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相似文献
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1.
本文将讨论一种新型的微波等离子体CVD设备———线形微波等离子体CVD设备和其在金刚石薄膜制备技术中的应用。利用Langmuir探针方法对线形微波等离子体CVD设备产生的H2等离子体进行的等离子体参数测量表明,在工频半波激励的条件下,H2等离子体的电子温度和等离子体密度分别约为6 eV和1×1010/cm3。尝试利用线形微波等离子体CVD设备,在直径为0.5 mm的小尺寸硬质合金微型钻头上进行了金刚石涂层的沉积,获得了质量良好的金刚石涂层。由于线形微波等离子体CVD设备产生的等离子体面积具有容易扩大的优点,因而在需要使用较大面积等离子体的场合,它将有着很好的应用前景。  相似文献   

2.
采用微波等离子体化学气相法合成的金刚石膜质量好,但采用常规CH4-H2反应气体体系,金刚石膜的沉积速率较慢。为此,实验研究了C2H5OH-H2、CH3COCH3-H2等含氧体系下碳源浓度、微波功率、气体压力对金刚石膜沉积速率、表面形貌、电阻率的影响。结果表明,使用C2H5OH—H2、CH3COCH3-H2等含氧体系,金...  相似文献   

3.
高克林  王春林 《真空》1992,(3):9-14
本文研究了微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜的宏观控制参量对成核和生 长过程的影响.过高的碳源浓度、低的衬底温度不利于金刚石膜的生长.在金刚石膜的 成核和生长期采用不同的条件,生长出晶形较好的金刚石薄膜。  相似文献   

4.
在使用简化的等离子体放电模型的基础上,模拟了圆柱谐振腔式微波等离子体沉积室中,不同金刚石膜生长条件下微波等离子体的分布状态。在模拟中,针对纳米金刚石的生长环境,就纯氩气反应气体中,不同的输入功率、不同气体压力条件下,沉积室中形成的等离子体分布的变化规律进行了模拟,将其与一般氢气气氛下的相应模拟结果相对比。模拟所获得的结果,对微波等离子体方法沉积金刚石膜的操作环境的优化,有着一定的指导意义。  相似文献   

5.
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术被认为是制备高质量金刚石膜的一种最重要的技术手段。对微波等离子体金刚石膜沉积装置进行模拟与优化,可大大减少设计和改进MPCVD装置时所需要的时间与成本。本文在结合使用谐振腔质量因子和沉积台上方等离子体的密度与分布两个优化判据的基础上,采用Matlab语言和时域有限差分方法,模拟了圆柱谐振腔式微波等离子体金刚石膜沉积装置,并对其主要尺寸进行了优化。  相似文献   

6.
新型MPCVD装置在高功率密度下高速沉积金刚石膜   总被引:3,自引:0,他引:3  
使用自行研制的新型MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在输入功率为5kW,沉积压力分别为13.33、26.66kPa和不同的甲烷浓度下制备了金刚石膜。利用等离子体发射光谱法对等离子体中的H原子和含碳的活性基团浓度进行了分析。用扫描电镜、激光拉曼谱对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质等进行了表征。实验结果表明,使用新型MPCVD装置能够在较高的功率密度下进行金刚石膜的沉积;提高功率密度能使等离子体中H原子和含碳活性基团的浓度明显增加,这将提高金刚石膜的沉积速度,并保证金刚石膜具有较高的质量。  相似文献   

7.
着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置,以及在CH4-H2混合气体放电情况下,诊断了内部等离子体参数,给出了等离子体密度、电子温度、基板鞘附近的空间电位以及在类金刚石膜合成条件下等离子体中的基团情况,同时研究了它们与工艺参数之间的关系。  相似文献   

8.
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,在以往的实验条件上,改用CH4替代C2H5OH作为碳源,合成出单晶金刚石。使用宝石显微镜和环境扫描电子显微镜观察分析了MPCVD单晶金刚石膜的生长表面形貌。初步实验表明,在压力为12kPa,H2流量为300sccm,CH4流量为6sccm的生长环境中,可以合成出质量较好的...  相似文献   

9.
基片位置对微波等离子体合成金刚石的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
用自制的微波功率为5kW的微波等离子体(MPCVD)装置、用H2/CH4/H2O作为反应气体在较高的沉积气压(12.0kPa)条件下,研究了基片放置在等离子体球边缘附近不同位置对CVD金刚石沉积和生长的影响。结果表明,CVD金刚石的形核和生长对环境的要求是不同的;在等离子体球边缘处不利于金刚石的形核,但有利于高质量金刚石的沉积。  相似文献   

10.
针对金刚石膜微波介电损耗低、厚度薄带来的微波介电性能测试难点, 研制了一台分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置。利用不同直径的蓝宝石单晶样品, 用上述装置对低损耗薄膜类样品微波介电性能的测试能力及样品直径对测试结果的影响进行了实验研究。在此基础上, 使用分体圆柱谐振腔式微波介电性能测试装置对微波等离子体化学气相沉积法和直流电弧等离子体喷射法制备的高品质金刚石膜在Ka波段的微波介电性能进行了测试比较。测试结果表明, 由Raman光谱、紫外-可见光谱等分析证明品质较优的微波等离子体化学气相沉积法制备的金刚石膜具有更高的微波介电性能, 其相对介电常数和微波介电损耗值均低于直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜。  相似文献   

