电子致放气测试装置的研究

材料表面吸附的气体分子在电子轰击作用下,会加速释放到真空系统中。为了测试在电子轰击下的材料放气特性,研制了一套电子致放气的测试装置。电子束发生器作为重要的组成部件,具有许多可调参数,这些参数会在一定程度上影响输出的电子束质量,进而影响电子致放气测试结果。文章首先通过实验测量了电子束斑和束流的影响因素,结果表明,聚焦电压和栅极电压对束斑的尺寸有直接的影响,而能量电压对电子束斑直径没有影响。此外,阴极电压、电子能量和栅极电压都可影响到发射电流,从而影响出射的电子束电流。为了验证装置的电子致放气测试能力,采用放气率很低的316 L不锈钢作为测试样品,比较测试其经过三次电子束轰击前后的放气特性。结果表明,经过除气的316 L不锈钢的电子致放气率可较明显地测定,且电子束轰击下放气的主要成分由N₂/CO变为H₂。     

基于CCD的CDT电子束着屏误差自动测试系统

利用CCD图像传感器和图像采集处理技术,实现了电子束着屏误差二维自动测量。在荧光屏的前端附加垂直和水平两组微偏转线圈,通过控制微偏转线圈的电流,改变着屏点附近的磁场,使电子束着屏点的位置在一个粉点范围内精确连续可调。标准光栅的测试验证,系统绝对误差小于5m,表明该系统稳定可靠,一致性好。     

空心阴极电子束对多弧离子镀TiAlN薄膜组织形貌及摩擦学性能的影响

采用空心阴极电子束辅助多弧离子镀的方式在WC基体上制备了TiAlN薄膜,讨论了电子束能量的大小对膜层组织形貌及摩擦学性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、表面轮廓测试仪及材料表面微纳米力学测试系统对薄膜的相组成、微观结构、三维形貌及摩擦学性能进行了检测和分析。结果表明:在未施加空心阴极电子束作用时薄膜具有明显的(112)择优取向,随着空心阴极电流的提高,薄膜逐渐朝着多晶面生长,择优取向减弱。电子束对膜层的形貌及摩擦学性能有显著影响,随着电子束能量的提高,膜层逐渐变得致密、平整,表面粗糙度和摩擦系数均降低,抗磨损性能提高。     

图象式自动瞄准系统的研究

本提出一种图象式自动瞄准系统，它采用“电子准星”技术、亚像束细分技术、实现了被测零件轮廓的自动瞄准和自动测量，该系统已成功地应用在万工显图象化和升级改造中，可将万工显测量精度提高一个数量级，同时扩展了原有功能，该方法还可用于各类光电式仪器的自动瞄准和测量。     

电子束半干法烟气净法试验装置

电子束烟气净化技术因能对烟气同时进行脱硫脱硝处理而备受关注，清华大学核能技术设计研究院建立了烟气处理量为10000m^3/h的电子束半干法烟气净化实验装置，实验装置由烟气调节系统，喷雾干燥系统，注氨系统，烟气辐照系统。收集系统5个子系统组成。本文介绍了电子束半干法烟气净化工艺流程，并对各子系统的组成和功能进行了描述。在试验装置上进行的大量实验表明，电子束半干法烟气净化工艺为电子束烟气净化提供了良好的反应条件。比传统电子束烟气净化工艺的能耗大大降低。累计1500h的运行情况表明，电子束半干法烟气净化工艺系统的工作可靠性和稳定性很好。     

MCS—8098单片机在步进电机矩频特性测定中的应用

基于ＭＣＳ—８０９８单片机丰富的硬件资源，本文提出了一种测试步进电机驱动系统矩频特性的新原理；并根据这种新测试原理，采用ＭＣＳ－８０９８为下位机、ＰＣ兼容机为上位机构成步进电机矩频特性微机辅助测试（ＣＡＴ）系统，由８０９８单片机担负系统主要的测试与控制任务，成功地实现了步进电机驱动系统转矩、转速的自动测量及步进电机、加载装置等的自动控制。与目前常用的数字式转矩转速测量仪相比，简化了测试系统的硬件结构，能大大提高步进电机驱动系统矩频特性测试的精度、效率和自动化程度。     

