3B1束线上LIGA掩模的设计研究

BSRF中的3B1光束线与LIGA实验站过去使用的3W1光束线相比,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱,但可实现专用光和兼用光两用.现在LIGA实验站移到3B1光束线,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作.结合此研究目的,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算,分别得到了专用和兼用时3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模:Au-PI组合和Au-Si组合.     

3B1束线上LIGA掩模的设计研究

BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。     

LIGA技术的掩模制造

ＬＩＧＡ技术是近几年才发展起来的一门新的技术，包括光刻、电铸和塑铸。由于要进行深度Ｘ光曝光，所用的同步辐射Ｘ光较硬，这一曝光条件相应就需要Ｘ光掩模吸收全有较大厚度和较高的加工精度，这样才能够阻档住Ｘ光，同时保证较高的光刻精度。     

一种采用双面对准的硅LIGA掩模制作研究

深Ｘ射线光刻是制作高深宽比ＭＥＭＳ结构的一个重要的方法。提出一种基于硅工艺和双面对准技术的ＬＩＧＡ掩模技术,工艺十分简单。采用该掩模,可进一步解决深Ｘ射线光刻中的重复对准多次曝光问题,给出了该掩模设计制作工艺过程及深Ｘ射线光刻结果,整个过程包括常常氮化夺、采用Ｋａｒｌ Ｓｕｓｓ双面对准曝光机进行ＵＶ光刻、电化学沉积金吸收体、体硅腐蚀形成支撑等。利用该掩模在北京ＢＥＰＣ的Ｘ射线光刻光束线上进行曝光。     

甲基丙烯酸甲酯共聚物作为LIGA抗蚀剂的研究

设计合成具有头－头结构的甲基丙烯酸甲酯共聚物以及含大空间侧其的甲基丙烯酸甲酯共聚物,研究了它们为LIGA技术用抗蚀剂的光敏性能,结果表明适当大小空间侧基的引入,有助于改善烯酸甲酯抗蚀剂的光敏性。     

掩模光栅微形变控制方法的研究

为消除用X射线光刻机加工芯片时，光栅变形对图形特征尺寸的影响，提出了用外力控制掩模光栅微小变形方法。用理论分析和有限元计算相结合的方法分析掩模光栅在外力作用下的微小变形及其误差，并对实际结构模型进行实验验证，得到了满足使用要求的最佳设计参数。     

LIGA掩模板的制备与同步辐射X射线深度光刻的研究

采用同步辐射进行深度Ｘ射线光刻是ＬＩＧＡ工艺的关键工序,它包括ＬＩＧＡ掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度Ｘ射线光刻等多个工艺环节,该技术在深度比要求高的微光、微机械及微机电系统的元件制造领域有独特优势＾［１］,报道采用ＬＩＧＡ工艺制作微齿轮所涉及上述工艺的研究结果。     

光刻掩模的静电放电损伤及其防护

半导体集成电路制造中,光刻工艺是整个制造过程中的核心技术.而光刻掩模(Reticle,Photomask)则为光刻技术中的最为关键的部件.随着半导体生产技术的不断提升,光刻掩模对静电放电敏感度也越来越高,如何防护光刻掩模避免遭受静电放电的损坏,已成为目前半导体集成电路制造中的一项挑战.     

LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计

介绍了用ＬＩＧＡ技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中,Ｘ光掩模板图形的ＣＡＤ设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成,微齿轮图形的分割及图形的拟合。     

基于凸投影算法的多相位掩模设计原理研究

根据所需光刻图形的分布,反推掩模结构的思路,提出了一种基于交替投影算法的掩模设计方法。该方法设计出的掩模为振幅和相位连续。并给出了一个设计实例和量化方法。实验结果表明该方法对复杂相移掩模的设计有效,可以减小邻近效应。     

基于B/S架构的卫星地球站远程维护方案设计

随着卫星通信技术的发展,卫星通信终端得到了大量的普及和应用,这也使得远程维护成为卫星通信系统的一个重要组成部分。文章通过对网桥、B/S架构的分析研究,设计了一种基于B/S架构的卫星地球站远程维护方案。     

一种为站内UPS供电的光伏发电系统设计

保证35kV变电站站内UPS供电可靠性尤为重要,为此文章基于云南普洱地区自然条件优势提出了一种为站内UPS供电的光伏发电系统.首先介绍了站内UPS系统组成及工作模式,进一步给出实现站内UPS供电的光伏发电系统组成及各组件的关键参数及特性,最后通过工程应用验证了文章所提方案的可行性.     

昭通市电视台3+1讯道高清卫星车系统设计

昭通市电视台3+1讯道高清卫星车系统是按照国家新闻出版广电总局安全播出实施细则要求设计,即主要(单溃点)、关键设备要求冗余设计.对3+1讯道高清卫星车系统的主要视频设备和卫星传输设备性能和选择进行了详细介绍,特别是卫星传输部分的功放性能、工作方式、功放输出增益进行了详细介绍,该系统通过多次直播运行,设备安全稳定.     

X-ray lithography: Part I—Design criteria for optimizing resist energy absorption; part II—Pattern replication with polymer masks

An X-ray lithography system is analyzed in terms of maximizing the absorbed energy density in the resist. The individual factors, such as X-ray quantum efficiency, electron-beam energy, wavelength, power dissipated in the anode, and the possible use of an X-ray window are discussed. It is shown that K-line radiation from an Al or Si source is the most efficient for mask membranes of either Si or a thin polymer film without an X-ray window and for a thin Be window. For thick Be windows, L-line radiation sources become more efficient. Fabrication procedures have been developed in our Laboratories for polymer film X-ray masks using both photo and electron-beam lithography. The advantages and disadvantages of such masks are discussed. Etched SiO2patterns made using polymer film masks show excellent replication of the mask patterns.     

LIGA技术X光深层光刻工艺研究

通过在北京高有所３Ｗ１束线上进行的Ｘ光深层光刻工艺研究,获得了测壁光滑、陡直,厚度达１００μｍ,深度比达２０的光刻胶和金属微结构,表明该光束线适应于ＬＩＧＡ技术的研究。     

PSG masks for diffusions in gallium arsenide

This paper describes the use of phosphosilicate glass (PSG) films as an effective mask against zinc and tin diffusions in gallium arsenide. It is shown that films with a high phosphorus pentoxide content (as much as 30 percent by weight) can be used to obtain adequate crack-free masks against these dopants. Effective masking was obtained for diffusion depths (unmasked regions) up to 10 µ.     

基于ARM和3G技术的通信基站监控系统设计

结合嵌入式设计技术和移动通信技术,文章重点研究了基站监控系统终端硬件、软件设计以及监控中心软件设计。监控终端硬件设计采用ARM11核心处理器,远程传输采用3G技术,文中详细讲述了监控终端的硬件设计和软件设计方法和工作流程。本系统可以实现基站机房环境维护、设备的远程监控,电源自动切换,基站安全报警,基站维修人员管理等功能。     

自动气象站光伏控制器的设计

为解决自动气象站独立光伏供电系统充电效率低、输出单一的问题,同时提高电源的使用效率。在此利用bq24610芯片和ATmega16L单片机设计了一款具有输出±12V的新型光伏控制器。该控制器实时检测蓄电池端电压,采用合理并精确的充放电控制策略对蓄电池进行充放电,同时还具有过充过放保护、防反充保护功能,有效地保护了蓄电池和延长了蓄电池的使用寿命。通过实验测试和实际应用,验证了该控制器的设计合理性和系统稳定性。