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一、概述 随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要和加速器等科学技术发展的需要,高真空阀门已不能满意,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空气动阀被重视和应用。我所已经研制成功我国第一台小口径超高真空全金属铟密封的气动阀门。并已经应用在高能加速器上,使用效果良好,满足技术要求。 这种阀是由阀体、密封阀盖、传动部分和摆动气缸四部组成。阀的材料用 1Cr 18Ni9Ti制成,可防腐蚀,阀口密封材料采用金属铟作为密封垫圈,可在… 相似文献
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近年来由于无油超高高效的抽气系统的广泛采用,促进了配套的主超高阀门的研究工作。大型的全金属超高铟阀就是在这种背景下产生出来的。苏联在63年以后提出了一个超高铟间系列。西欧的真空阀门专业厂生产了阀口通径为200mm以下的各种超高钢阀。我们国内相适应地也研制成功了口径300、 200、 150 mm等规格的全金属的超高铟阀。广泛的使用和长时间的生产实践证明,当前的超高铟阀还是技术不过关的。 一、超高铟阀存在的问题 当前超高铟阀技术不过关的集中表现,为性能不可靠、使用不方便、工艺复杂这三个方面。造成这些问题的出现,其一就是因为… 相似文献
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本文通过典型的真空应用设备的发展情况分析，描述了大通径全金属超高真空阀的使用条件和需求，以及现今的科研情况。同时对大通径的全金属超高真空阀门的开发工作作了初步总结。 相似文献
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一、引言可烘烤金属密封的超高真空阀门在我国还是一个薄弱环节。至今定型的商品化的只有无氧铜阀头的,口径为25毫米和50毫米的两种角阀,尚未形成较完整的系列。近几年来,国内有几个单位正在研制口径150、200和300毫米的超高真空闸阀。作为软密封面材料的有氟橡胶、铟和在钛合金板上镀银等。有的已经研制成功并见之于报道。本文介绍的阀门是托卡马克类型的受控核聚变装置HLQ-1上的部件。开始我们为了提高烘烤时的抗氧化性能,采用黄金电镀层作为软密封面,但结果不理想。我们没有在镀金方面深入下去,而是改用了镶嵌金丝圈的方法,取得了较满意的结果。 相似文献
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３．真空阀门的设计（上接１９９９年第５期第４８页）真空阀门是真空系统的重要元件。对于构成管路一部分的阀门,其流导大小是一个重要的性能参数。对于主要用来起开关气路作用的阀门,阀板关闭的密封性能也是重要的性能参数之一。密封性能是用其漏气率来衡量的。对于主要用来调节气流大小的阀门,能够调节气流量的精度及范围,则是一项重要的性能参数。对于全金属超高真空阀门,每次关闭是否性能稳定？使用寿命是否长？是其主要的性能指标。（１）对真空阀门的一般要求①阀门的密封性能要好,阀板密封处的漏气率要小;②阀板开启后应尽可… 相似文献
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一、引言 通径φ40毫米全金属密封闸阀是为强流短脉冲电子直线加速器的栅控电子枪与大气隔离而设计、研制的。电子枪的束流传输要求该问阀的厚度尽量薄,能直接通过电子束流。由于电子枪的烘烤排气和阴极分解激活的工艺要求,以及加速器真空系统需获得超高真空,要求该闸阀内部结构简单,能耐可靠,关闭时闸板的主密封对大气的泄漏率不大于10-9-10-10托·升/秒。配上这样闸阀的电子枪在制造的工艺过程中能获得很高的超高真空,并在靠闸阀与大气隔离而移出排气台后一段较长的时间内,枪内仍能维持相当高的高真空,已激活的复合阴极不致中毒,阴极发射… 相似文献
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一、前言 北京大学同上海先锋电机厂合作,共同设计、试制了一台4.5MeV单级静电加速器。目前,这台加速器正在进行安装前的各个部件的调试工作。在该加速器长达80米的束流管道上和所有真空机组上。共设计了36个四种尺寸的超高真空闸板阀,即口径分别为75、100、150(图1)、250毫米。阀门结构简单,特别容易加工,使用可靠。近三年来的使用表明,它的各项指标全部达到了设计要求,取得了满意的结果。上海先锋电机厂已把这些阀门系列化,即“CG系列超高真空闸阀”,作为产品进行生产,已经销售到许多单位。本文将简要介绍该阀门的结构及其特点。 二、阀… 相似文献
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前言 随着加速器等科学技术的发展,对清洁超高真空系统提出了新的要求,全金属密封闸阀已被重视和较多应用。这种阀门与弹性体(橡胶)密封的阀门相比,大大降低了有机物的污染,具有通导大,压强增长率低,有利于获得更高的真空度,还具有耐高温和抗高能粒子辐射效应等优点。本文浅述了有关技术要点。并提一个复合金属密封闸阀的研制中情况。 一、金属密封闸阀的 必要条件 金属密封闸阀由于金属密封材料的塑性变形和在密封时的硬性接触,以及内部机构的其它原因,需要有足够的力来达到密封。为了实现密封性能可靠和长寿命,通常要有精确重合能力的密封… 相似文献
