微机械差动电容压力传感器的研究

文中介绍以Ｎ型单昌硅为基底,利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。     

电容角位移式智能金属管浮子流量计的研究

基于浮子流量计普遍流量方程及电容角位移式传感器检测机理的新型智能金属管浮子流量计，实现了对流量的精确测量。本文详细介绍该流量计计量原理、转换器的设计、信号的智能化处理、样机标定及误差分析，给出了3台样机均显示可喜成绩，获得较高精度。     

微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的研究

文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺,同时,对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明,并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性。     

差动电容小位移传感器的研究

设计了一种差动电容式位移传感器,它可对微小位移进行测量.设计了传感器的机械框架以及信号处理电路,主要包括正弦激励电路、转换桥路、信号放大电路、精密整流电路和滤波电路.对传感器的工作原理进行了分析,对电路参数进行了计算.该传感器结构简单、使用方便、成本低.实验结果表明测量范围为0～0.6 mm,具有很好的线性度.     

差动电容式倾角传感器的研究

利用差动电容原理设计了倾角传感器,产生倾角时,借助气体和液体电介质,使传感器敏感元件的二个电极间覆盖的有效面积发生变化,导致相应电容发生变化。同时,利用温度传感器结合MCU智能控制热膜为倾角传感器敏感元件部分保持恒温。这种设计不但扩大了传感器的工作温度范围至（-45－＋120）℃,还提高了倾角传感器的非线性、重复性、迟滞和精度。     

表面测量的差动电容传感器研究

根据差动电容传感器测量微位移的原理和变压器电桥所具有的其变比为实数且稳定性高、变比精度高、灵敏度高及工作频率范围比较宽的特点,本文提出将差动电容传感器与变压器电桥相结合来测量转子表面的方案并给出各参数之间的关系;分析了影响传感器测量精度的因素.     

基于差动式电容传感器的弹簧检长系统

针对弹簧检长系统测量误差大的问题,该文设计了基于差动式电容传感器的弹簧检长系统,该系统由差动式变面积式电容传感器、双T形交流电桥测量电路、信号调理电路、FPGA和显示组成,经试验得到电压与弹簧相对长度函数关系,在实际使用中运用该函数关系通过测量电压计算出待测弹簧长度。经实验测得电压与弹簧相对长度拟合函数其线性度为1%,灵敏度为2.529 2 mV/mm,分辨力为0.05 mm,按照国家标准1级弹簧长度误差小于标准弹簧±0.2 mm为合格。实验表明,该系统完全可以满足弹簧检长要求,且线性度好、灵敏度高、分辨力强、稳定性好;经实际和标准仪器相比准确率达到100%,且比现有设备操作简单、成本低。     

基于单片机的电容传感器测量油箱油量方法的研究

介绍了一种基于单片机的电容传感器测量飞机油箱内油量的方法,利用电容式传感器的电容随油面高度的变化,构建了以单片机为核心的油量自动测试系统,给出了该油量测试系统的测量原理、硬件设计和软件设计。实际应用表明,该油量测量系统具有结构简单、测试精度高、可靠性好等优点。     

基于ATmega16的压力传感器温度补偿智能化设计

针对硅压阻式压力传感器的温度漂移现象,提出了一种压力传感器温度补偿智能化的设计方法。该设计以ATm ega16为核心芯片,以CS5532为模数转换器,整个电路选用低温漂的元件,并且在软件补偿中采用二次曲面法。实验温度范围为-30~55℃,经过反复实验,得出智能传感器在不同温度下最大测量误差为0.29%的结论。实验结果表明:此智能化的设计可以很好地补偿压力传感器的温度漂移,提高传感器的性能及测量准确度。     

SPSS软件用于高分子湿敏电容传感器的温度特性补偿研究

随着测湿仪器的不断更新换代，高分子湿敏电容传感器已经越来越多地用于气象测湿领域中，但由于其传感特性受温度影响较大，必须对传感器的输出进行温度补偿。本文对所选传感器进行了分析、研究，采用了多项式回归方法对其进行了温度补偿，使其测湿准确度能达到技术指标要求。     

电容式角位移传感器电场有限元仿真研究

对电容式角位移传感器二维及三维的电场进行了有限元法分析 ,同时对不同结构参数的敏感元件进行仿真研究 ,仿真结论与样机实验结果相吻合     

光纤、电容液滴传感器的设计研究

光纤、电容液滴分析技术是利用光纤和电容测试技术制成特殊的液滴传感器，获取经过液滴的光强信号随液滴生长变化的规律以及有关液滴体积的信息。文中将具体介绍光纤、电容液滴传感器的工作原理、电容液滴传感器的数学模型和液滴滴头的结构设计，同时给出由传感器获取的与液滴生长过程相关的光纤信号和液滴体积信号。     

高精度硅电容压力传感器的研究

本文介绍了一种采用微机械技术形成的电容压力传感器。在设计上采用完全对称的三层结构，从而较好地消除由温度特性不匹配造成的漂移。利用Ｄｉｏｄｅ－ｑｕａｄ接口电路的输出增益反馈方式基本消除了器材固有的非线性，使传感器的精度大大提高。     

MEMS差动电容加速度传感器

介绍了一种MEMS差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对MEMS Sensor选择差动电容传感器的理论依据进行了分析，叙述了MEMS差动电容加速度传感器各项参数的设计依据，包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等，同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理，不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移，结构合理，达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。     

射频电容传感器的原理与设计

射频电容法是测量油品含水率的新方法。本文论述了该方法中的射频电容传感器的测量原理,并对传感器敏感探头进行了设计,。实际重油含水率标定测量结果表明该系统的最大非线性误差为±０５％。     

电容式大测深绝缘纸板微水份测量传感器

介绍一种测量深度较大的电容式微水份传感器，它利用同一平面上两平行浮动电极形成的边缘电场感应被测纸板较深处的水份变化，在低频正弦驱动源的作用下，从由传感器和绝缘纸板构成的等效阻容耦合电路的输出电压中得到与绝缘纸板微水份有关的幅值和相差角，利用特定的函数关系得出绝缘纸板含水质量分数。在结构设计上充分考虑了厚绝缘纸板微水份测量的特点，使该传感器满足了灵敏度高、测量深度大、性能稳定和安装方便的设计要求：由它构成的微水份测量系统，可以用于现场干燥过程中的变压器绝缘纸板微水份检测。     

用于吸波涂层厚度无损测量的电容传感器的研制

根据吸波材料的介电特性，设计制作了一种新的高性能、低成本电容式吸波涂层厚度无损测量系统。通过采用一种新型电容信号采集框架式集成芯片（Frame-ASIC）CAV424以及屏蔽措施和低价位RISC微控制器，实现了差分技术和三信号检测技术相结合的方法，系统可以自动调零、校正并消除大部分误差。在大于1mm的范围内精度达到1μm．由于所选微控制器带有内置10位A／D转换和LCD驱动．CAV424输出的差分电压信号能够直接与微控制器中的ADC连接，系统的结构非常简单。     

刻纹光纤液位传感器

本文提出了一种新型的光地液位传感器,它的感受部分用热刻－酸蚀法直接配置在光纤上,使得感受应变量的结构成为光纤本身的固有结构。