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针对高准确度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题,提出了一种基于激光干涉测量的校准方法,并研制了相应的校准装置。一方面,提出了一种波长倍数间隔测量法,通过位移反馈控制将位移间隔设置为激光波长的整数倍,以减小激光干涉仪非线性误差对测量的影响;另一方面,提出了测点修正算法,消除了受检点处位移标准值因校准装置定位准确度限制不重合对测量的影响。实验结果表明:在0~100μm的测量范围内,示值误差为±23 nm,重复性为5 nm,示值误差测量结果的扩展不确定度U2=7.0 nm(k=2)。构建的校准装置在0~50 mm的测量范围内的示值误差测量结果不确定度为U1=3.0 nm+2×10-7L(k=2)。 相似文献
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提出了一种基于分光光度法的实验室水质色度测定仪校准方法,校准参数包括示值误差、测量重复性和零点漂移。评定了示值误差校准结果的不确定度,同时依照建立的校准方法对实验室水质色度测定仪进行了校准试验。实验结果证明了该校准方法的可行性。该方法可作为评价实验室水质色度测定仪计量性能的有效方法。 相似文献
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热重分析仪测量样品在程序温度下质量的变化,是一种重要的材料物理化学性能分析仪器。该仪器质量和温度测量的准确度,对测量结果的等效一致有重要影响。依据JJG 1135-2017《热重分析仪检定规程》,采用砝码、熔点和居里点标准物质,对两台典型的热重分析仪进行了计量检定。通过实例描述了零点漂移、基线漂移、质量的示值误差和重复性、升温速率的示值误差、温度的示值误差和重复性等全部技术要求的检定方法、数据处理方法、结果判定和不确定度评定。此外,还简述了计量校准的数据处理方法和不确定度评定。结果表明:通过计量检定和计量校准,科学合理地评价热重分析仪的计量性能,实现了质量和温度的量值溯源,能够保障热重分析结果的准确可靠和等效一致。 相似文献
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针对压痕深度测试装置在校准过程中面临的问题,通过大量实验及数据研究,提出利用二等量块结合机械式比较仪及台架对其进行示值误差的校准,并对示值误差的测量不确定度进行评定,该方法完全满足校准要求. 相似文献
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本文介绍了一种金相显微镜图像测量示值误差的校准方法。按照此方法对某金相显微镜图像测量的示值误差进行校准。通过校准结果分析,证明了该校准方法对测量点选择的有效性。通过对示值误差的校准结果及符合性判断的分析,确认该金相显微镜图像测量的示值误差满足MPEV为2%的要求,因此可利用此金相显微镜对人工缺陷这类微小尺寸样品进行图像测量。 相似文献
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通过对单一热重分析仪(无DTA模块)进行研究,提出了此热重分析仪的校准项目及计量性能要求。用居里点标准物质对仪器温度示值误差和温度重复性进行校准,砝码对内置天平进行校准,该方法能评价热重分析仪的性能,为热重分析仪的量值溯源提供技术支持。 相似文献
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数显倾角仪是进行角度测量常用的计量器具,为保证倾角仪计量性能的准确可靠,利用正弦规对其进行角度测量.文章重点介绍了该校准方法和示值误差的不确定度评定. 相似文献
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搭建了基于激光干涉仪测量原理的三轴微位移测量系统,对大范围二维纳米位移台的控制及非线性校准进行实验研究。介绍了双频激光干涉仪测量系统的构成;编写了纳米位移台的控制程序和激光干涉仪数据采集程序;阐述了位移台的非线性校准方法,并通过实验对比了多项式三阶拟合和三阶分段拟合的差别,验证了校准方法的准确性。实验表明:使用三阶分段拟合的校准方法效果更好,校准前,x轴的最大非线性误差为4.052μm,y轴的最大非线性误差为2.927μm;校准后,x轴的最大非线性误差为15nm,y轴的最大非线性误差为17nm,仅为原始非线性误差的1%。 相似文献