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相似文献
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1.
本文介绍一种由三反射镜组成的激光扩束器,其中一面是非球面反射镜,从而修正了球差、彗差、象散和泊兹瓦耳曲率,而且在定中心方式中也可用此面反射镜。新激光扩束器的扩束倍数一般为4倍、8倍两种。  相似文献   

2.
在激光系统中,伽里略球面透镜扩束器已得到广泛地应用,但是,它有许我乐足之处。本文中,研究了伽里略非球面透镜扩束器,给出了伽里略非球面透镜扩束器光学系统设计的方法和设计结果。我们得出的结论是:伽里略非球面秀镜扩束器比伽里略球面透镜扩束器好。  相似文献   

3.
针对传统的二次非球面折射型激光扩束器存在不易加工、装调困难、体积大、重量大,特别是难以获得高填充比阵列透镜等不足,提出了一种利用衍射型台阶化面型近似二次非球面的激光扩束器方案,结果表明:对于典型的束腰半径为2mm的高斯光束,衍射型激光扩束器可实现2.8倍的理论扩束比。为了保持扩束过程中激光模式的稳定性,提出了不同区域给定不同台阶数的两类复合结构,解决了扩束过程中保真度和二元衍射元件加工特征尺寸无法同时满足的问题,改进后的系统保真度达95.82%,各区域最小光刻线宽均大于2μm,能够满足现有光刻加工技术要求。对影响系统保真度主要误差的分析结果表明:离轴误差在-1~1mm,目镜和物镜倾斜误差分别小于0.1mm和1.68mm时,系统保真度仍大于95%,方便装调。  相似文献   

4.
消除中心遮拦的反射式激光扩束新方案   总被引:5,自引:0,他引:5  
反射型扩束器由于其独特的优点得到了广泛的应用,但系统存在的中心遮拦现象,使得高斯光束在扩束过程中有40%左右的能量损失.本文提出了一种采用两个不同锥体反射镜构成的激光扩束新方案,消除了这种由于中心遮拦而带来的能量损失,并分析了对这种结构形式进行变化后得到的其他几种方案.  相似文献   

5.
非球面扩束器的设计   总被引:8,自引:4,他引:4  
本文根据像差理论,叙述了非球面扩束器的设计方法。带有高次曲面的扩束器物镜能对大相对孔径的透镜校正像差.通过具体的实例,阐明了相对孔径加大,物镜的高次项增加,目镜结构复杂化,筒长同时可以大大减小。  相似文献   

6.
1.064μm测风激光雷达扩束系统的设计   总被引:3,自引:0,他引:3  
根据三级像差理论,提出了单片物镜与单片目镜的像差共轭的扩束器设计方法,设计了带有非球面的两片式扩束系统,从设计的结果看出,整个系统的像差被很好地校正.为解决1.064 μm不可见波长扩束系统发散角测试问题,提出了利用线列CCD和示波器结合检验光束发散角的方法,此检验方法简便,容易实现,检测精度高.  相似文献   

7.
从像差理论出发,通过实例介绍了扩束器的具体设计过程,并给出了物镜通光口径为200mm、焦距400mi、视场为2mrad、放大倍率为40倍和主工作波长为0.6328μm的扩束器结构参量,通过改变目镜与物镜间距还可以对波长0.532μm和1.064μm的激光进行同倍率的扩束,在应用时不必重新设计扩束器或目镜系统即可以对这三种波长进行扩束,使用方便,也节约成本.  相似文献   

8.
大口径平像场激光扩束器光学系统的研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
研制出系统有效口径Φ=300mm,扩束倍率β=30×,视场2ω=±1mrad,能在λ=0.532μm,0.6328μm,1.064μm三种波长下工作,主波长为λ=0.6328μm的激光扩束器.系统光学材料全部采用德国进口Schott熔石英玻璃,前组物镜焦距F=800mm,且为高次非球面.用干涉仪检测,系统最终面形误差峰谷值优于λ/7,均方值误差优于λ/50.  相似文献   

