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《真空科学与技术学报》2017,(2)
十多年前开始在真空电子技术相关工艺设备中应用低温泵、干泵无油系统来获得超高真空,效果满意。这次尝试将低温泵快速、洁净和可靠的独特优势应用到真空炉中。将低温泵并入真空系统中,达到清洁的超高真空环境。本文以实例介绍了低温泵在超高真空炉中的应用;重点介绍了低温泵真空系统的设计思路,真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,并用图示方法详细介绍了低温泵系统的安装、使用和维护等环节。对同类真空炉的研发和低温泵的应用都有参考价值。通过严格把关各研发环节,按照超高真空规范进行清洗,除气和烘烤,最后真空炉的极限压力达到了2×10~(-7)Pa,将常规的真空炉极限压力延伸了近一个数量级。 相似文献
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一、前言 随着现代工业和科学技术的迅速发展,空间技术、高能物理、表面物理、电子工业、受控热核反应等许多尖端科学技术,对真空系统结构材料的预处理,提出了越来越高的要求。结构材料在超高真空炉中高温除气,被认为是目前世界上最有效的材料预处理方法[1]。迄今为止,不锈钢中最低的材料放气率,不是用其它处理方法取得的,而是通过超高真空炉高温除气获得的[2]。 为了满足超高真空结构材料的越来越高的处理工艺要求,有效地解决我厂超高真空产品的质量问题,我厂近年来研制成功了RC型快速冷却超高真空炉。见图1。这台大型设备从开始设计到研… 相似文献
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目前 ,在国内用于电度表校验台中的电压互感器已出现二次电压为5 7 6V、 12 7V、 110 /3V、 2 2 0V等诸多规格。我们知道 ,目前国内无论是互感器生产厂家、电力部门 ,还是计量部门 ,都大量使用以电位计为原理的互感器校验仪 (如HE5、HE11等 ) ,而这些型号的校验仪 ,其测量电压回路的额定电压均为标准规格电压值。怎样利用这类仪器检定特殊规格电压互感器是从事该项工作的同志们关心的问题。众所周知 ,在我国 ,电压互感器误差的检定方法均采用比较法 ,即以相同变比的标准电压互感器相比较 ,取出差值输入校验仪 ,直接读出误差及相位差… 相似文献
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介绍一种新型高温抗振铂电阻测温元件。从仪表元件的原理、结构设计、制作工艺等方面进行分析论述,并提供相应的实验数据。对实验数据从稳定性、抗振性等方面进行误差分析,显示出该铂电阻测温元件的突出优点,可用于高温振动条件下的温度测量,具有一定的实用价值。 相似文献
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80年代中后期前苏联定型了一种用于800℃以下工作的燃气涡轮发动机涡轮盘和压气机盘的3Ⅱ741Ⅱ粉末镍基高温合金。该合金的化学成分等要求,分别列于表1~6。 相似文献
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引言在过去几十年中,对于想预先知道将在严酷的条件下进行飞行的飞机结构中的疲劳情况的兴趣,愈来愈增加了。予报疲劳损伤情况已成为机械工程中的一种重要手段。为了要在发生致命损伤之前预告疲劳损伤情况,已进行过广泛的试验和分析。为了更好地设计出飞得更快的飞机,以及了解宇宙航 相似文献
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—种抗高温氧化的新型可控热膨胀高温合金可控热膨胀高温合金是航空燃气发动机很有用的材料,其尺寸稳定,在广泛温度范围内使转子和静子之间的间隙保持最小,以提高燃气涡轮发动机的热效率。在目前先进航空涡扇发动机中无论是被动间隙控制或是动间隙控制技术中,涡轮机匣... 相似文献