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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
高线性微机械差分电容式加速度计测量电路   总被引:9,自引:0,他引:9  
介绍了一种可用于微机械电容式加速度传感器的接口电路,该电路应用于开关型相敏解调电路,具有灵敏度高,线性好的特点,能测量微差发电容的变化。实验结果表明,线性高,测量微差分电容具有良好性能,是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路。应用该 最新开发式的微机械电容式加速度传感器,电路输出信号的非线性小于0.20%。  相似文献   

2.
简要介绍了一种测量范围为-20~200Pa,准确度为0.1%FS,工作温度为-50~85℃的音叉式石英晶体微差压传感器的设计和制作原理。和其它形式的微差压传感器比较,它具有灵敏度高,稳定性好,输出频率信号等特点,广泛用于差压、流量等参数测量。  相似文献   

3.
基于小挠度假设的电容式微型压力传感器模型   总被引:1,自引:0,他引:1  
在小挠度变形假设的基础上对接触型电容式微型压力传感器进行分析。通过对压力传感器敏感元件硅膜片的弹性分析给出了传感器的模型。传感器的接口电路由MOS电流镜和模拟开关构成,该电路具有线性度好和测量增益高的特点,并能有效地消除电路中的寄生电容对测量的影响,大大降低测量噪声。  相似文献   

4.
象测量差压和温度一样的差压传感器如今并不罕见。图1所示为目前使用的差压传感器原理构造纵剖面图。用扩散法分别在硅膜片1的薄膜片部11上形成半导体应变电阻群111,以感应差压△P,而在固定厚膜片部12上形成半导体应变电阻121,以感应温度。这里的应变电阻对高静压P无动于中(不感应)。设置在壳体2上的耐压气密端子3通过导线4连接外部电路。从而,  相似文献   

5.
介绍一种高精密、高稳定、线性度佳、结构简单的新型电容式蓝宝石压力传感器.以圆形c面(0001)取向蓝宝石片作为压力传感器的膜片和基片,并且采用两种方案改善普通电容式蓝宝石压力传感器的非线性特性.第一种方法是在一个基片中央区电极内制作一个圆形无金属电极区(圆形无电极区的直径与中央区电极的直径具有特定比率),提高线性度,改...  相似文献   

6.
电容式压力传感器的感压膜片在均布压力作用下,如图1所示,根据大挠度理论可求出其表达式为  相似文献   

7.
朱才来 《自动化仪表》2000,21(10):28-29
1 功能特点 ID302是SMar公司推出的第一代现场总线的压力变送器。其主要由传感器组件、主板和显示板组成,作用在LD302高低压力侧的压力通过密封的灌充液传送到检测膜片的两边,检测膜片是差动电容的活动电极,而固定电极是传感器的壳体,压力差推动膜片产生位移,引起电容的变化,主板将电容器的电容量的变化转化成数字信号输出与总线上其它设备进行通信,其硬件方框图,如图1所示。它具有精度高(校准量程的0.1%),量程比宽(40:1),稳定性好的特点,可大大减少安装、运行、维护费用。 LD302不仅是一个压…  相似文献   

8.
把电容式差压传感器固定在管道中央,并配接脉冲调宽电路,即构成电容式流速变送器。这种新型流速变送器的输出电压与流速的平方成正比,具有结构简单,制造成本低,转换精度高等优点。  相似文献   

9.
该文介绍了不用放射性密度计,而用微差压传感器间接检测混合液密度的方法,并介绍了这一方法的实现中具体问题的处理办法。解决传感器温度漂移的办法可使传感器温漂降低一个数量级,根据实际情况提出的一个数据处理方法可使曲线的上升沿、下降沿更陡。  相似文献   

10.
差压是一种重要的力学参数,为了提高差压的测量精度,应用新型纳米材料--磁性液体设计了一种微差压传感器,建立了传感器的理论模型并对其输入输出关系进行了理论推导.该传感器采用螺线管式差动变压器的工作原理,其核心部分是可变互感,利用磁性液体兼具磁性和流动性的特点实现微差压的测量.实验表明,该种磁性液体微差压传感器具有工作压力范围大、线性度好、灵敏度高、稳定可靠等优点,可以广泛应用于工业过程控制、机械制造、生物医学工程等许多领域.  相似文献   

