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提出了7个ISO5级洁净室的空调系统进行分析和提高洁净室能源利用率的途径,说明高效能洁净室设计的优点。 相似文献
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随着IC生产工艺技术的不断发展,对于洁净室生产环境及其它配套系统要求也相应更为严格,本文就8”、12”IC生产的洁净室设计中有关洁净室形式和送风方式、空气处理及温湿度保证措施,悬浮分子污染物(AMC)的控制,以及洁净室排烟等方面的设计方案,进行了多方案的综合分析和评价。 相似文献
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以中国计量科学研究院的屏蔽洁净室工程项目为例,针对屏蔽洁净室在设计和施工过程中,应当注意的洁净和屏蔽主要结合点结合施工图纸进行了详细的描述,希冀能对其他类似工程的设计和施工具有一定的指导和应用价值。 相似文献
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从洁净室的土建设计、空调净化系统的设计施工及加强洁净室运行维护、技术管理等方面,介绍某生物洁净室投产后取得较好效果。 相似文献
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本文以工程中广泛使用的紊流模型为基础,采用有限差分法,对半圆柱形送风口、相对两侧墙下部回风式洁净进行三维紊流流场和污染物扩散场的数值模拟,分析气流的流动特性和污染物的分布规律,得到了此类洁净室优化设计的技术参数表,为此种新型洁净室的设计及推广提供了依据。 相似文献