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2.1 .3 离子轰击除气 (上接 2 0 0 3年第 4期第 66页 )利用离子源或空间辉光放电而产生的气体离子轰击被除气的表面 ,使吸附在材料表面层的污染物(吸附气体、氧化物等 )发生溅射作用而分解解吸出来。由于重离子的溅射作用比较强烈 ,因此常将惰性气体离化作为轰击离子。用于离子轰击除气的离子能量一般为 2 0 0～ 1 0 0 0 e V。一般离子与金属组合的溅射阈能约为 1 5～ 30e V,这个阈能随轰击离子质量的增加而降低 ,同时阈能与被溅射金属的升华热并无严格的对应关系。表 2给出了某些真空常用金属材料的溅射阈能与升华热。表 2 在离子轰击下… 相似文献
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1.2 .2 .2 电化学抛光 (上接 2 0 0 3年第 2期第 66页 )电化学抛光的原理与电解浸蚀相同 ,但是所用的电解液与电解浸蚀液不同。对于大部分金属来说 ,都可以采用电化学抛光方法清洗。该方法为电镀的逆过程 ,抛光时 ,工件接阳极被“退镀”,阴极通常用紫铜、铅、钢等金属制成 ,其面积为阳极的面积 5倍以上 ,阴、阳极距离为 5 0～ 1 2 0 mm。由于电场集中 ,在高点的金属被迅速地除掉 ,使金属表面变得很均匀 ,结果获得了理想的光洁表面。在抛光过程中零件的损耗极少 ,抛光后可得到光洁度很高的表面。抛光前零件的表面粗糙度以1 .6～ 0 .8为宜 ,… 相似文献
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1 真空材料的清洗1 .1 概述清洗一般定义为在真空工艺进行前 ,先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程。真空零部件的表面清洗处理是很必要的 ,因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外 ,由于污染物的存在 ,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。暴露于大气中的表面普遍受到污染 ,表面上任何一种无用的物质或能量都是污染物。表面污染就其物理状态来看可以是气体 ,也可以是液体或固体 ,它们以膜或散粒形式存在。就其化学特征来看 ,它可以处于离子态或共价态 ,可以是无机物或有机物。污染… 相似文献
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4.3 塑料 (上接 2 0 0 2年第 4期第 61页 )4.3.1 氟塑料 (聚四氟乙烯 )氟塑料 (聚四氟乙烯 )俗称塑料王 ,其商品名称是 Teflon,是四氟乙烯的聚合物 ,为白色或灰白色的物质。它是在高压下由三氯甲烷与氢氟酸聚合制成四氟乙烯 (粉末 ) ,在 370℃时 ,将得到的四氟乙烯粉末装模、烧结 ,产生一种坚韧的、非热塑性和非多孔性的树脂。聚四氟乙烯虽然大多是结晶体 ,但却没有熔点。它的塑性随温度升高而增加 ,而机械性能则急剧变坏。而且在高于 32 7℃时 ,转变为非流动无定形的胶状物。在高于 40 0℃时 ,聚四氟乙烯分解 ,放出有毒的挥发性氟化物气… 相似文献
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3 可拆密封连接(上接2000年第5期第51页)在真空系统需要经常拆卸的地方,应用可拆密封连接,这种连接在密封性能和机械强度上虽然不如永久连接,但是真空系统某些地方是需要经常进行拆卸的,因此这种连接用得较多。其结构有如下几种。3.1 挠性连接挠性连接件主要有三种,即真空橡胶管、塑料管和波纹管。真空橡胶管是用橡胶制成的一种厚壁管,多用于口径小于50mm的机械真空泵入口处,也可以连接玻璃管、金属管及其零件。真空橡胶管连接的接头种类很多,最简单的方法是把插入橡胶管端部的接头做成图7所示的台阶形。1.管接头 2.压紧螺母 3.橡胶管接… 相似文献
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3高压电输入密封 (上接 2 0 0 0年第 6期第 50页 )图 2 0所示是高压电输入密封的一种结构。高压电输入密封的特点是输入线均采用陶瓷做为绝缘体。1、4.密封圈 2 .电极 3.绝缘陶瓷 5 .稳固圈图 2 0 高压电极的密封结构 4低电压大电流的电极密封图 2 1是低电压大电流的电极密封结构。图中a、b两种结构是固定式电极 ,c是可移动式电极 ,为了对电极进行冷却 ,在 b、c两种结构中均设有水冷。供水和回水均在真空室外进行。5导线的真空密封将导线引入到真空系统或真空管壳中去常采用永久密封引线的方法。这种永久引线基于玻璃与金属封接… 相似文献
