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谐振式微机械加速度计设计的关键技术 总被引:1,自引:0,他引:1
谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点.分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型,指出了实现高灵敏度加速度测量的关键技术在于支撑梁、质量块、谐振器和杠杆机构的设计.提出了一种谐振式微机械加速度计结构,进行了结构的优化设计和仿真计算,得出的性能指标:谐振频率98 858 Hz,Q值673.9,灵敏度24.52 Hz/gn. 相似文献
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硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的结构形式,进行了结构的优化设计和仿真计算.用MATLAB软件分析了结构参数对性能指标的影响,用ISIGHT优化软件优化出结构参数,用ANSYS仿真软件对结构进行了静态分析和模态分析,验证了所提出结构的设计思想和优化参数的可行性. 相似文献
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为了提高MEMS微加速度计的量程和抗过载能力,设计了基于UV-LIGA技术的非硅MEMS电容式微加速度计。针对该加速度计,设计了基于相敏解调的差分电容测控电路。检测通道主要由前置级电荷积分放大电路、带通滤波电路、相敏解调器、低通滤波以及电平转换电路组成,反馈通道由低通滤波和加法电路组成。完成了微加速度计测控电路的调试和检测通道的标定实验,实验表明:检测通道的量程约为±6 pF,灵敏度为89.3 mV/pF,线性度为2.59%,满足加速度计检测通道的要求。 相似文献
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电容式微机械加速度计测量范围上限设计 总被引:1,自引:0,他引:1
测量范围上限设计一直是高gn值微惯性引信研制的一个难题,对差动电容式微加速度计各参数对量程的本质影响及其相互关系进行了研究,理论分析和计算机仿真结果表明:按同一比例尽量减小封装间隙和电极面积,使得受限于临界偏压的外加偏压取值刚好能提供需要的量程,同时使用质量块减薄和打孔并用的方法来提高最大量程,所设计出的加速度计可具有70gn以上量程。 相似文献
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微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用.本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型,并着重讨论了各个部分之间的关系;然后根据敏感元件的特性,对伺服回路的几个关键参数,即预载电压、PID校正参数和反馈增益,进行了分析;本文最后给出了一种加速度计整体性能的测试结果,结果表明:微机械加速度计的量程为±15gn,非线性度为0.041 9%,阈值为0.15 mgn,2 h稳定性误差为0.084 5 mgn,逐次启动重复性误差为0.156 mgn. 相似文献
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硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—硅—玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性。采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮。在大气环境下测试了静电加速度计的性能。测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220 g n;y轴的带宽为118.2 Hz,量程为0.313 g n;z轴的带宽为10.7 Hz,量程为3.53 g n。 相似文献
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叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场,提出了一种近似分析方法。作为实例,分析了一种新型微加速度计的机 电耦合场对灵敏度的影响,所得结果与理论值比较一致,且计算精度接近于有限元分析方法,进一步计算表明:将该近似方法与有限元方法结合,不仅可以提高求解速度,还可以达到较高的精度。 相似文献
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基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计 总被引:2,自引:0,他引:2
给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性,仔细地建立了它的力学模型。在此基础上,详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系,并结合实测参数验证了模型的有效性。最后提出了一种详细的有效的基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的结构以及加工工艺流程。基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器具有结构简单、工作可靠和工作范围大的特点。根据这套方法,可以比较方便地设计并加工不同测量要求的加速度计。 相似文献
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HUANG JingQing ZHAO Meng ZHANG TingTing CHEN ZhongJian HONG LiChen WU Feng ZHANG YaCong LU WenGao GAO ChengChen HAO YiLong 《中国科学:信息科学(英文版)》2014,(6):195-206
This paper presents mathematical formulae showing that the distance mismatch for an uncentered proof mass in an accelerator sensor does not influence the linearity of the closed-loop accelerometer as a whole.This asymmetry in sensors only introduces an output voltage offset in the readout integrated circuit.Numerical simulation using Matlab/Simulink confirms the mathematical conclusion.The linear response after compensation with a conventional capacitor array is also simulated and analyzed.Results show that there is a loss in linearity.Similar results hold not only for the continuous-time architecture,but also for a time-divided architecture.A readout integrated circuit with a time-divided architecture is designed and fabricated using a 0.35μm HV CMOS process.An accelerometer composed of a microelectromechanical system sensor with severe built-in distance mismatch and the designed readout integrated circuit is tested.Test results show that the nonlinearity of such accelerometer is within 0.3%. 相似文献
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