共查询到20条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
再议质谱检漏技术中的喷吹法和吸入法 总被引:6,自引:2,他引:4
本文讨论了影响氦质谱检漏技术中喷吹法和吸入法灵敏度的因素以及敏度校准方面的问题,给出了校准喷吹法和吸入法灵敏度的方法,并指出校准吸入法的灵敏度可用配气法,可以不用正压标准漏孔。 相似文献
2.
3.
随着吸枪式质谱计检漏法的广泛应用,在有些应用领域中,对正压检漏法的定量性提出了更高的要求。解决正压检漏定量性问题的关键之一,就是要精确地校准正压漏孔。校准正压漏孔的主要方法有:恒压变容法、定容变压法、变容变压法、动态比较法和理论推算法。这些方法既有各自的优点,也存在各自的不足。在实验研究的基础上,对以上各种方法的适用性、局限性、误差分析和尚需解决的问题作一探讨和评价。 相似文献
4.
5.
6.
7.
本文对氦质谱检漏仪的反应时间的两种测量方法进行了讨论,指出其中一种方法是错误的。 反应时间和清除时间是氦质谱检漏仪的重要参数之一,通常规定反应时间和清除时间不大于3秒。对仪器经常进行灵敏度校准和反应时间与清除时间的测量是检查仪器是否正常工作的手段之一。就是在检漏工作进行过程中,对于检漏技术人员来说也应该知道在连接了被检容器和辅助真空系统之后,整个检漏系统(包括检漏仪、被检件、辅助真空系统)的检漏灵敏度多大?反应时间与清除时间多长?这些决定了能够检示出多大漏孔和应该以怎样的速度进行检漏的问题。 下面只谈一下… 相似文献
8.
9.
小型制冷产品的检漏和检漏技术的研究与探讨 总被引:2,自引:0,他引:2
朱佃功 《制冷与空调(北京)》2003,3(2):32-38
简述小型制冷产品检漏的必要性和漏量的校准,着重论述传统检漏方法的再改进,吸入式检漏方法的新进展,真空箱检漏方法的优缺点,以及检漏技术的研究与探讨。 相似文献
10.
11.
本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10-16 Pa·m3/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于检漏仪的自身性能和计量校准,对于后者,国际上先后采用标准漏孔、可变漏率的白金丝漏孔及标准气体流量计作为参考标准来提高检漏结果的正确性。采用标准漏孔的方法是使用当前下限仅为10-11 Pa·m3/s的漏孔作为参考标准,由于漏孔自身的偏差及检漏采用质谱计跨越几个数量级的线性递推方法,在小于10-14 Pa·m3/s范围的检漏结果偏差可达一个数量级;采用可变漏率的白金丝漏孔作为参考标准,可提供(10-10~10-12)Pa·m3/s范围内漏率,与标准漏孔相比对检漏结果的正确性有一定提升;采用近期新研制的宽量程标准气体流量计作为参考标准,可提供下限为10-16 相似文献
12.
13.
超灵敏检漏的实时校准 总被引:1,自引:2,他引:1
超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa.m3/s~10-10Pa.m3/s宽范围漏率内实现了对检漏仪器的实时校准。 相似文献
14.
喻新发周雪茜冯琪窦仁超潘颖闫荣鑫 《真空科学与技术学报》2019,(11):958-963
航天器推进系统、热控系统、环控系统及流体回路系统有严格的泄漏指标要求,基于质谱分析的检漏方法存在本底信号干扰及重复性较差等难点,建立了工质原位检漏方法的理论模型,分析了质谱室直接进样与分流进样的特点,确定了分流进样的技术方案;通过试验,获得了大气环境取样条件下质谱室工作压力与本底信号的关系;同时,通过氦气、氪气、氙气等标准漏孔重复性试验获得了工质气体校准系数与本底信号的关系,并验证了系统检漏灵敏度满足航天器检漏要求。 相似文献
15.
《真空科学与技术学报》2019,(11)
航天器推进系统、热控系统、环控系统及流体回路系统有严格的泄漏指标要求,基于质谱分析的检漏方法存在本底信号干扰及重复性较差等难点,建立了工质原位检漏方法的理论模型,分析了质谱室直接进样与分流进样的特点,确定了分流进样的技术方案;通过试验,获得了大气环境取样条件下质谱室工作压力与本底信号的关系;同时,通过氦气、氪气、氙气等标准漏孔重复性试验获得了工质气体校准系数与本底信号的关系,并验证了系统检漏灵敏度满足航天器检漏要求。 相似文献
16.
电子工业部第十二研究所开发的“氦质谱正压检漏系统”,1990年进行了成果鉴定,1993年取得国家专利.被电子部和国防科工委批准为“九四”国防口重点推广项目,1994年经国家科委批准,列为“九五国家级重点推广项目”.轻工总会和电子工业部联合主持召开了推广应用研讨会.该系统的工作程序包括“抽真空—充氦—检漏—氦气回收”四个工艺过程.由于氦检漏的灵敏度大大高于常规使用的卤素检漏,同时也避免了后者高本底的缺陷,从而大大提高了产品的质量和成品率.上菱 相似文献
17.
18.
非真空收集器质谱检漏的研究 总被引:1,自引:1,他引:0
叙述了一种经济实用的被检件在非真空收集器中的质谱检漏方法,通过试验验证了该方法的正确性,并从理论上分析了漏率的定标,检漏灵敏度以及检测误差。 相似文献
19.