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东北大学真空工程博士点 ,博士导师杨乃恒先生主持第一讲 :真空科学的发展及其应用李云奇 95( 2 )……………………………………………………第二讲 :真空物理基础张世伟 95( 3)…………………………………………………………………第三讲 :机械真空泵 (一 ) (二 ) (三 ) (四 ) (五 ) (六 )张以忱 95( 4)、( 5)、( 6)、96( 1)、( 2 )、( 3)…………第四讲 :蒸汽流真空泵姚民生 96( 4)…………………………………………………………………第五讲 :气体捕集式真空泵徐成海 96( 5)……………………………………………………………第六… 相似文献
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3.4 贵重金属 (上接 2 0 0 2年第 1期第 5 2页 )3 .4.1 铂 (Pt)铂是延展性最好的金属之一 ,其加工容易。表1 1给出了铂的性质。表 11 铂的性质性 质 温度 (℃ )或成形 数 值单 位原子序数原子量密度熔点热导率线热膨胀系数布氏硬度抗拉强度杨氏模量刚度电阻率电阻率的温度系数电子逸出功退火温度H2 的溶解度2 0～ 10 0110 0退火 5 0 %纯度 加工 5 0 %纯度 退火极纯的铂 冷加工极纯的铂 退火10 002 00～ 10 040 078195 .2 32 1.4517730 .1710 .2× 10 - 65 09040～ 4597～ 10 318～ 2 010 0 0 0～ 175 0 060 0 0～ 70 0… 相似文献
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3热导率 (上接 2 0 0 2年第 3期第 62页 )玻璃的热导率比金属的要小得多 ,大约比铁和镍的热导率低两个数量级。不同种类玻璃的热导率值相差不大 ,其值在 ( 1 .6～ 3)× 1 0 -3 cal· cm-1· s-1·℃ -1范围内变化 ,铅玻璃 (软玻璃 )为小值 ,硼硅玻璃 (硬玻璃 )为大值。纯 Si O2 的热导率为 3.3× 1 0 -3cal· cm-1· s-1·℃-1。如果玻璃与金属之间的密封热分布不均匀 ,那么热导率值小的玻璃便会破裂。4.1 .5 电阻率与电击穿强度1电阻率玻璃自身的体电阻率值很高 (可达 1 0 19Ω·cm) ,而其表面电阻率由于通常受表面上吸附的水或其它杂质… 相似文献
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东北大学真空工程博士点 ,博士导师杨乃恒先生主持第一讲 :真空科学的发展及其应用李云奇 95 (2 )……………………………………………………第二讲 :真空物理基础张世伟 95 (3)…………………………………………………………………第三讲 :机械真空泵 (一 ) (二 ) (三 ) (四 ) (五 ) (六 )张以忱 95 (4)、(5 )、(6 )、96 (1)、(2 )、(3)…………第四讲 :蒸汽流真空泵姚民生 96 (4)…………………………………………………………………第五讲 :气体捕集式真空泵徐成海 96 (5 )……………………………………………………………第六讲… 相似文献
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正(接2014年第5期第80页)靶—基距对沉积速率有很大影响,图19给出了S-枪靶的靶基距对沉积速率的影响。从图中可见,随着靶基距的增加,沉积速率呈双曲线状下降。沉积速率随靶—基距的增加而下降是由于靶材粒子在迁移过程中的散射效应引起的。为 相似文献
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第六讲：真空测量刘玉岱（东北大学）一、概述１．什么是真空测量真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的，并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压力低与真空度高相对应。真空测量包括全压力... 相似文献
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(上接2006年第1期第80页)6.3.2对接接头对接接头具有均匀的受力状态,并能节省材料、减轻结构重量;成为熔焊连接的基本接头型式。但在钎焊连接中,过去由于钎料等原因,使对接接头常不能保证与焊件有相等的承载能力;加之装配时保持对中和间隙大小均较困难,故一般不推荐使用。现在,由于真空钎焊的发展,有些钎料的强度可以与基材强度相当,因此对接接头型式也时有采用。一般,对接接头多用于低应力状态。要求在高应力状态使用时,通过增设肋板补强,也可以设计成如图8所示的接头,大幅度增大对接面积,以提高强图8高应力状态使用的对接接头度。也可以采… 相似文献
