离子束法淀积类金刚石膜

一、引言自七十年代初。由Aisenberg等人开始至七十年代末Weissmantel等人,用各种不同的离子束淀积方法都生长出了类金刚石碳膜。这种膜的性质透明,绝缘性高,折射系数大,能长期耐酸腐蚀,硬度高能划分玻璃,具有类似于金刚石的性质,故称类金刚石膜。     

类金刚石膜的制备及应用

类金刚石膜(DLC)由于其良好的特性被广泛应用于各个领域,文章介绍了类金刚石膜的制备方法及特点,并说明了利用类金刚石膜耐磨损高硬度等特点,将类金刚石薄膜经过特殊的方法形成类金刚石纤维的过程,探讨了其在纤维砂轮中,代替Al2O3纤维作为磨料的应用.     

金刚石膜

１引言金刚石是已知材料中最硬,在室温下导热率最高,透光范围最宽,声速最大的材料,还具有低的摩擦系数,高的光透射率（特别是在红外和微波频段）和高的光学折射率,带隙宽、载流子迁移率高,极佳的化学稳定性和耐候性。如此优异的性能,特别是这些优异性能的综合,使...     

类金刚石膜的结构与性能研究

用激光Ｒａｍａｎ谱和ＸＲＤ谱对用直流－射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析，并研究了工艺参数对膜的沉积速率，内应力和直流电阻率的影响，结果表明，类金刚石膜是由ｓｐ＾２和ｓｐ＾３键组成的非晶态碳膜，当负偏压高于３００Ｖ时，膜中ｓｐ＾３／ｓｐ＾２键的比值随负偏压的升高而降低，类金刚膜的沉积速率与负偏压Ｖｂ的成正比，膜内存在１～４．７ＧＰａ的压应力，随负偏压的升高而降低，膜的电阻率     

液相沉积类金刚石膜的沉积机理研究

根据电化学的相关理论,提出了钛合金表面液相沉积DLC膜的反应机理,给出了可能电极过程,认为膜是通过甲基阳离子的亲电取代反应而不断生长。讨论了氢原子对金刚石结构的稳定作用,并解释了实验条件对膜结构和性能的影响。     

类金刚石膜的实用化现状与今后展望

DLC膜是一种类似金刚石的非晶碳膜,具有优异的摩擦学性能,被应用于有高耐磨性和低摩擦要求的机械零件.已开发出多种DLC膜沉积工艺.近年来,DLC膜可在多种材料上沉积,应用范围正在扩大.在承受高负荷的摩擦学领域,DLC膜现可应用于切削刀具.DLC膜可应用于易被热能损伤的橡胶或高分子基体.从保护地球环境的观点出发,应开发可用于汽车部件的DLC膜以改善燃油经济性.此外,除了摩擦学用途外,还开发出诸如高分子材料阻气层的新应用.本章对DLC膜的新用途和新研究作了评述.     

类金刚石膜的性能、制备及其应用

类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构.由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点.本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势.     

日本汽车推出无氢类金刚石碳膜涂料

日本汽车公司（Nissan）的无氢类金刚石碳膜涂料（DLC）最近获得了由日本贸易经济产业部（METI）颁发的第二届Monozukuri Nippon涂料类产品和科技发展大奖。     

液相沉积类金刚石膜的结构与性能研究

探讨了液相沉积法制备类金刚石的新工艺,并采用XPS,Raman光谱和SEM等对所得膜的结构进行表征,证实所得的是类金刚石膜。液相沉积得到的类金刚石膜与钛合金基材之间具有较强的结合强度,并具有较低的摩擦系数和一定的耐磨损能力。     

荷能粒子在类金刚石膜形成中的应用

类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助ＣＶＤ和ＰＶＤ技术已用来沉积类金刚石膜（ＤＬＣ膜）,但其形成机理仍不清楚。本文通过分析荷能离子的作用,应用热峰效应和离子刻蚀效应来解释ＤＬＣ膜的形成。     

荷能粒子在类金刚石膜形成中的作用

类金刚石膜由于其优异性能和广泛应用已引起越来越多的研究兴趣。尽管各种化学和等离子体辅助ＣＶＤ和ＰＶＤ技术已用来沉积类金刚石膜（ＤＬＣ膜）,但其形成机理仍不清楚。本文通过分析荷能离子的作用,应用热峰效应和离子刻蚀效应来解释ＤＬＣ膜的形成     