11.
将碳纤维预浸芳基乙炔后进行空气等离子处理,使芳基乙炔接枝在碳纤维上,并用扫描电镜、红外光谱、紫外光谱、X射线衍射、拉曼光谱等多种方法进行研究。结果表明经过等离子处理以后的碳纤维/芳基乙炔复合材料的层间剪切强度(ILSS)最大可提高12.4%,而碳布接枝了PAA单体以后,可使复合材料的层间剪切强度最大提高到51.27%。   相似文献   

12.
离子渗钨钼手用锯条合金元素含量的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
通过对双层辉光离子渗钨钼手用锯条切削条件及切削 分析,从理论上对渗入合金元素的选择进行了讨论,并结合试验结果,提出了满足切削性能要求的离子渗钨钼手用锯条使金元素的含量。  相似文献   

13.
The effect of mechanical alloying (MA) on the formation of MnSi1.73 thermoelectric compound was investigated. Due to the observed larger loss of Si relative to Mn during MA, the starting composition of Mn-Si was modified to MnSi1.83 and MnSi1.88. Sintering was performed in a spark plasma sintering (SPS) machine up to 600-800 degrees C under 50 MPa. The single phase MnSi1.73 has been obtained by MA of MnSi1.88 mixture powders for 200 h. It is also found that the grain size of MnSi1.73 compound analyzed by Hall plot method is reduced to 40 nm after 200 h of milling. Additionally, X-ray diffraction data shows that the SPS compact from 200 h MA powders consolidated at 600 degrees C consists of only nanocrystalline MnSi1.73 compound with a grain size of 90 nm.  相似文献   

14.
首先列举了当前应用比较广泛的几种油墨,如溶剂型油墨、水性油墨和能量固化型油墨.然后主要针对能量固化油墨中的电子束固化油墨进行了分析.从电子束固化油墨的组成出发,对其固化机理进行了详细的分析,接着对线性加速器和扫描式加速器进行了介绍,最后对电子束油墨的广阔前景做出了分析.  相似文献   

15.
低温氧等离子体改性聚乙烯醇渗透汽化膜   总被引:3,自引:0,他引:3  
用低温等离子体处理聚乙烯醇膜,通过红外光谱,表 ,扫描电镜等分析测定证明了用氧等离子体处理后膜表面带上羰基,增加了羟基,同时使原来未水解的部分乙酸乙烯酯全部裂解掉。当分别用未处理的原始PVCA膜处理面以着原料液膜以及处理面对着低压侧膜对乙醇-水溶液进行渗透汽化分离时,发现上,下表面均对渗透汽化过程有重大影响,其上表面主要作用膜的溶解过程,而下表面则对膜的扩散控制有较大贡献。  相似文献   

16.
用低温氧等离子体处理聚乙烯膜,被处理的膜通过红外、表面接触角、电子扫描显微镜、元素分析等手段证明在其表面形成了多量的羟基、羰基和羧基等含氧基团。当将这种处理膜的处理面对着原料液(UPE)、处理面对着低压侧(DPE)及原始膜(PE)分别用来渗透汽化分离乙醇水混合物,发现PE膜为优先透醇膜。UPE渗透汽化产物的醇浓度下降,透量增加,并且透过速率对原料液浓度曲线呈反S形。DPE膜则完全变成了优先透水膜,并且透过速率明显下降,说明渗透汽化膜表面的结构及组成对渗透汽化过程予以重大的影响,膜的上表面主要发生溶解,下表面则对被分离物予以强有力的扩散控制。  相似文献   

17.
ABSTRACT

Numerical unsteady natural convection flow in a square cavity in the presence of uniform magnetic field is investigated. The cavity is filled with CNT-water nanofluid and heated from below with sinusoidal temperature distribution. This study has been conducted for the certain pertinent parameters of Rayleigh number Ra, Hartmann number Ha and the CNT volume fraction from Φ?=?0 to 0.12. The results indicate, that for large values of Ha, increasing Φ results in an increase of the normalized average Nusselt number. The rate corresponding to CNT- volume fraction nanoparticles of 10% ensures an enhancement about 50% of the heat transfer rate compared to the standard case. The flow undergoes a period bifurcation at a Rayleigh number beyond the value 106. A critical Rayleigh number Rac of 1.077?×?106 is then computed. Finally, a correlation giving the average Nusselt number as a function of the frequency of the periodic regime is established.  相似文献   

18.
No Heading Some properties of the flux-line lattice in conventional and high-Tc superconductors are reviewed, with particular stress on phenomenological theories, magnetization curves, vortex lattice in films, nonlocal elasticity, phase diagram of vortex arrangements, vortex dynamics, and geometry effects.PACS numbers: 74.25.Qt, 74.25.Ha, 74.20.De  相似文献   

19.
经对爆裂的波齿垫片进行宏、微观分析和化学成分分析,认为,爆裂的波齿垫片材料为1Cr18Ni9奥氏体不锈钢,裂纹性质为高频疲劳开裂。由于安装时法兰垫片位置倾斜,而使垫片的外环卡在法兰的凸台处,密封内圈波齿部分未能压紧,在经过10多个小时的吹扫时发生高频振动而开裂,并在高压气条件下发生爆裂。  相似文献   

20.
叶图强  刘畅 《爆破》2007,24(3):55-57,61
介绍无倒塌场地的4层砖混结构楼房拆除爆破的设计和施工,内容包括方案选择:采用双向倒塌的定向爆破方案;受力分析:承重墙和非承重墙;预处理:假柱的保留;爆破切口高度的设计,爆破参数的选取,爆破延时的选择,爆破网路的设计和安全防护措施.  相似文献   

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