Midwest Symposium on Circuits and Sys-tems,Vol.2.—1457～1460(HG)Y98-61352-826 9905905用于有源相控阵天线的 MMIC 模块=MMIC modules     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y98-61361-445 9907371流水线异步 VLSI 电路的模拟、综合和验证=Simula-tion,synthesis,and verification of pipelined asyn-chronous VLSI circuits[会,英]/Furey,D.&Bergmann,N.W.//1997 IEEE Region 10 Annual Con-ference on Speech and Image Technologies for Computingand Telecommunications,Vol.2.—445～448(HG)     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y2000-62086-485 0005754CDMA 无线通信系统用硅 UTSi~R CMOS 射频集成电路=Silicon UTSi~R COMS RFIC for CDMA wirelesscommunications systems[会,英]/Rodgers,P.& Mega-hed,M.//1999 IEEE MTT-S International MicrowaveSvmposium.Vol.2.—485～488(UC)     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y90-62020 00037971999年 IEEE 射频集成电路会议录=1999 IEEE ra-diofrequency integrated circuits symposium[会,英]/     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y2000-62411-1207 0020104UWB 无线电台应用的多相关器的专用集成电路实现=An application specific integrated circuit implementa-tion of a multiple correlator for UWB radio applications[会,英]/Dickson,D.& Jett,P.//1999 IEEE MIL-COM,Vol 2.-1207～1210(HC)Y2000-62449 00201051999年 IEEE 亚太地区微波会议录,卷2=1999 IEEEproceedings of Asia pacific microwave conference.Vol.2of 3[会,英]/MTT/AP/EMC Chapter,IEEE Singapore     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y2002-63121-418 0219685低压摆动时钟分布方法=Low-voltage swing clock dis-tribution schemes[会,英]/Zhu,Q.K.& Zhang,M.//The IEEE International Symposium on Circuits and Sys-terns Vol.4 of 5.—418～421(HE)Y2002-63121-474 0219686视频压缩的增强低功率运动估计的 VLSI 结构=En-hanced low power motion estimation VLSI architecturesfor video compression[会,英]/Elgamel,M.A.&Sharns.A.M.//The IEEE Intemational Symposiurn onCircuits and Systems Vol.4 of 5.—474～477(HE)Y2002-63121-574 0219687里德-索洛蒙码编译码器的有限低等待时间和低功率     

微波集成电路、毫米波集成电路

Y2000-62085-229 0007558集成了微加工滤波器和倒装有源器件的 K 波段接收机前端集成电路=K-band receive front-end IC integrat-ing micromachined filter and flip-chip assemble active de-vices[会,英]//1999 IEEE MTT-S International Mi-crowave Symposium,Vol.1.—229～232(U)现已开发出一种在硅衬底上集成了微加工低损耗滤波器和倒装片有源器件的新型三维 K 波段接收机前端集成电路。在滤波器中引入了可转微带线和新型     

微波集成电路、毫米波集成电路

介绍了用于卫星通信系统的宽带低功率 pHEMTGilbert 单元下变频器 IC 的设计工艺与性能。此变频器完全集成在一个单片上,无需外部匹配元件。对于RF-LO 通道,电路带宽为300～8000MHz;对于 IF 通道,带宽为185～2085MHz。参3     

语音集成电路概述

<正> 语音电路是近年来出现并获得迅猛发展的新颖电子器件,是集成电路家族中的一个大的分支。它无需磁带和机械传动装置,即能较简单地实现录放功能。语音集成电路是语音装置的心脏。经过短短几年的发展,语音集成电路种类繁多,产品琳琅满目,但就其功用来说,大致可分为语音合成电路、语音录放电路及语音识别电路三大类别。 简单的语音合成电路 语音合成电路可把语音信号以数字代码形式存贮于掩膜ROM中,而语音信号一次写入后不可更改。其最大优点是成本低廉,每秒语音存储的造价仅为0.8元左右,缺点是要求每次投片批量数额大(1～4万片),生产周期长,研制样机麻烦,投资风险大,只适合定型产品大批生产。由于语     

适于SMT的微波混合集成电路制造工艺

通过对微波混合集成电路采用ＳＭＴ进行批生产的前提条件－薄膜电路的焊接性能进行了理论分析和实验研究，得出了铜薄膜体系工艺最适于满足ＳＭＴ要求的微波混合集成电路的制作，并给出了制作实例。     

GaAs单片微波集成电路的制作工艺

GaAs单片微波集成电路工艺属于分立GaAs MESFET工艺的进一步发展。描述了GaAs制作工艺,它为微波电路设计师提供了制作所有元件的能力,其中包括MESFET、电阻、电容、电感和完整的背面接地连接。以2～12GHz单片放大器为例说明了这些元件的集成。     

中国电子学会微波学会微波集成电路与工艺专业委员会

第L一届委员会主任:高葆新副主任:李英胡南山赵国南沈楚玉委员:(以姓氏笔划为序) 丁世昌叶明过常宁朱学祺 沈楚玉张永年张阅凡陈忠嘉 郭荣生龚克黄国兰曹纪明秘书:田中学龚克夏士明联系地址:湘京:109084清华大学电子工程系上海:200434江湾镇沽源路23)号过常宁程义凯李浩模刘晓芳陈显兽程义凯李英赵国南李浩模胡南山苏有得高保新高葆新电话:2561143一2613(龚克)胡南山电话:5442655一226中国电子学会微波学会微波集成电路与工艺专业委员会~~     

微波介质波导集成电路

近年来随着毫米波、亚毫米波技术的发展,采用介质波导作为微波传输线又重新引起了人们的兴趣。在毫米波段范围内,金属波导元件不仅价格高,而且随着频率的升高,对加工精度要求也愈来愈高,以致实际上难以达到。而微带集成电路由于高频时导体损耗增大(约0.2分贝/λ_g),一般仅适用在低于K_u波段工作,因此在毫米波段、亚毫米波段采用低损耗的介质波导作为传输线有较多的优点,尤其是可以直接在介质波