电子气在使用过程中对保持纯度的要求

电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体，称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。     

如何发挥包装阻隔性对保质期的促进作用

研究发现，导致产品变质的原因主要是包装内特定气体的含量，因此控制包装内的气体含量可有效延长产品的保质期。利用阻隔性材料包装产品可以实现对包装内气体成分的控制，因此阻隔性材料成为近年来发展最快的功能性包装材料之一，而材料的阻隔性能更成为材料的主要检测项目之一。     

国内外特种气体市场概况

随着全球半导体产业的发展，电子特种气体作为半导体工业重要的基础材料前景光明，充满机遇。主要综述国内外特种气体的市场概况。     

我国特种气体行业进入快速发展阶段

正气体工业是国民经济基础工业之一,覆盖社会生产的各个领域,受益于国民生活,牵动着科学技术的发展。特种气体是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。作为基础化工材料,特种气体随着新产品技术的发展,应用范围越来越广泛。特种气体门类繁多,通常可分为电子气体、环保气、医用气等,广泛应用在石油化工、有色金属、激光、     

高纯液氧、液氮的研制及其供应

电子工业的迅速发展是现代科学的重要标志，大规模集成电路的生产技术更体现一个国家工业发展的水平。高纯氧、氮、氢、氩等气体，是半导体电子器件、集成电路生产工艺中必不可少的原料。这些气体纯度的高低，是直接影响电子器件质量和成品率的重要因素之一。世界工业发达国家的半导体集成电路生产工艺，不仅普遍应用高纯气体，而且有90％以上是采用高纯度液态气体直接汽化的输送气体。     

半导体工业对特种气体的要求

特种气体在国防、化工、电子、冶金、能源等现代科研部门和国民经济的一些领域中有着广泛的用途。尤其是对于电子部门中的半导体领域，这类气体更显得重要。从半导体材料、半导体器件、集成电路的制造到半导体材料、器件的理论物理的研究都离不开各类特种气体。也就是说，如果没有合格的高纯、超纯气体和各种组成的混合气体就制造不出成品率高的集成电路，也就没有电子计算机。     

气体工业名词术语

特种气体　（Ｓｐｅｃｉａｌｔｙｇａｓｅｓ）系指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。电子气体　（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｇａｓｅｓ）　半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和…     

国内简讯

高纯电子气体重大专项启动近日,由中昊光明化工研究设计院有限公司等6家国内电子气体从业单位共同承担的国家重大专项高纯电子气体研发与产业化项目日前正式启动。该项目是《国家中长期科技发展规划纲要》确定的16个国家科技重大专项之一——极大规模集成电路制造装备及成套工艺课题的一部分,将重点开展8 inch以上IC制造用高纯电子气体关键共性技术研究,并实现产业化,为我国IC制造业提供高端电子气体。     

高纯氮中痕量杂质定量方法的研究及其应用

编辑按：为向广大计量工作者介绍我国计量领域科技成果及其发展水平，宣传计量科技成果所产生的社会效益和经济效益，从本期起，科学计量栏目将对1995年、1996年度计量科技成果奖项目进行系列报道。也希望获奖者踊跃投稿。高纯气体在电子、石化、煤炭、医疗卫生等许多部得到了广泛应用。也是气体计量的基础物质之一。研究高纯气体中痕量杂质的定量方法，是气体计量的重要环节，对评价高纯气体产品质量，提高标准气体的准确度有重要意义。高纯氮是应用最广泛的高纯气体之一。高纯氮中痕量杂质主要有H2、CO2、CO、CH4、Q2、H2O等，对这些…     

国外电子气体供气系统洁净技术

电子气体是发展大规模、超大规模和兆位级集成电路必不可少的材料。目前国外256K DRAM(动态存取存储器)已进入成熟期,1兆位DRAM进入全盛期,4兆位DRAM已正式销售,1987年首先由日本开发成功16兆位DRAM。为适应IC(集成电路)发展对材料的需求,国外许多特种气体公司先后开发出电子级、超大规模集成电路级(VLSI)和兆位级电子气体。线宽进入亚微米级后,尘埃、金属粒子污染问题更为人们所关注。本文简介粒子污染及其洁净技术的进展。一、尘埃和金属粒子源及其对半导体器件质量的影响在用于制造半导体器件的气体中,如存     

四极质谱仪在电子诱导脱附实验中的应用

光电解吸气载是同步辐射光束线特有的解吸气载。经研究,光电解吸气载是光束线真空系统动态情况下的主要气载。在整个光电解吸过程中,光电子及二次电子对真空材料表面吸附气体的激发起主要作用。电子诱导脱附实验(ESD)是研究光电解吸过程的重要手段。本课题针对不同材料的样品及不同样品处理工艺情况下,使用MPH 200M四极质谱仪测量样品室中残余气体分压,得到了真空室材料受电子激发后的残余气体成分,并利用上述气体分压计算出主要残气气体成分的电子激发解吸系数同入射电子累积剂量的关系。为光束线真空系统维护提供了实验数据。     

国内部分

92168 国内外电子气体技术进展化工新型材料,1991,19(9),4～10、20 综述了国外兆位级集成电路制造用气体品种与纯度标准、MO源材料的开发、电子气体配套器件、电子气体技术进展。指出国内尚未开发出ULSI级气体,在纯化技术、气瓶及管线内表面处理技术、分析检测与安全技术,特别是供气技术上与国外水平有一定差距。92169 氩气的应用与发展现代化工,1992,(1),60～61 论述了氩气在金属冶炼、钢包喷粉、钢包吹氩、电子工业、金属切割与焊接中的应     