电子束蒸发与磁控溅射镀铝的性能分析研究

通过对半导体器件电极制备的两种方法即电子束蒸发与磁控溅射镀铝的比较，详细分析了两种方法的膜厚控制、附着力，致密性、电导率和折射率等重要性能指标，测试结果分析表明磁控溅射铝膜的综合性能优于电子束蒸发。     

计算机辅助技术在螺旋桨总图绘制上的应用

利用AutoCAD提供的二次开发工具VBA实现了螺旋桨总图的自动绘制,详细介绍了螺旋桨总图绘制的方法与步骤,重点从伸张轮廓的绘制、正投影轮廓的绘制和侧投影轮廓的绘制三方面说明了螺旋桨总图绘制的实现过程。并在此基础上开发了常规螺旋桨计算机辅助设计系统。该系统能提高工作效率,为船用螺旋桨的精确和高效绘图寻求了一条新的途径。     

形状尺寸自动检测系统的设计

综合运用机器视觉技术和数控技术设计了一套能实现多种形状尺寸自动检测的系统。该系统使用步进电机驱动二维数控平台,采用CCD摄像头和光栅分段采集被测零件的轮廓图像和坐标,运用轮廓自动跟踪算法实现零件完整轮廓坐标数据的自动获取,利用形状尺寸检测软件实现零件直线度、圆度、平行度、垂直度等的检测。实验结果表明所设计的形状尺寸自动检测系统自动化程度较高,检测精度可达微米级。     

轨道车辆动态限界测试系统设计

针对传统轨道车辆限界测试不能实时、连续、快速获得车辆限界的不足,提出一种车辆限界自动化测试系统。该系统根据车辆限界标准及测试要求,结合车辆结构和车辆相对于轨道位置变化的特点,通过在车体及转向架上布置测量传感器,测量车辆相对于轨道的位移和偏转角度,然后提出一种算法对传感器输出数据进行处理,完成轨道车辆的动态轮廓线的实时计算,并在车辆行驶过程中叠加生成车辆最大动态轮廓边界。同时测试过程中通过车辆的动态轮廓与标准限界的实时比较,实现对车辆限界的监测与校核。实车对比试验表明,传统方法测试的车辆轮廓与该测试系统测试结果误差范围在1%以内,该测试系统能够准确测量车辆轮廓线,并在车辆运行过程中实现车辆限界的在线、实时、连续测试。     

光电技术在合肥光源束测量系统中的应用

介绍了光电技术在合肥同步辐射加速器束流测量系统中的应用。介绍了合肥 2 0 0 Me V电子直线加速器利用光电二极管阵列的能谱测量系统、合肥 80 0 Me V电子储存环利用 CCD技术的束流截面测量系统以及利用单光子计数法测量束团纵向精细结构。本文给出了测量结果。     

Improvement of the beam lifetime by applying an rf electric kick field in the compact storage ring

The lifetime of the stored electron beam in the compact storage ring AURORA is governed by the Touchek effect. It has been shown that it is appreciably increased by applying a vertical rf kick field to the electron beam without giving harmful effect to the beam stability. Interferometric measurement of the radiation beam profile showed an increase in the beam size, indicating the reduction of the Touchek effect. Application of the field with increase in power has induced collective excitation of the betatron oscillation.     

基于光谱共焦的在线集成表面粗糙度测量方法

为了提高加工检测效率,实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量,提出一种基于光谱共焦位移传感器在现场坐标测量平台上集成表面粗糙度测量的方法.搭建实验测量系统且在LabVIEW平台上开发系统的硬件通讯控制模块,并配套了高斯轮廓滤波处理及表面粗糙度的评价环境,建立了非接触的表面粗糙度测量能力.对标准台阶、表面粗糙度标准样块和...     

