金属氧化物半导体气敏特性的研究──（Ⅲ）实用化研究（续二，续完）

本文从实验和理论上对用粉末溅射研制的ＳｎＯ２／ＣｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、温度、掺杂量等进行了研究，并根据研究的结果和有关理论对平面薄膜型酒敏传感器的工艺和结构进行了设计；介绍了所研制的器件的一些性能．     

掺杂对SnO_2薄膜性能影响研究

ＳｎＯ２薄膜具有良好的光学特性,优良的气敏特性越来越受到人们的普遍重视。本文就各种掺杂对ＳｎＯ２薄膜性能的影响进行了综合评述,并探讨了掺杂作用机理。     

Nd2O3—SnO2薄膜气敏元件的研制

研究了Ｎｄ２Ｏ３－ＳｎＯ２复合薄膜气敏元件的制作工艺和敏感性能，测量结果表明，这种元件对乙炔气体敏感，且具有选择性好，灵敏度高等优点。     

ITO气敏薄膜的研制及应用

本文阐述了ＩＴＯ气敏薄膜的制作过程、工作原理与气敏特性的测试方法和它的应用前景，对掺入Ｐｔ前后的ＩＴＯ气敏薄膜的灵敏度进行了对比研究     

ITO气敏薄膜的研制及应用

本文阐述了ＩＴＯ气敏薄膜的制作过程、工作原理与气敏特性的测试方法和它的应用前景，对掺入Ｐｔ前后的ＩＴＯ气敏薄膜的灵敏度进行了对比研究。     

溶胶—凝胶法制备TiO2氧敏元件研究

用溶胶－凝胶法和液相共沉淀法分别制备了ＴｉＯ２厚膜氧敏元件，对所得元件的性能进行了分析。通过对比实验发现，溶胶－凝胶法是一种很有潜力的制备ＴｉＯ２氧敏元件的新方法。     

粉末溅射SnO2／CeO2薄膜酒敏元件

介绍粉末溅射SnO2/CeO2酒敏薄膜特性的研究和气敏元件及气敏层参数的设计。介绍元件热功耗的规律,反应温度的规律,测试电压对灵敏度的影响的规律。讨论了用相对灵敏度消除湿度影响的设想,以及对低功耗元件,简单气敏元件集成电路研制等问题。     

溶胶—凝胶法制备WO3—TiO2电致变色薄膜的研究

通过溶胶－凝胶方法制备出掺杂ＴｉＯ２的ＷＯ３电致变色薄膜,并利用电化学循环伏安装置,分光光度计、Ｘ－Ｒａ６衍射进行了相关的性能测试,指出了掺杂一定量的ＴｉＯ２可有效地稳定氧化钨溶胶,提高薄膜的循环使用寿命,同时也使薄膜的变色性能降低。     

复合氧敏材料的瞬态特性研究

将氧化物氧敏材料ＴｉＯ２与Ｎｂ２Ｏ５复合化，研究其氧敏瞬态特性及与环境温度、气流转换频率的关系，并指出采样方法对瞬态特性的。在无贵金属催化条件下，烧结型复合氧敏材料的响应时间可达６０ｍｓ，对材料的结构及响应机理进行了分析和初步探讨。     

煤质活性炭对SO_2的吸附性能研究（Ⅰ）

研究了煤质活性炭对ＳＯ２的吸附性能，并对以磺活化后的活性炭的吸附和再生性能进行了研究。结果表明，普通煤质活性炭经磺活化后，对ＳＯ２的吸附容量可达到２０．４ｇＳＯ２／１００ｇＣ（Ｃ：活性炭）以上，采用水再生活性炭的方法可用于处理烟道气和含ＳＯ２烟气；并得到２０％左右的稀硫酸。     

测试电压和湿度对气敏特性的影响

对影响金属氧化物薄膜气敏元件测量可靠性的因素－测试电压ＶＴ和湿度［Ｈ２Ｏ］进行了实验研究：给出了灵敏度Ｓｎ随测试电压ＶＴ变化的曲线,得出了存在一个Ｓｎ稳定的测试决压区间;给出了Ｓｎ随［Ｈ２Ｏ］变化曲线的形式,得出了Ｓｎ随［Ｈ２Ｏ］变化的相对起伏是大的结果;研究了相对灵敏度Ｓｎ′≡Ｓｎ（Ｃ０）／Ｓｎ（Ｃｓ）,得出了Ｓｎ′基本不随湿度变化的结果。     