基于电子诱导脱附的气体解吸实验装置研究

电子诱导脱附是指荷能电子轰击吸附了气体分子的材料表面,使得气体分子解吸出来的现象。在同步辐射光源、热阴极电离规和真空微电子器件等部件中,上述脱附气载是影响系统真空度和阴极寿命的主要因素。本文以日本光子工厂电子诱导脱附(KEK-ESD)装置试验数据为参考,研制了一台在150e V～1000e V电子能量范围内测量材料电子解吸系数的试验装置,并同KEK-ESD无氧铜材料试验数据进行了对比,证明本装置能有效测试材料表面的电子解吸系数。     

电子皮肤热点核心材料及其在生命健康领域中的应用研究进展

人体皮肤能够感知外界的信息,在与外界交流中起着重要的作用。模仿人体皮肤特性和环境感知能力的电子皮肤在医疗监控、仿生假肢与机器人触觉感知等领域中有着广泛的应用。与传统的可穿戴传感器相比,电子皮肤更轻、更灵活、更具延展性,而且具有无线、透明、与人体皮肤兼容等特性,已成为新兴的研究领域之一。电子皮肤可以连续检测人体的大量物理和生化参数、人体运动、气体等,以实时监测人体健康、体育运动以及各种环境中的气体。本文综述了电子皮肤所使用的最新材料,包括零维（0D）、一维（1D）、二维（2D）和三维（3D）微纳米材料、聚合物材料、水凝胶材料及其复合材料等;详细归纳了基于这些热点核心材料所构建的电子皮肤在健康监测、运动监测以及气体监测等生命健康领域中的应用;指出了电子皮肤在研究过程中依然存在着成本高、工艺复杂等技术难题,但电子皮肤发展趋势朝着多功能化和多种外界刺激同步检测发展,并且在医疗设备、机器技术及未来的制造领域中应用前景广阔。     

黎明院拟投资逾9亿建设4600t/a特种含氟电子气体项目

正3月13日晚间,昊华科技(600378)发布公告,为发展电子化学品产业,公司全资子公司黎明化工研究设计院有限责任公司(以下简称"黎明院")拟投资9. 14亿元建设4600 t/a特种含氟电子气体项目。昊华科技指出,电子气体在半导体领域具有广泛的应用,是半导体生产过程中的重要原料之一。近年来,随     

国外特种气体技术水平概况

特种气体是具有特殊用途的气体。它是为适应现代电子工业、化学工业、尖端技术、环境保护、医学科学及基础科研、精密检测等需要，于六十年代中期在现代工业气体大规模生产的基础上迅速发展起来的一个新的生产技术体系。特别是大规模集成电路的研制和生产，大型石油化工装置生产过程的自动化等，必需使用电子气体和各种超纯气，以及以超纯气体为基础配制的各种量值可靠的混台气体，     

中国化工代表团赴美日考察报告：电子特种气体部分

概述了电子特种气体考察情况。着重介绍所考察的美国Ｐｒａｘａｉｒ公司和日本酸素株式会社在电子特种气体的研制、开发、生产、供应方面的技术细节，提出了发展我国电子特种气体产业的一些建议。     

基于表面官能团反应的HCl电子气体深度除水研究

HCl电子气体是集成电路制程中刻蚀和清洗的关键气体,其水分、金属离子等有害杂质需严格控制,ppbv(10~(-9))级深度除水对保障HCl电子气体的纯度、品质稳定性和制程应用效果至关重要。常规活性炭虽然耐HCl腐蚀,具有较高比表面积,但除水活性有限。该工作对活性炭进行了酰氯化修饰,并研究了酰氯化活性炭对HCl电子气体的深度除水作用。结果表明,活性炭经氧化酸化和酰氯化处理后,形成的表面酰氯化官能团可选择性地与HCl电子气体中的ppmv(10~(-6))级水分反应,将水分转化为HCl,使HCl电子气体中水分降至ppbv级,同时自身水解生成表面羧基等官能团,对存在HCl电子气体中和活性炭可能释出的痕量金属离子,有吸附阻滞作用,抑制了深度除水后HCl电子气体中金属离子的显著增加。由于表面羧基等官能团可重新酰氯化,活性炭材料对HCl电子气体的高效、选择性深度除水能力再生成为可能。该工作也为探索石墨烯、碳纳米管等新型碳材料在电子气体深度纯化上的新应用提供了依据。     

国风塑业发展高端高品质聚酯薄膜

据了解，我国电容器特别是薄膜电容器需求量飞速增长。作为薄膜电容器的核心介质材料，电容膜占其成本的70％以上，是国家重点鼓励发展的电子专用材料之一。但由于其技术要求高，目前国内很少生产，大量依赖进口。为做强薄膜主业，发展高端、高品质聚酯薄膜，作为高新技术企业和国内规模较大的专业薄膜生产商之一，     

无机复合超细活性阻燃填料

高分子材料或高聚物基复合材料已成为现代社会最重要的材料之一，其应用范围已遍及电力、电子、交通、通信、建材、化工、机械、纺织及日用品等各个领域，阻燃一直是高分子材料发展的重要问题之一，随着社会的进步，严格防火标准法规的确立及人类环保意识的增强，