古河公司合成液态GaAs原材料

日本古河公司已生产出高纯叔丁基肿。它是生产GaAs所用的砷烷的安全替代品。砷烷极毒,在生产使用时需要采取多方面的安全防护措施。叔丁基肿在室温下呈液态(沸点50℃),所以比砷烷易控制。另外,它在空气中的     

专利文摘

正一种砷烷在线检测装置和检测方法申请(专利)号:201910623198.1公开(公告)日:2021-01-12申请(专权)人:东泰高科装备科技有限公司摘要:本发明提供了一种砷烷在线检测装置和检测方法。该在线检测装置包括:砷烷浓度检测器;水分检测器,与砷烷浓度检测器相连;气质联用仪,与水分检测器相连,气质联用仪配置第一色谱柱、第二色谱柱、脉冲放电氦离子化检测器和质量选择检测器,第一色谱柱用于分离砷烷中的氧气、一氧化碳和二氧化碳,第二色谱柱用于分离砷烷中的硅烷、锗烷、磷烷、羰基硫和硫化氢,脉冲放电氦离子化检测器用于检测砷烷中的氧气、一氧化碳和二氧化碳,质量选择检测器用于检测砷烷中的硅烷、锗烷、磷烷、羰基硫和硫化氢。上述在线检测装置可以实时对砷烷中各组分的准确检测。     

我国超纯砷烷产业化生产技术研究

砷烷是电子气体中用途十分广泛,技术难度非常大的烷类气体,它是一个国家电子气先进与否的重要标志。超纯砷烷的产业化技术,涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多专业,为发展我国IC产业,尽快开展超纯砷烷产业化技术研究意义重大。     

联碳工业气体公司开始生产砷烷和磷烷

联碳工业气体公司林德分部于1990年10月在其新设的1600万美元的电子气体中心(位于亚利桑那州金曼以南)开始生产砷烷,预定11月份开始生产磷烷。砷烷和磷烷是化合物半导体和硅半导体制造所需的两种关键性气体。该特种工艺气体生产设施完工时,还将配制和包装全部超高纯气体。其中,某些产品将销往美国以外。新设施所用     

砷烷／磷烷监测报警仪的研制

基于火焰光度法原理工作的砷烷/磷烷监测报警仪可对半导体及电子工业生产中使用的砷烷/磷烷进行TLV级的监测报警,对砷烷的最小检测浓度为0.004×10~(-6),对磷烷的最小检测浓度为0.003×10~(-6),响应时间不大于30s。该仪器不仅检测灵敏度高,响应速度快,抗干扰能力强,而且性能稳定,可连续自动监测,操作简便,能满足现场监测要求。     

磷烷中砷烷的选择性分解催化性能研究

研发制备NATA-PH-1型催化剂,能够高效的将磷烷中约100×10~(-6)砷烷去除到仪器检测限30×10~(-9)以下,完全能够达到半导体制程关于高纯磷烷中砷烷低于100×10~(-9)的标准。与传统沸石分子筛吸附机理不同,NATA-PH-1型催化剂能够在室温条件下诱导砷烷分解。其中砷键合在催化剂表面,氢气不属于半导体制程杂质。此催化剂在动态纯化试验中,砷烷分解容量达到4.5 L/L(线速率15 cm/s),且二次再生后仍保持高活性,与其较大的静态分解饱和量有关。目前,该催化剂已通过中试认证,已取得600 kg高纯磷烷(5 kg催化剂)。     

掺杂对单层二硫化钼吸附砷烷分子特性的影响

采用基于密度泛函理论的第一性原理方法,研究了掺杂的单层二硫化钼(MoS_2)对砷烷分子(AsH_3)吸附特性。讨论了砷烷分子在本征二硫化钼上不同位置对吸附特性的影响。针对本征二硫化钼对砷烷吸附较弱,对单层二硫化钼进行掺杂,通过硅原子(Si)取代晶胞中的硫原子(S)来实现吸附增强。计算结果显示,相比于本征二硫化钼层,掺杂Si的二硫化钼对砷烷分子具有更优良的吸附特性;具有更小的吸附高度,更小的吸附能,更显著的电荷转移,以及与砷烷分子间更强的相互作用。这些研究结果为单层二硫化钼在对环境气体的吸附应用提供了理论基础。     

国外部分

91275 电子气体市场保持增长趋势 Chemical Week,1991,148(22),26～27 1990年半导体制造用气体和淀积材料市场估计为8.6亿美元。在使用点保持气体纯度是一大难题。一些气体公司与半导体厂签订综合供气合同,由气体公司负责气体系统的设计、安装、管理和维护,对剧毒气体,如砷烷和磷烷的控制更加严格。91276 低温装置最优化的新工艺Одесинтнизкотемпературтехн     