测试电压和湿度对气敏特性的影响

对影响金属氧化物薄膜气敏元件测量可靠性的因素——测试电压ＶＴ和湿度［Ｈ２Ｏ］进行了实验研究：给出了灵敏度Ｓｎ随测试电压ＶＴ变化的曲线,得出了存在一个Ｓｎ稳定的测试电压区间;给出了Ｓｎ随［Ｈ２Ｏ］变化曲线的形式,得出了Ｓｎ随［Ｈ２Ｏ］变化的相对起伏是大的结果;研究了相对灵敏度Ｓｎ′≡Ｓｎ（Ｃ０）／Ｓｎ（Ｃｓ）,得出了Ｓｎ′基本不随湿度变化的结果．     

溶胶——凝胶法制备SiO2薄膜

本研究采用ＴＥＯＳ－ＥｔＯＨ－Ｈ２Ｏ－ＨＣｌ体系原料，应用低温合成技术，成功地在玻璃在底上制备了完整透明的ＳｉＯ２薄膜。对合成材料进行了差热－失重分析，Ｘ射线衍射分析，红外透射光谱分析及理化检验。结果表明，无序ＳｉＯ４四面体网络已经形成，薄膜的固体物理状态可控制的晶态，非晶态，并赋予基底优良的理化性能。     

厚膜α—Fe2O3气敏元件的研制

介绍用化学共沉淀法制备的α－Ｆｅ２Ｏ３粉体为原料，采用厚膜技术制作全膜化α－Ｆｅ２Ｏ３气敏元件性能及工艺，试验并分析了玻璃添加剂对元件气敏性的影响，讨论了一种可能的气敏机理。     

硫酸氧钛－水－乙二醇系溶胶浸涂制备TiO_2薄膜

用ＴｉＯＳＯ４·ｎＨ２Ｏ为原料，制成ＴｉＯＳＯ４－Ｈ２Ｏ－乙二醇系溶胶，然后浸涂制备ＴｉＯ２薄膜．研究了此ＴｉＯ２薄膜的形成过程、晶相组成和微观结构．６００℃热处理得到的ＴｉＯ２薄膜为锐钛矿相，底层小颗粒与玻璃基板具有良好的附着．     

防菌防藻类玻璃材料的研制

报道了具有防菌、防藻类功能玻璃的研制结果，研究了以Ｒ２Ｏ－ＲＯ－Ｐ２Ｏ５为基础的玻璃的化学组成、原料配比和有关添加剂对材料性能的影响及有关工艺条件的控制．     

新型CO2气敏元件的研究

利用纳米技术和半导化技术,制备了ＣｕＯ－ＢａＴｉＯ３复合氧化物电子陶瓷电容型ＣＯ２气敏元件,该元件可用于环境中ＣＯ２气体的监测。该元件在１２７－４７７℃范围,对ＣＯ２气体呈现较好的敏感特性;可测气体浓度范围０－９５％,在低浓度范围内,电容与浓度呈线性关系;能经受高浓度ＣＯ２气流的冲击,有较快的响应恢复速度;重现性和选择性较好,是一种很有发展前途的ＣＯ２气敏元件。     

表面活性剂对伏安酶联免疫分析体系测定HRP的增敏作用

考察了表面活性剂对邻氨基酚－Ｈ２Ｏ２－辣根过氧化物酶（ＨＲＰ）、盐酸间氨基酚－Ｈ２Ｏ２－辣根过氧化酶和对氨基酚－Ｈ２Ｏ２－辣根过氧化物酶伏安酶联免疫分析体系测定ＨＲＰ的增敏作用。结果表明：表面活性剂在一定浓度范围内对反应具有增敏作用,并对还原电位有一定影响。据此,可利用加入适当的表面活性剂提高分析方法的灵敏度。同时,对表面活性剂的增敏机理进行了探讨。     

金属氧化物半导体气敏特性研究（Ⅰ）实验研究（待续）

研究了气敏电导次方定律的指数和灵敏度随薄膜样品膜厚的变化、随温度的变化；气敏电导响应时间和恢复时间随膜厚的变化、随温度的变化；气敏电导振荡现象和规律．     

金属氧化物半导体气敏特性研究（Ⅰ）实验研究（待续）

研究了气敏电导次方定律的指数和灵敏度随薄膜样品膜厚的变化，随温度的变化，气敏电导响应时间和恢复时间随膜厚的变化，随温度的变化；气敏电导振荡现象和规律。