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本文介绍了直径为150毫米的全金属超高真空插板阀门的研制情况和它在大型天文电子照相机中的应用实验。描述了装置的结构、性能以及排气试验结果。阀门与电子照相机管体的联合排气试验结果指出,阀门的性能能够满足制备和防护大型天文电子照相机光电阴极以及一般超高真空排气系统的选通要求。 相似文献
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CCQ-400型超高真空闸板阀的研制是根据兰州近代物理研究所建造的重粒子加速器的要求,作为3500升/秒的分子泵配套的主阀门被提出来的,要求阀门具有高度的可靠性,不允许阀门在中途出现任何一点故障。 我们针对着阀门的结构、性能、可靠性展开了研究试制工作。 一、超高真空阀门的 相似文献
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一、引言 性能良好的真空阀门是真空系统不可缺少的部件。目前国内已有各类阀门可供选择。从真空角度来说,真空间门的主要要求是:通导大、密封可靠、通导调节性能好等。插板阀在这方面的优点是很突出的,特别是在大型阀门中多是这种结构,但目前国内口径大于400毫米的插板阀尚无产品。 近几年来,我国空间环模,大型镀膜和大型炼钢等大型真空设备的研制,急迫地需要大型的高真空阀门。为此,在七八年我们共同研制成功了二台800毫米通径的高真空插板阀。现对该阀的性能、设计、制造和试验情况作一简单介绍。 二、工作原理和主要 技术指标 阀门的外… 相似文献
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一、实验装置和方法采用全金属的半无油真空系统(见图1)。前级用2XQ-1型机械泵,超高真空使用的是3TL-300型溅射离子钛泵。自行设计了不锈钢的六通样品分析室。分析室、前置真空、钛泵以及进样系统之间,均用CDS型超高真空阀门隔离。四极分析器以垂直方向密固在分析室的法兰上。 相似文献
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全金属超高真空快速关闭阀关闭时间的精密测量 总被引：2，自引：1，他引：1
一、引言全金属超高真空快速关闭阀(以下简称快阀)是同步辐射装置的重要真空保护器件。它置于光束线上游,一旦光束线的下游发生真空事故,产生大气泄漏,气体压力传 相似文献
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离子束装置两个独立的抽气部分需用一个紧凑的直通真空阀联系起来。为了检修或调整,当阀门关闭时两部分可单独检漏,或者其中一部分通大气。当阀开时,它便作为3mm直径的束流通孔。我们希望将阀做得紧凑些,为的是使束流至最小。 系统通常采用氟橡胶“○”圈与不锈钢装配而制成的阀门,这种小阀同样也使用这些材料。阀门的动作可从图1清楚地看出来,图中的横断面表示圆形阀体以及圆柱形工作部分。 有两个可拆的密封。在真空系统两部分之间的密封是依靠两斜面间压紧的小“○”圈(1)。“○”圈(2)在圆柱形密封块(3)与大气间作滑动密封。这个“O”… 相似文献
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光束线良好的运行状态是用户正常实验和存储环安全运行的重要保障。为提高光束线的关键设备超高真空阀故障的诊断能力与运维水平,在合肥光源现有光束线控制系统的基础上,开展了超高真空阀门的状态监测研究。本文给出了超高真空阀的多参数状态监测实现方法,获取了超高真空阀门开关动作的数据波形,同时在实验物理和工业控制系统(EPICS)平台下建立了阀门的状态数据库,实现了数据的远程共享。 相似文献
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国强 《真空科学与技术学报》1983,(1)
本文叙述在钛溅射离子泵超高真空系统上利用小型180°磁质谱计(Zh-3型)所做的剩余气体分析的实验。系统采用全金属密封、带冷阱的机械泵预抽,通过有机溶剂的清洗和氮气辉光放电以及中温烘烤等处理获得超高真空。对系统的各压强下的气体成分以及B-A规的影响作了分析。根据实验结果,讨论了剩余气体成分对获得超高真空等影响。 相似文献
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一、前言 在任何真空系统中,常需要有像阀门、可拆卸密封、电引线和机械连通装置等零部件来连接。这些零部件称作真空管路元件,或简称元件。 对超高真空应用,这些元件必须满足刚性材料的要求[1],即放气的气源要最少,特别是当它们构成真空室壁一部份时,至少应能烘烤到250℃,有最 相似文献
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2常用的几种压紧方式 (上接 1 999年第 6期第 4 8页 )a.螺旋压紧在真空阀门中应用最广 ,它的结构简单 ,制造容易 ,压紧时增力倍数较大 ,适于手动、电动两种阀门 ;其缺点是开关阀门时间较长、传动效率较低。1—阀座 2—阀板 3—螺杆 4—螺母5—导向键 6—制动圈图 2 1 螺旋压紧的阀门实例现以图 2 1超高真空阀门的具体结构来说明螺旋压紧。图中 1是带刀口的阀座 ,2是可更换的阀板 ,它由带导向槽的螺杆 3带动。螺母 4拧在螺杆 3上 ,其轴向由止推轴承限定 ,只能转动。当螺母转动时 ,螺杆 3因导向键 5的限制 ,只能作上下移动 ,从而带动阀板上下… 相似文献