TX1 800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进

以北京天瑞星公司生产的大型TX1 800商用磁控溅射镀膜机为例,分析了磁控溅射镀膜机靶的结构及配套冷却系统,引入航空航天领域应用较多的层板发汗冷却。在高温下气化蒸发带走基材热量,达到材料降温的目的。通过层板间的特殊结构实现对流体流量、流速等的控制,实现预想的冷却效果。     

塑料ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制

本文介绍了塑料 ITO膜磁控溅射卷绕镀膜机的研制 ,就采用磁控溅射卷绕法制备 ITO膜的设备及成膜过程的一些工艺问题进行了探讨     

DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机研制成功

机械工业部沈阳真空技术研究所为沈阳市玻璃计器厂研制的太阳能集热管磁控溅射镀膜机,经过一年的工业运行,性能良好。最近通过了技术鉴定。 DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机是生产太阳能集热管的专用设备,适用于镀制太阳能集热管选择性吸收表面的光学薄膜。 太阳能集热管的热效率,主要取决于选择性吸收膜层的质量。目前,我国均采用化学电镀法镀制膜层,这种方法存在着工艺不够稳定,废品率高,膜层质量差,原材料消耗大,成本高,污染环境,危害工人健康等缺点。而应用磁控溅射镀膜机镀制太阳能集热管选择性吸收膜层,彻底实现了工艺革新,完…     

反应溅射太阳能选择性涂层试验研究中的几个问题

本文简述了用真空集热管磁控溅射镀膜机铁制不锈钢－碳／铜选择性吸收涂层的结果。讨论了镀膜机的吸收管布置问距，涂层光学性质的均匀性等问题，并提出了改进的途径。     

新型等离子体束溅射镀膜机

本文介绍了新型的等离子体束溅射镀膜机的系统组成、特点、试验结果等内容.该镀膜机将等离子体发生和控制技术应用于溅射镀膜中,克服了磁控溅射的靶材利用率低及难以沉积铁磁性材料的缺点.使用该镀膜机成功地进行了溅射镀膜的试验,试验结果得到了刻蚀均匀性较高的靶材,其靶偏压与靶电流的关系与国外结果相吻合.     

磁控溅射镀氮化钛工艺分析

本文从工厂应用的角度着重讨论磁控溅射镀膜机镀氮化钛装饰膜的工艺问题。     

JZH-900型钛金镀膜机研制成功

锦州真空设备厂研制的JZH-900型钛金镀膜机,及其磁控溅射氮化钛陶瓷仿金镀膜工艺,于1984年12月18日至19日通过了技术鉴定。 JZH—900型钛金镀膜机是国内第一台活性反应同轴磁控溅射氮化钛生产型设备,首次应用在陶瓷表面仿金涂层的批量生产获得成功,填补了国内空白。 该设备适用于镀制瓷质的雕塑品、艺术品、酒具、茶具等表面仿金装饰膜层,同时具有普通磁控溅射镀膜设备的所有功能。 该设备各项技术指标均已达到或优于设计指标,其性能稳定、操作方便、装容量大、工作周期短。 磁控溅射氨化钛陶瓷仿金镀膜工艺比较成熟,在国内首次成功地解…     

兰州真空又获得三项国家专利

<正>兰州真空申请的"大型复杂曲面制件磁控溅射镀膜机"、"双冷却镀膜辊悬浮真空连续卷绕镀膜机"、"五级金属直腔高真空油扩散泵"三项实用新型专利,经国家知识产权局审核、公示,于2010年2月24日授予专利权并颁发专利证书。     

JPG—6型磁控溅射低阻值电阻镀膜机的研制

ＪＰＧ－６型磁控溅射低阻值电阻镀膜机，是代替过去生产效率低，产品性能差的蒸发式镀膜机的一种新型镀膜设备。本文就设备的研制意义、工作原理、主要性能指标，以及结构设计特点等问题进行了论述．文中还给出了低阻值金属膜和金属氧化膜电阻的主要参数及其阻值范围。     

三柱靶磁控溅射镀膜机在工艺品装饰镀中的应用

将三柱靶磁控溅射镀膜机应用于工艺品装饰镀生产中,开发多种镀膜工艺并进行了批量生产,实践证明:三柱靶磁控溅射镀膜技术结合特制的衬底漆和保护面漆涂装工艺,能够在工艺品上获得合格的装饰层.拓展该技术在工艺品行业的应用,可有效减轻传统电镀对环境的污染.