9.
巩盾  王红  田铁印  袁钾光 《激光技术》2009,33(4):426-426
为了使激光扩束器可以长时间的工作于大功率激光照射情况下,在传统多波长激光扩束器的基础上,利用变更材料和结构的方法进行改进,设计了2.3倍和6倍两级扩束的激光扩束器,用光学设计软件分析其像质并进行优化,对像质进行理论分析;加工成型后,置于实际环境中进行实验。经实验验证,在调Q脉冲激光器的峰值功率高达20MW的大功率激光照射下,在系统后1m位置出射光束直径分别为24.5mm和154.8mm,脉冲间隔可以在5s以上,并很好地保持了高斯光束的固有特性。结果表明,扩束器完全达到设计要求,有良好的使用效果。  相似文献   

10.
王少川 《激光技术》1984,8(4):30-32
本文叙述的一种简单的激光扩束器有几个引人注目的特点:仅有两个光学元件;不挡光;在宽广的频谱范围都有优良的特性;可做成任意特殊的扩展比;而且,其中的一个元件还常常可以买成品.  相似文献   

11.
文章讨论了如何将二次旋转非球面透镜引入变焦扩束系统设计中,并给出了一个采用非球面透镜的变焦扩束系统的设计方案和参数。这个扩束系统的扩束比可在2.3-18之间连续改变,最大角差小于03mard。与采用球面透镜的扩束系统相比,非球面透镜的采用不仅可以简化系统的结构,而且可以取得更大的变焦范围,并使输出光束的质量有较大提高。  相似文献   

12.
Novel high magnification zoom laser beam expander   总被引:1,自引:0,他引:1  
At present ,beam expanding as a common shapingmethod has been usedin many applications suchaslaserradar[1],interference measure[2],lasers[3],laser holo-gram[4],x-ray optics[5],fiber optics[6]and so on.Zoombeamexpander has been used in more applications fo…  相似文献   

13.
为了研究平顶高斯光束通过扩束系统的传输特性,从柯林斯衍射积分公式出发,推导出场强分布的解析式.以伽利略式和开普勒式这两种常见的扩束系统为例,对平顶高斯光束扩束后在接收面的光强分布进行数值计算及分析.结果表明,平顶高斯光束通过同等倍数但不同形式的扩束系统的传输特性不同,且对于不同焦距的扩束系统,其传输特性也有比较明显的差...  相似文献   

14.
论述了用于哈特曼波前探测系统的透射式光学扩束器的研制.以三级像差理论为基础,分析了传统扩束器没能很好校正轴外像差的原因,在推导计算出初始结构参数后,通过ZEMAX光学设计软件,设计出轴上和轴外像差都得到很好校正的、大口径、大相对孔径、视场可增大的新型扩束器.并根据此哈特曼扩束系统的实际使用要求,考虑支撑受力与热变形等因素,为光学元件配以相应的结构设计,给出了具体的设计实例.介绍了加工过程与调整方法,提供了检验方式.最终验收得到波前PV值为λ/4.  相似文献   

15.
一种变倍扩束镜的设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
通常应用在激光光学系统中的准直扩束系统的扩束比是固定的,但有时需要激光光学系统的出射光束是变化的.基于高斯光学理论,分析了无焦连续变倍准直扩束系统的原理,实现了无焦连续变倍准直扩束系统的设计,并得到了验证.  相似文献   

16.
高倍率及大孔径扩束器的光学系统设计   总被引:18,自引:1,他引:18  
高倍率及大孔径扩束器要求筒长短、口径大、轴上和轴外的像差都要很好地校正 ,所以光学系统的设计是非常困难的。论述了高倍率及大孔径扩束器的光学系统设计方法 ,给出了物镜通光口径为 2 0 0mm ,焦距为 4 0 0mm ,视场为 2mrad ,放大倍率为 4 5倍的扩束器的光学系统结构参数和像质评价结果  相似文献   

17.
扩束系统在激光加工系统中的重要作用   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
赵侠 《激光技术》1999,23(6):378-380
介绍了扩束系统的结构,从理论上计算了扩束系统对激光光束质量的影响,并对其进行了分析和讨论.  相似文献   

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