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6.5.2.7锰基钎料(上接2006年第4期第64页)锰的熔点较高(1314℃),蒸气压也较高(1020℃时为l3 Pa),不宜在高真空中使用。锰能与镍形成一系列固溶体。当镍含量为3.95%时,锰镍合金的熔点为1005℃。为了进一步降低熔点,改善抗热性和抗腐蚀性,加入铬、钴、铜、铁、硼等合金元素,能形成如表19所列的一系列性能各异的锰基钎料。锰基钎料具有较高的室温和高温强度,中等抗氧化性能和较好的耐低温、耐腐蚀性能,对不锈钢无明显的溶蚀及晶间渗入现象,适宜钎焊薄壁构件。钎焊工艺性能好,能填充较大的接头间隙。主要用于钎焊碳钢、合金钢、不锈钢及高温合… 相似文献
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6.5.2.2银基钎料(上接2006年第3期第63页)银共熔点和流点均为960.5℃,室温强度高,塑性和加工性能好,导热、导电性能优良,有良好的抗腐蚀性能。纯银焊料的纯度应≥99.99%。可焊镍、可伐合金等。但用纯银作钎料存在着钎焊温度高,高温强度低,对黑色金属润湿性能差等缺点,因此银基钎料是弥补纯银钎料的如上不足而研制的。由A g-Cu相图可知,铜能显著降低银的熔点,银铜合金的金相组织为固溶体和共晶体组成,所以银铜共晶型钎料在电子工业中钎焊铜及铜合金、钛及钛合金、可伐合金等得到广泛应用。最常用的银铜焊料有A gCu28和A gCu50两种。可用来… 相似文献
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(上接2006年第2期第64页)②对于不同的钎料与基材组合,其获得接头最高强度值的最佳间隙值范围各不相同,这与钎料和基材各自的物理化学性能以及在钎焊过程中的相互作用特性有密切关系。一般来说,钎料对基材的润湿性越好,这一间隙值就越小;钎料与基材相互作用强烈,间隙必须增大,因为填缝时基材的溶入会使钎料熔点提高、流动性下降。例如用铝基钎料钎焊铝合金时,基材向钎料中的溶解很强烈,为了保证填满钎缝,要求较大的间隙;相反,用银基或铜基钎料钎焊钢时,钎料与基材相互作用很弱,采用较小的间隙有助于加强钎料的毛细填缝。表12中所推荐的不同… 相似文献
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2.3 冷凝捕集器 (上接 2 0 0 0年第 2期第 5 2页 )2 .3.1概述冷凝捕集器又称冷阱 ,是利用低温冷壁来捕集可凝性蒸气的一种低温冷凝捕集器。冷阱被广泛应用于高真空和超高真空系统中 ,安装在主泵入口和真空室之间的管路上。冷阱不仅能有效地捕集来自蒸气流泵的返流蒸气和部分裂解物 ,而且还可抽除来自真空室内的可凝性蒸气。冷阱的效果除了取决于其结构之处 ,还取决于所使用的冷壁温度 ,低温冷壁的温度愈低效果愈好。使用冷阱应遵守一定规则 :在加入冷剂前 ,应将容器抽空到足够低的压强 ,使可凝性气体被大量排除后再加入冷剂 ;在使用过程中 … 相似文献
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(上接2005年第1期第64页)5.4.4 质谱仪检漏法质谱检漏是最灵敏和常用的检漏技术,实际应用的质谱检漏仪都采用高灵敏磁扇形残余气体分析探头。为获得最高灵敏度,可适当降低分析器的分辨率。为此可选用质量数唯一,容易分辨并且大气内含量极少的试验气体。氦气是惰性气体,质量数为4,基本上符合要求。因此质谱检漏仪常用氦气作为试验气体,并称之为氦质谱检漏仪。这种仪器的分析器探头只对氦气分压力的变化有响应。氦质谱检漏仪最重要的技术指标是灵敏度。灵敏度是仪器输出信号的变化除以引起此变化的输入量变化。质谱仪的输出信号是表头读数,输… 相似文献
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1 真空测量仪表与规管的选用和安装1 .1 真空仪表的选用从原则上来说 ,应根据实际情况 ,从以下几个方面考虑选用适用的真空测量仪表。1应具有足够的测量范围。一般要求真空仪表的测量范围至少比被测真空度范围宽 1～ 2个数量级以上。2应具有足够的测量精度 ,有些场合还需要考虑重复性和可靠性。3吸气与放气量小 ,尽量减少对被测系统的影响。4被测气体的种类对测试结果的影响小 ,气体对仪表应无损害。5应能测量气体和蒸汽的全压力。6应能连续指示和测量 ,必要时还需考虑自动控制和远距离测量。7仪表和规管应反应时间快、稳定可靠、结构牢固… 相似文献
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(上接2005年第2期第64页)5.7.2制造加工过程中的检漏问题1焊接件焊接件在加工过程需要配合检漏,采用何种检漏方法应根据焊接质量和设备所允许的最大漏率来确定。对于焊制零件是加工好后就检漏,还是组焊成部件或在总装以后再检漏,需视具体情况而定。但最好是每个零件检漏好再组焊,因为有时组焊后检漏不方便,或者无法检漏和补修。如:冷阱、杜瓦的内胆9如果在总装后对冷阱内胆的焊缝进行检漏时,由于装配后焊缝不能暴露在外面,即使发现了漏孔也无法进行补焊,所以组焊前一定要检漏。否则,将无法检漏。又如某些大容器在总装后的容积过大,使检漏灵… 相似文献