道路路面的剖面曲线测量研究与实践

回顾了近年来道路路面测量各种方法的研究现状,介绍了自主开发的高精度道路路面测量系统的测量原理和试验方法。在此基础上针对道路路面的真实剖面曲线测量方法进行了探讨和分析,并通过一些对比分析试验对该方法的测量误差进行了讨论,得到了较好的分析试验结果。最后针对道路路面的剖面曲线测量方法进行了总结,对该方法的应用范围和优缺点进行了评价。     

一种改进的基于条纹对比度的三维测量方法

基于条纹对比度的三维测量方法由于具有垂直测量的特点,可用于测量表面有突变的复杂物体的三维信息.本文在现有方法的基础上,提出了一种改进的基于条纹对比度的三维测量方法.该方法利用投影仪将一组相移的正弦条纹依次投射在被测物体上,并使被测物体位于投影仪成像面的前方,CCD相机通过一个半透半反镜从投影方向获取物体表面的条纹图像,...     

Primary electron pulse shape evaluation in an EBT system

The time resolution of an electron beam testing system (EBT) is mainly related to the primary electron (PE) sampling pulse width. Signal deconvolution techniques are available to enhance the time resolution of the system, provided the PE pulse shape is known with high accuracy. While for high energies this shape has already been evaluated, for the low energies commonly used in MOS IC testing, some additional difficulties must be accounted for, such as increased PE beam spot dispersion, charge trapping into passivation oxides, and lower SIN ratio at the detector. Here, we describe the direct measurement of the PE current used to sample internal voltage waveforms through the use of a fast avalanche photodiode. A numerical simulation has also been performed to help in the correct interpretation of the results. Using a known signal as an input to a matched-impedance microstrip line, a numerical deconvolution technique has been applied to the signal sampled by finite-duration current pulses to evaluate the goodness of the restoration of the original signal     

三维内曲面轮廓非接触式激光扫描图象测量

三维内曲面轮廓的非接触式精密测量是计测领域中的一个难题。本文基于光机电一体化的思想，针对非球型回转体内轮廓的非接触式测量，提出了激光扫描图象测量法，论述其测量原理，介绍了测量系统的特点和组成．对这一技术的研究．将有助于零件的在线非接触式测量，尤其是在恶劣的工业环境下的测量，以及计算机集成制造技术（ＣＩＭＳ）的发展     

基于点特征的直角坐标系空间直线度偏差评价

目前直角坐标系下空间直线度偏差评价尚未形成统一的方法,针对此问题,提出了基于点特征的直角坐标系空间直线度偏差评价方法。利用空间直线度偏差测量模型与点特征间的关系,以直角坐标系下空间直线度测量方法为基础,建立空间直线度偏差评价数学模型。在截面测量法的基础上,建立空间直线度偏差测量模型。基于空间任意对称二次曲线数学方程,构建最小二乘测量截面轮廓曲线,解决被测截面轮廓中心获取的问题。根据模型点特征关系,最终实现对空间直线度偏差的准确评价。通过实际测试验证了所提出方法的合理性与准确性,为推动空间直线度精密测量技术发展提供了有力支撑。     

飞行器周边气体折射率变化对激光测量影响的模拟研究

在利用激光测量飞行器姿态参数的实验中,当测量光线穿过飞行器所产生的射流场时,场内气体光折射率不同而使光路发生弯曲,从而对测量结果造成影响.本文根据空气射流动力学原理,对飞行器周围射流场内气体的光折射率分布规律进行分析,建立简化模型,并以此得出影响测量误差的相应因素,估算出测量光束弯曲的角度偏差,从而对测量结果进行修正;同时可以提高系统的测量精确性,对测量系统的设计有所帮助.模拟试验结果表明,该计算方法可以有效的计算出测量结果的误差.     

长距离同轴度测量方法及实验

本文介绍了一种新型的自适应双频激光同轴度测量系统，该系统利用两个完全对称的渥拉斯顿棱镜，一个作为测量元件，另一个作为补偿元件，采用比相技术处理测量信号，因而测量元件可以暂时移出光路，能够进行同轴度的测量，系统的光学设计使激光光束的平衡和角漂不影响测量结果，对激光的漂移有自适应性，两束干涉光基本符合共光路原则，因而对大气湍流，空气扰动的影响具有更强的适应性，可用于长距离直线度，同轴度的测量。该系统与