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摇篮式直驱五轴联动数控转台为五轴加工中心的核心功能部件,具有高动态响应、高精度、高速度等特点,掌握其装配工艺的关键技术,是保证摇篮式直驱五轴联动数控转台性能的重要手段。该文从实际出发,系统性地介绍了一种直驱摇篮转台的装配过程和关键技术,通过对直驱摇篮数控转台的刹车模组、C轴模组、A轴模组的精度调整及装配工艺技术的探索研究,解决了刹车模组和A轴双电机同驱控制的装配技术关键难点,并对刹车模组的刹车距离进行了设计,为数控转台核心装配工艺技术提供了理论依据。所研究内容对于该类型产品的装配技术的深入研究具有非常好的借鉴意义。 相似文献
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《机械制造与自动化》2017,(6):121-123
以ZT10TM-1000直驱转台作为研究对象,研究电机定子转子传热分析与计算、轴承的发热分析、外部空间环境的传热分析。分别求出对流换热系数,为转台热特性的有限元分析提供基础。通过对转台建模并对转台热特性分析发现,转台中心部位传热条件较差,使得转台表面发生位移并影响转台加工精度与转台稳定性。因此提出通过改善转台结构设计和控制润滑油介质温度来提高转台的精度。 相似文献
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晶圆对心转台亚微米级径跳误差补偿方法 总被引:1,自引:0,他引:1
为了消除转台径跳误差对晶圆预对准台重复性定位精度的影响,提出径跳误差的在线检测与补偿方法。转台上方并与之一起旋转的心轴作为转台径跳的检测元件,电涡流传感器测量心轴径向距离,其测量值由固定误差和径跳误差组成,借助集合平均法或者转台径跳特性,离线求解固定误差,据此在线工作时从电涡流传感器数据中分离出径跳误差。利用该误差对激光位移传感器检测的晶圆边缘数据进行径跳误差补偿,分析误差特性,据此简化补偿算法。试验证明,径跳误差补偿方法的使用提高了系统的预对准精度,并最终使系统达到了微米级的定位精度要求。 相似文献
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三轴标定转台的指向误差建模与仿真分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为提高盾构导向测量系统的标定精度,探讨了影响其标定设备三轴转台指向精度的因素。基于多体系统理论,结合该转台的结构和运动特点,描述了系统的拓扑结构,建立了三轴转台指向误差的数学模型。在此基础上,通过仿真,详细分析比较了各误差项对转台指向精度的影响,为三轴转台的精度设计、误差分配以及误差补偿奠定了基础。 相似文献
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针对具有精密旋转轴系类的高端制造装备或精密测量仪器,其旋转角度采用传统圆光栅难以消除偏心误差对测量角度精度的影响,提出了一种基于二维混合式位置编码的旋转角度高精度测量方法。该测角系统由一个二维混合式位置编码盘、两个CCD相机和远心镜头组成,二维混合式位置编码盘被固定在精密旋转轴系上以获得其旋转角度。然后,建立了测角模型并从数学上证明了测角精度与安装偏心无关。利用多齿分度台对已提出测角系统精度进行检测,测量角度误差在±1″。最后,利用已提出测量方法对直驱转台的角度定位精度进行测量,角度定位误差在±5″内。与传统圆光栅测角相比,该方法不需要考虑安装偏心误差对测角精度的影响,具有稳定性好、使用简单等特点,可用于角度定位误差的检测。 相似文献
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文章提出了一种单轴直驱数控转台的研发方案,对研发过程中的关键技术进行了深入分析,包括内部总体结构、主要部件的选择、锁紧密封机构的设计及装配调试等方面。为类似单轴或双轴直驱数控转台的研发提供了有益的借鉴。 相似文献
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对某高精度立式磨床用回转工作台采用液体静压直驱转台总体技术方案以保证其良好的动态特性和回转精度;支承系统采用液体静压支承以获得高的承载能力、刚度以保证工艺系统刚性;针对转台高动态回转精度要求,考虑油膜误差均化,确定了其关键零件部件精度并采用手工研磨方式保证了其制造精度,实现了转台系统全转速范围内0.25 μm动态回转精度;针对电动机发热和油膜剪切发热,采用稀油大流量静压支承、止推上置电动机下置、电动机强冷等技术措施保证了回转工作台良好的热态特性,工作端热伸长小于4 μm。研制的静压回转工作台应用于立式磨床,实现了外圆内孔圆度0.45 μm的磨削精度。 相似文献