测定挥发性氢化物的新方法

挥发性氢化物是指硼烷、砷烷、磷烷、锑烷、硅烷和硒化氢等。     

氢化物及有毒气体检测仪

TG—400型检测仪是一台直接读数的便携式仪器,用来检测磷烷、砷烷、硼烷和硒化氢。如果没有氢或有机溶剂的影响,可测得大大低于它们的最大允许值(TLV)。仪器重量不足0.45kg,使用可充电的电池作电源。毒气测量仪是使用一种气体薄膜电流传感器,据说,它对氢化物响应迅速,且专     

文摘三则

气体泄漏检测器的开发日化协月报,38(9),21～27(1985) 1980年,日本氧气公司研制了检测半导体工业用的硅烷、砷烷、硼烷等有毒气体的新仪器。该检测器是根据用冷原子吸收光法来分析包括上述气体和从氧化汞反应中分离的汞蒸汽。介绍了该仪器的经纬、规格与性能。     

砷烷的合成与纯化

砷烷是重要的电子特气之一,是半导体工业中不可缺少的基础材料.由于其本身的剧毒性、合成纯度要求高,净化难度大等因素,在国内的安全大背景下,很少有企业愿意冒风险开展此类工作.在此,列举了关于砷烷制备、提纯等一系列工艺的进展.     

砷烷的纯化技术研究进展

砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、Ga As、Ga As P生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。     

砷烷的气相色谱分析

砷烷是半导体生产和科学研究中的重要原材科,不但可应用于半导体外延膜N型掺杂和扩散工艺,还可以应用于离子注入工艺。同时,它对于砷化镓薄膜的制备,也是很重要的材料。砷烷是一种剧毒的易燃无色气体,具有令人厌恶的类似大蒜的气味,是溶血性毒物。由于它有剧毒,且易燃,虽然在实际工     

AGC氦放电离子化检测器(DID)气相色谱仪在特种气体分析中的应用

随着气体行业的发展,尤其是特气行业的发展对气体分析仪器的要求更高,在这样的条件下,AGC公司氦放电离子化检测器(DID)气相色谱仪及时解决了分析行业的难题.着重概述在高纯氦气、高纯氪气、高纯氙气、高纯氯化氢气体、砷烷等特气分析中的应用.     

高纯PH3和B2H6中微量H2、O2、N2的分析

前言 半导体工艺过程及大规模集成电路生产中所使用的高纯PH3和B2H6，由于其中含有O2、N2等杂质成份，直接影响了电子产品的质量，所以，必须严格地加以检测和控制。目前，一些发达国家对特气产品中杂质的监控十分重视，且都相应地研制出专门仪器进行检测。如法国TBT公司所研制的TBT色谱仪，对磷烷、硅烷、砷烷及乙硼烷中永久性气体杂质和总烃杂质都能进行检测。     

气瓶回收时有毒氢化物气体的处理

回收钢瓶中的残余有毒氢化物(砷烷、磷烷、硼烷)处理技术,包括吸收/吸附、湿洗和热分解。用热分解法处理回收钢瓶是安全和有效的,为经济起见,可成批处理。残余氢化物一般在间歇式湿洗系统中用氧化剂(如NaOCl或KMnO_4等)进行处理。     

南大光电拟投建特种气体项目

7月19日晚间,上市公司南大光电公告称,公司与安徽省全椒县政府签订了《项目投资合同书》。全椒县政府拟设立全椒电子新材料产业园,规划面积为0.5 km2,控制面积为1 km2。产业园区项目由南大光电及全椒县政府共同建设或引进,形成电子新材料产业集群,力争用10年左右时间,打造总投资20亿元以上、产值100亿元以上、税收过10亿元的国家级电子新材料产业园区。其中一项项目,南大光电拟在全椒县投资建设＂高纯磷烷、砷烷研发和产业化项目＂,总投资为3亿元,建筑面积约4万m2。全椒县政府将以每亩5.6万元的价格为公司该项目提供工业用地150亩。     

气体工业名词术语

危险物质(ＨａｚａｒｄｏｕｓＭａｔｅｒｉａｌｓ)　系指那些对人体有害或对健康有害的化学物品或物质。对气体而言,可区分为有毒气体和剧毒气体。砷烷、磷烷、乙硼烷、光气、锗烷、硒烷等均系剧毒气体,即使是短时间的曝露也可能导致严重中毒甚至致死。在这些气体的生产、充装、贮存、运输和使用中均应遵循有关安全规程和法规。凡接触这些物质的有关人员,必须经过严格培训,掌握使用中的安全规程、急救处理等方面的专业知识。对健康有害物质(ＨｅａｌｔｈＨａｚａｒｄ)　根据已知的科学原理,通过研究、统计得到的数据表明,对健康有害物质…     

特种气体的低浓配气和报警器的调试

一、前言特种气体中约有三分之二是有毒的,特别是有剧毒的烷类气体,如砷烷、磷烷和乙硼烷,其允许极限浓度(TLV)分别为0.05、0.3和0.1ppm。随着大规模集成电路迅速发展,一些单位的引进线上,配套带来了一些特气报警装置。为了检验报警器是否达到