11.
精品推介     
《传感器世界》2011,(9):43-45
SRPD全新洁净室专用面板显示型微差压传感器西特公司发布了一款全新洁净室专用面板显示型微差压传感器——SRPD-Clean Room。SRPD作为一款最基本的房间压力显示和输出产品,测量性能优异,外观精巧简洁,  相似文献   

12.
本文分析了圆形和方形硅杯的应力膜片在均匀压力下的弯曲,进而得到了电容式传感器的电容与压力的关系,指出当电极的半径与硅应力膜片的半径之比为0.6时,可以得到最高灵敏度。对非线性的改进,提出了通过改变电极的形状来实现,对器件的结构进行了设计。 文中介绍了硅电容式压力传感器的制作工艺,特别详细地研究了硅、玻璃的封接技术,提出了电流法实现静封过程的监控,整个静封装置仅用几十元,但静封样品的性能完全符合要求。  相似文献   

13.
黄建设  周继明 《控制工程》2003,10(6):495-497
在生产过程中,有些电容式变送器出现输出为零的现象,影响到参数的测量或过程控制。通过生产现场的诊断和实验室测试,查出了产生该故障的部位。运用电容式变送器的工作原理,分析出了产生该故障的原因。该故障是由于传感器测量膜片或隔离膜片的弹性模量发生变化而引起的。介绍了消除这种故障的具体办法,并用此方法解决了多台电容式变送器的故障,取得了较好的经济效益。因而这种故障的消除方法具有一定的实用推广价值。  相似文献   

14.
以低功耗微处理器MSP430为核心,采用新型的模数转换芯片AD7745,设计了一种测量液体差压的电容式差压传感器.给出了电容式差压传感器的设计原理和AD7745与MSP430软硬件设计.实验结果表明:该传感器在量程为+100pF时,测量值稳定在高16位,分辨率为0.0001pF.电容传感器具有较好的线性输出特性和很好的...  相似文献   

15.
在浮选自动化系统中 ,为保证浮选药剂的准确添加 ,药剂流量的测量非常关键。文章介绍了一种利用电容式微差压变送器测量微小流量的装置及其工作原理、药剂测量管路的设计等情况。  相似文献   

16.
方芳 《自动化仪表》1989,10(6):39-39
1.单法兰电容式差压变送器调校单法兰电容式差压变送器的调校方法类似非法兰式的一般的差压变送器。如图1所示,接好电源线和输出线以后,先调调零电位器,使输出信号的起点为4MA,然后使输入与输出呈对应关系,如输入是0~10Pa,则输出为4~20mA.DC。由于测量基座中的膜盒两边的膜片的有效面积相等,在制作过程中,使两边的膜片的重量相等,且进行有效面积配对装配。因此,可以参照图2所示方法在负压室输入测量信号。这是一种省去调校夹具的简便的调校  相似文献   

17.
一、电感式压差传感器简介1.简单原理: 电感式压差传感器又称变磁阻式压差传感器。测压的敏感元件为一平膜片,两端是由两个带磁芯的线圈组成差接变换器。由于电感线圈通电产生磁场,并通过膜片构成闭合的磁回路,磁芯与膜片之间有0.3毫米气隙,在没压力时,膜片处于中间位置,两端电感相等,当膜片受压时,膜片发生变形,凸起一边距离磁芯的气隙减小,凹心一端距离磁芯的气隙增  相似文献   

18.
单片机在微差压传感器温度补偿中的应用   总被引:2,自引:1,他引:1  
研制了一种精确可靠的微差压传感器 ,为提高传感器的温度性能 ,利用单片机对传感器进行温度补偿 ,取得了理想的测量和控制效果  相似文献   

19.
硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100 Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点,提出了双差动结构模型,即机械与电路部分均采用差动结构,对其研究前景做了展望。  相似文献   

20.
压力传感器     
<正> 本发明是应用在半导体单晶体内扩散电阻的半导体应变计来检测压力的压力传感器。 此种压力传感器,是对n型硅之类半导体的单晶体选择扩散p型电阻,外加压力,使半导体单晶体发生应变,利用压阻效应测出p型电阻元件的电阻变化值,便知外加压力的大小。压力传感器的硅膜片结构如图1(a)和(b)所示。它由硅膜片1和硅座3及金属座4构成。硅膜片1上有对n型硅单晶开槽形成的应变部件11和固定部件12,采用扩散p型杂质法使应变部件11上形成应变电阻21、22、23和24,并  相似文献   

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