抽油泵柱塞等离子体浸没离子注入工艺研究

采用不同的等离子体浸没离子注入（PIII）工艺对45钢油井抽油泵柱塞进行了氮离子注入,研究结果发现,不同条件下的氮离子注入均能提高抽油泵柱塞表面的显微硬度的耐磨性,尤其采用射频等离子体浸没离子注入技术对抽油泵柱塞进行注入处理,柱塞表面显微硬度得到了显著提高,同时耐腐蚀性也明显改善。     

等离子体表面改性技术及其应用

科学技术和现代工业的发展,对摩擦、磨损、腐蚀和光学性能优异的先进材料的需要日益增长,这导致了整个材料表面改性技术的发展与进步。其中等离子体表面改性技术发挥了重要作用。 1.等离子体的物理概念 等离子体是一种电离度超过0.10％的气体,是由离子、电子和中性粒子(原子和分子)所组成     

等离子体技术在金属材料表面改性中的应用

介绍了等离子体的有关概念及其在材料表面改性的基本原理，阐述了低温等离子体技术在金属材料表面改性中的应用研究，探讨了该技术在金属材料表面改性中的应用前景及其存在的问题。     

GCr15钢等离子体源离子注入表面改性

用等离子体源离子注入技术对GCr15钢进行了氮离子注入,对注入层的成分进行了俄歇剖面分析,对注入层的显微硬度和摩擦性能进行了测试,对摩擦磨损表面进行了扫描电镜分析,研究结果表明;注入层的硬度和耐磨性均获得了明显的提高。     

高频低压等离子体浸没离子注入技术研究

利用低电压注入可以在相同的温度下较传统高压PIII获得更高的注入剂量率,同时在注入脉冲过程中形成较薄的离子阵鞘层,以利于提高注入剂量均匀性。低压与高频注入相配合可获得合适的处理温度和注入剂量率。研究结果表明,经高频低压PIII处理后的SS304样品硬度明显提高;氮元素内扩散可达1.5μm,表面氮浓度接近20%。     

45#钢液相等离子体电解渗透表面改性技术研究

应用液相等离子体电解渗透技术处理45#钢,探索了在无机盐与甲酰胺组成的电解液体系下短时间内实现渗氮为主、同时有少量碳渗入的可能性。一般情况下,工作时工件为阴极,不锈钢或镍为阳极。在本工艺中,当电压较低时,为低温氮碳共渗,以渗氮为主;当电压较高时,属于碳氮共渗,以渗碳为主。结果表明,使用此技术碳氮共渗时间只需10～12min,表面改性层厚度即达30-50μm,其中化合物层20-30μm,扩散层10-20μm。     

轴承表面改性技术的发展及其应用

表面改性主要是采用化学、物理等方法使基本表面的组织、成分，形貌和性能发生变化，从而改善表面性能，轴承经过表面改性后可延长使用寿命，降低摩擦力矩，提高可靠性，介绍了轴承的表面软改性技术和硬改性的方法和应用。     

浸没式光刻机浸没流场的仿真与试验

浸没式光刻是当前45 nm以下集成电路(Integrated circuit,IC)生产线上唯一实际应用的技术.它通过在最后一片投影物镜和硅片之间填充高折射率的浸没液体来提高光刻的分辨率.作为光刻系统中光路的一部分,浸没液体需要保持良好的均一性.然而,曝光过程中光刻胶泄漏污染和曝光温升的问题,会破坏流场的均一性,并最终...     

常压DBD等离子体对高分子纤维材料改性应用

利用常压介质阻挡放电等离子体对超高分子量聚乙烯和聚丙烯纤维进行表面改性，研究了处理前后聚乙烯纤维的力学性能的变化和纤维束与环氧树脂粘合性能的改善情况，以及等离子体处理对聚丙烯纤维吸湿改性的影响。结果表明，纤维束在断裂强度相对较低的情况下，纤维与树脂的层间剪切应力有比较大的提高，此外，等离子体处理后经观察发现，聚丙烯纤维的微观表面出现了明显的凹坑和裂纹，其吸湿性能得到了提高。     

等离子体浸没离子注入技术的应用与发展趋势

随着工业现代化和武器装备的发展，对各种机械设备零件的表面性能提出了越来越高的要求。一些在高速、高温、高压、重载及腐蚀介质等条件下工作的零件，往往因其表面局部损坏而使整个零件报废，最终导致设备和装备的停用，为此表面工程技术受到了人们的极大重视。     

