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相似文献
 共查询到19条相似文献,搜索用时 93 毫秒
1.
半导体气体传感器的选择性研究   总被引:17,自引:0,他引:17  
本文简述了半导体气体传感器的原理、特点与应用,介绍了改进半导体气体传感器选择性的方法以及取得的研究进展。  相似文献   

2.
组合结构半导体气体传感器的研究进展   总被引:2,自引:0,他引:2  
综合介绍了基于气体传感器互补反馈和互补增强原理的新型组合结构半导体气体传感器的研究进展,着重对传感器的原理、结构、材料及性能作了介绍,并分析了组合结构半导体气体传感器的发展趋势。  相似文献   

3.
NO_2气体传感器敏感材料   总被引:7,自引:2,他引:5  
描述了近十年来用作NO2 气体传感器的酞菁类和氧化物半导体敏感材料。总结了这两类材料的成膜条件、薄膜表面形态和结构以及它们的敏感特性。为优化薄膜的气敏特性提供了参考  相似文献   

4.
热线性气体传感器作为一种新型的半导体气体传感器,除了具有灵敏度高、响应恢复时间短、稳定性好的特点外,还具有较低的功耗和优良的抗环境温湿度干扰能力,解决了传统旁热式半导体气体传感器中长期存在问题.本文较为详细地介绍了该类传感器的结构、气敏性能以及气敏机理.  相似文献   

5.
展翔  Wendar 《国外传感技术》2005,15(1):i007-i007
本发明推出的制作方法,适用于可燃气体传感器,尤其适用于热线型可燃气体传感器。  相似文献   

6.
声表面波(SAW)气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注.本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展.  相似文献   

7.
在平面微电极式结构的基础上,提出了一种新型薄膜气体传感器,其主要结构引用了离散阵列的概念,将传统的长方体型薄膜改进为由多条小长方体有间隔的并行排列的离散结构,使敏感薄膜具有了三维敏感效应。根据半导体气敏薄膜的扩散响应理论,对传感器的响应时间和灵敏度特性进行了理论分析,证明新型传感器具有响应时间更短、灵敏度更高的优点;并分析了薄膜厚度对传感器响应时间的影响。  相似文献   

8.
《传感器世界》2001,7(1):19-19
自从五十年代第一个商用接触反应式元件上市销售以来,气体传感器已经成为一个年销售达数亿美元的大型市场。最近的有关调查表明,西欧年市场销售达2亿美元,美国为2亿美元,世界其它地区为600万美元。其中电化学传感器从70年代以来一直占据着市场主导地位,目前仍占市场总量的四分之一。  相似文献   

9.
分析振弦式传感器的频率敏感机理,理论上说明这类传感器的传感原理。论述这类传感器使用过程中的关键———激振方式选择的理论依据。比较2类振弦式传感器的特点及使用要点,理论推导和实际运用结合起来,实际使用说明了理论分析的正确性。  相似文献   

10.
薄膜型TMA气体传感器的研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文报道了采用等离子体CVD方法制备Fe2O3/TiO2薄膜材料,并用浸渍法对表面修饰了In,制成了检测鱼鲜度TMA的薄膜气传感器,并具有很好的灵敏度,等。  相似文献   

11.
针对普通气体传感器在低体积分数的气体检测中灵敏度低的问题,提出将待测气体进行压缩以增强气体传感器响应的方法,根据检测压缩后的气体响应的特征,间接得到普通状态下该气体的体积分数。设计了一种小型的样机系统来进行气体压缩和气体传感器检测,描述了系统各个模块的设计,给出了该系统的软件设计和控制流程。以H2S气体为检测对象进行了实验,分析结果表明:该方法提高了现有传感器检测低体积分数气体的能力,尤其是提高了对毒害气体的及时发现和预警防范能力。样机的试制也为该压缩传感系统的进一步小型化和提升检测性能提供了条件,具有较高的应用价值。  相似文献   

12.
综述了光纤气体传感器及其组网方式,分别介绍了波分复用、频分复用、空分复用以及码分复用的技术,并分析了各种方法的优缺点,最后讨论了光纤气体传感器的发展方向.  相似文献   

13.
甲醛是潜在致癌物和重要的环境污染物.电阻型半导体甲醛传感器因灵敏度高、工艺简单、操作方便、体积小而成为研究热点.从电阻型半导体甲醛传感器的气敏材料和器件结构两个方面展开分析,研究了国内外有代表性的最新研究成果,并展望了未来的发展方向.  相似文献   

14.
组建了一套用于半导体气体传感器的程控标定系统。该系统使用一台四路输出的程控直流电源对半导体气体传感器进行编程加热 ,计算机控制质量流量计实现低体积分数被测气体的精确配气并实时采集传感器的响应信号。该系统可对由四支气体传感器构成的阵列进行多种工作模式的标定。  相似文献   

15.
SO2是一种重要的大气污染物质,开展SO2监测技术研究对于环境保护有重要意义。介绍了近年来SO2气体监测方法中有关电化学传感和光学传感技术的研究进展,比较了各种传感方法的特点,并指出SO2传感技术发展方向。  相似文献   

16.
In_2O_3基气体传感器研究现状   总被引:8,自引:0,他引:8  
氧化铟作为一种新的气敏材料,有望在一定程度上解决现有气体传感器中存在的选择性差和工作温度高等问题。因此,按照被检测气体的种类,从In2O3的气敏材料制备及气敏性能两方面对现有性能较好的In2O3气体传感器进行了评述,并指出了In2O3基半导体气体传感器的发展方向。  相似文献   

17.
SiC气体传感器   总被引:1,自引:0,他引:1  
SiC肖特基二极管气体传感器可以广泛应用于检测气体排放物和气体泄露。通过采用PdCr合金 ,可以提高Pd/SiC气体传感器的灵敏度。同时 ,在Pd层和SiC之间引入SnO2 作为界面层也是提高其灵敏度的一种有效途径。进一步的研究表明 ,SnO2 层的大小也对传感器的性能有着重要影响。  相似文献   

18.
通过对某厂生产的SnO2基烧结型旁热式半导体气敏元件在-10~-40℃时气敏性能进行的实验研究,得到了其低温时的一些特性.实验结果拓展了其在低温情况下的应用,为进一步开发利用SnO2基气敏元件提供了条件.  相似文献   

19.
探讨了使用反对数放大器,并与查表法相结合的半导体式气体传感器信号的非线性修正方法,实验表明:这种方法能够满足高体积分数甲烷检测的需要。基于这种方法非线性修正的仪器,甲烷检测体积分数范围为0%~1.0%,检测精度可以达到±5.0%。  相似文献   

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