日产汽车公司推出无氢类金刚石碳膜涂料产品

日本东京消息，日产汽车公司（Nissan）产品一无氢类金刚石碳膜涂料（hydrogen-free diamond-like carbon（DLC） coating）日前获得了由日本贸易经济产业部（METI）的第二届Monozukuri Nippon涂料类产品和科技发展大奖。     

类金刚石薄膜对Low-E膜系的保护作用分析

采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD),在Low-E玻璃表面沉积类金刚石(DLC)薄膜作为保护层,通过耐洗刷试验和耐酸腐蚀试验研究了DLC薄膜对Low-E膜系的保护作用;同时对镀DLC薄膜的Low-E玻璃进行热处理,研究热处理后Low-E玻璃膜层结构、低辐射性能和光学性能的变化;然后通过摩擦磨损实验对镀DLC膜提高Low-E玻璃耐洗刷的原因进行分析。结果表明:DLC膜能够有效提高Low-E玻璃耐洗刷性和耐酸腐蚀性;并且DLC膜可以通过热处理去除,且热处理后的Low-E低辐射性能和光学性能未受到影响;一定厚度DLC膜能够有效降低Low-E玻璃摩擦系数,是提高Low-E玻璃耐磨性的主要原因。     

单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

本文主要介绍了用微波等离子体化学气相沉积法(以下简称MP CVD法)以甲醇-氢气混合气和丙酮-氢气混合气为源气体,分别以单晶硅的(111)面和人造金刚石的(100)面为衬底材料,制备出了面积为20mm×20mm厚为10μm的多晶金刚石膜和面积为1.0mm×1.0mm厚为5μm的单晶金刚石膜。通过试验发现,源气体配比和衬底温度对薄膜质量起决定性作用。另外,衬底在反应腔中的位置对薄膜的生成也有很大影响。单晶金刚石膜制备过程中衬底金刚石的晶体取向与金刚石薄膜的生长及质量有密切的关系。在金刚石的(100),(110)和(111)面上分别获得了单晶金刚石膜和金刚石多晶粒子。选用扫描电镜、显微激光拉曼、反射电子衍射对多晶金刚石膜及单晶金刚石膜的性能进行了测试。     

金刚石膜应用于纳米计算器

威斯康星大学麦迪逊分校的工程师正在开发纳米机械计算器。与传统的电子组件不同，这种计算器是用微型活动机件制造的。新型计算器的开关、逻辑门和内存都是由门、柱子、控制杆和活塞等活动机件组成的，而不是传统的晶体管。     

金刚石膜邀游太空

“在太空，深圳离我最近，因为深圳雷地公司的产品戴在我头上”——让杨利伟发出如此感慨的就是不起眼的金刚石膜，而将这不起眼的金刚石膜做成大产业的我国“首批863产业化基地”之一的深圳雷地，据雷地公司工作人员介绍，雷地公司的金刚石膜产品还将再次跟随“神州6号”飞船遨游太空。国内航天专家专门邀请了雷地公司领导赴北京航天城参加神舟六号航天计划项目论证会，     

金刚石膜的功能应用

金刚石是世界上物理和化学性能最优异的材料之一,它的全方位的优良特性显示它具有广阔的应用前景和很大的潜力市场,它被材料学家誉为21世纪材料。面对今天新材料高速发展的挑战,在金刚石薄膜研究和应用领域,需要不断开发和完善CVD金刚石生长技术,开拓CVD金刚石膜在更高层次的声学、热学、光学、电学应用。     

类金刚石砂轮的开发

新开发类金刚石（DLC）砂轮所用的DLC纤维是涂敷DLC膜的铝板经压延机单向压延而成的,DLC膜断裂成纤维状,而且纤维的方向保持一致,经几层叠合,由结合剂固结并烧结制成DLC纤维砂瓦,用其制作出杯形砂轮。然后,利用这种砂轮进行硅片、石英、SKD-11淬硬钢的磨削。硅片的磨削结果表明,加工表面粗糙度可达Ry=15nm（Ra=2nm）。