离子束金属材料表面改性技术

本文综述了国内外离子束金属材料表面改性技术的研究概况,叙述了离子镀,离子注入,离子束混合,离子束增强沉积和等离子体浸没离子注入等表面技术的特点和应用。     

基于浸没式液冷技术的模块设计与实现

为满足目前自主可控的国产化芯片高性能、高可靠性的应用需求,文中设计并实现了一款基于浸没式液冷技术的加固型液冷模块。将所有元器件均浸没于模块的冷却液中,并通过合理的结构布局,强制冷却液流动,加速带走模块内各芯片产生的热量,有效解决了在有限空间内功率密度高、器件局部过热、能量利用率低等问题,提高了计算机整体的散热效率和空间利用率。最终浸没式液冷模块试制成功,注满冷却液,并满足项目各项指标要求,可为后续浸没式液冷技术在加固计算机领域的推广应用提供参考。     

离子束金属材料表面改性技术

本文综述了国内外离子束金属材料表面改性技术的研究概况,叙述了离子镀、离子注入、离子束混合、离子束增强沉积和等离子体浸没离子注入等表面技术的特点和应用.     

38CrMoAl钢等离子体源离子注入表面改性研究

对３８ＣｒＭｏＡｌ钢等离子体源氮离子注入层的氮浓度俄歇部面分布,显微硬度和摩擦性能进行了研究。结果表明,注入层的显微硬度和摩擦性能得到明显改善。     

等离子体表面改性对PTFE织物自润滑衬垫综合性能的影响

采用等离子体对PTFE织物进行表面改性,通过接触角测试、顶破强力、剥离强度和摩擦磨损寿命试验研究等离子体表面改性对PTFE织物亲水性、PTFE织物自润滑衬垫整体强度、剥离强度和摩擦磨损性能的影响。试验结果表明：等离子体表面改性后PTFE织物与水的接触角由135.9°降至91.8°,树脂对织物的浸润效果得到了改善;等离子体表面改性后PTFE织物衬垫的平均顶破强力为未处理衬垫的1.59倍;平均剥离强度为未处理衬垫的2.07倍;平均摩擦磨损寿命为未处理衬垫的1.66倍,衬垫的整体强度和耐磨性均得到了提高。     

略论离子注入表面改性技术的进展

介绍了离子注入表面改性技术的基本原理、工艺特点、研究现状和工业应用情况。较全面地探讨了该技术的发展趋势和应用,提出了庆继续改进和发展设备以进一步改善其效能,降低注入成本,并采取取合适的产来政策。     

先进绿色：激光冲击表面改性技术

材料的表面处理在现代工业产品中已显得越来越重要,尤其是对金属材料的表面强化处理在机械制造产业中显得尤为迫切。为此,人们研发了多种表面处理技术与工艺来改善材料的表面性能,以满足日益增长的需求。由于激光具有良好的可控性及可重复性等特点,从20世纪70年代起,     

面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述

超精密平面光栅编码器位移测量技术是32～7nm节点浸没式光刻机的核心技术。通过分析浸没式光刻机平面光栅位置系统的需求和布局,提出了光刻机专用超精密平面光栅编码器的基本需求。针对现有的光栅编码器,开展了基本测量光路方案、相位探测方案、分辨率增强光路方案、离轴/转角允差光路方案、死程误差抑制光路方案的综述分析,提出了现有设计方案面向光刻机应用所需要解决的关键问题。面向亚纳米级测量精度的需求,针对光栅编码器的仪器误差,对周期非线性误差、死程误差、热漂移误差和波前畸变误差进行了综述分析,提出了平面光栅编码器实现亚纳米精度所需要解决的关键问题。本综述为光刻机专用超精密平面光栅编码器的研制提供了参考。     

光刻机浸没液体控制系统的研究现状及进展

浸没式光刻机是目前在45 nm以下IC生产线上唯一获得应用的新光刻装备.浸没控制系统是浸没式光刻机的核心子系统之一,用于在最后一片投影物镜和硅片之间,提供并维持具有高度洁净度与稳定性的缝隙流场,利用高折射率浸没液体,提高光刻分辨率.介绍浸没控制系统的技术背景、组成及其特点,论述国外在液体浸没方式、液体动态密封、流场检测与控制、曝光热效应和气泡控制等关键技术方面的研究成果以及国内自主研发的进展.针对浸没式光刻机向着更高光刻分辨率和更高生产率不断延伸的特点,对浸没液体控制系统的发展前景进行展望,指出其发展中面临的挑战与有待解决的关键技术,浸没液体控制系统将在浸没式光刻机的发展过程中继续扮演着重要角色.