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相似文献
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1.
高纯铝合金溅射靶是重要的半导体集成电路镀膜用材料。本文将电子束焊接技术应用于溅射靶的制备,研究镀膜用高纯AlCu0.5合金(纯度〉99.9995%)与6061Al合金的焊接工艺。通过显微组织和力学性能分析表明,高纯AlCu0.5与6061Al具有良好的焊接成形,通过合适的线能量输入,焊接接头具有较佳的显微组织和力学性能,能够满足靶材焊接的严格要求。  相似文献   

2.
高纯钛溅射靶现在已广泛应用于半导体装置制造的金属镀工艺中,日本的日矿材料公司生产高纯钛溅射靶、铜、钽、钴、钨、镍等高纯金属以及合金靶、钛硅化物靶等,供给全世界的半导体厂家。  相似文献   

3.
《硬质合金》2017,(5):353-359
难熔金属钨及钨合金由于具有高温稳定性好、电子迁移抗力高以及电子发射系数高等优点,在半导体大规模集成电路制造过程中有着广泛的应用。本文对半导体用高纯钨及钨合金靶材的应用领域、性能要求以及制备方法进行了详细的分析,并对其发展趋势进行了展望。高纯钨及钨合金靶材主要用于制造半导体集成电路的栅电极、连接布线、扩散阻挡层等,对材料的纯度、杂质元素含量、致密度、晶粒尺寸及晶粒组织均匀性等方面都有着极高的要求。高纯钨及钨合金靶材主要采用热压、热等静压等方式来制备,采用中频烧结+压力加工的方式可以制备出高纯度、高致密度的钨靶材,但晶粒尺寸及晶粒组织均匀性控制方面,与热等静压制备的钨靶仍有一定的差距。  相似文献   

4.
高纯钛在半导体超大规模集成电路中以钛硅化合物(TiSix)、氰化钛(TiN)、钨钛(W-Ti)等形式用做控制电极、扩散阻挡层、配线等材料,这些都是以薄膜形式使用的.薄膜主要是用溅射方法制备,所以高纯钛是作为溅射靶材使用.在纯度要求上,必须充分除去 Na, K等碱性金属, U, Th等放射性元素、Fe,Cr,Ni等重金属元素.另外,随着半导体的微型化,还开发了被称为离子金属等离子的技术,其溅射设备腔体内的各种部件也开始采用与溅射靶同样材质的高纯钛.在生物材料方面,高纯钛丝可用作捆扎材料. 高纯钛的生产…  相似文献   

5.
正济源豫金靶材科技有限公司是河南豫光金铅股份有限公司控股的具有较强新型靶材研发能力的高科技新材料研发生产企业。公司占地83亩,产业化工程(一期总投资2.5亿元)包括溅射靶材、稀贵金属材料的研发、生产及销售。公司所生产的产品作为高新技术行业发展的基础材料之一,为特种镀膜技术用原材料,属于国家重  相似文献   

6.
正济源豫金靶材科技有限公司是河南豫光金铅股份有限公司控股的具有较强新型靶材研发能力的高科技新材料研发生产企业。公司占地83亩,产业化工程(一期总投资2.5亿元)包括溅射靶材、稀贵金属材料的研发、生产及销售。公司所生产的产品作为高新技术行业发展的基础材料之一,为特种镀膜技术用原材料,属于国家重点鼓励发展的高新技术产品。  相似文献   

7.
正济源豫金靶材科技有限公司是河南豫光金铅股份有限公司控股的具有较强新型靶材研发能力的高科技新材料研发生产企业。公司占地83亩,产业化工程(一期总投资2.5亿元)包括溅射靶材、稀贵金属材料的研发、生产及销售。公司所生产的产品作为高新技术行业发展的基础材料之一,为特种镀膜技术用原材料,属于国家重点鼓励发展的高新技术产品。  相似文献   

8.
贵金属靶材在半导体集成电路、显示器、电子部件反射膜、光学记录媒体、磁记录材料、玻璃功能薄膜、装饰首饰等领域有广泛的应用,本文通过检索贵金属靶材相关中国专利,总结了贵金属靶材专利的种类分布、热点技术、应用领域等,揭示了贵金属靶材领域的研究和知识产权保护方向。  相似文献   

9.
李旸  杨滨  昝林寒 《贵金属》2004,25(4):40-44
采用离子束溅射技术,Pt和Ru双靶材通过制备工艺条件的设计,制备出含单质Pt、单质Ru及PtRu合金的纳米载体薄膜材料。采用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱等分析手段表征了薄膜材料的结构,验证了离子束溅射技术制备Pt合金薄膜的可操作性,并对Pt合金戍膜规律进行了初步探索。  相似文献   

10.
<正>济源豫金靶材科技有限公司是河南豫光金铅股份有限公司控股的具有较强新型靶材研发能力的高科技新材料研发生产企业。公司占地83亩,产业化工程(一期总投资2.5亿元)包括溅射靶材、稀贵金属材料的研发、生产及销售。公司所生产的产品作为高新技术行业发展的基础材料之一,为特种镀膜技术用原材料,属于国家重点鼓励发展的高新技术产品。  相似文献   

11.
介绍了贵金属功能材料的应用领域,贵金属材料对国民经济和社会发展的重要性。阐述了贵金属高纯材料、贵金属薄膜材料、贵金属制品、贵金属合金及化合物在电子电气行业、半导体微电子行业、环保领域、生物医药、化工行业的应用现状及发展趋势。  相似文献   

12.
贵金属掺杂有序多孔复合材料的研究进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
贵金属掺杂的有序多孔复合材料是一类重要的载体催化剂.重点综述了材料制备过程中使用的有序多孔材料、贵金属前驱体,并简要介绍了贵金属有序多孔复合材料的用途及材料的形成机理.  相似文献   

13.
钛业分会2004年度工作总结   总被引:1,自引:0,他引:1  
对贵金属二次资源的特点、来源、预处理方法以及金银铂钯等贵金属的回收利用方法等进行综合评述,提出了在无害化处置贵金属废料时应充分考虑回收利用工艺的全面性、尽可能以废治废、生物处理、集中处理、政府积极参与协调并加大投入,对于目前暂时无法做到无害化处置的贵金属废料,将这些废料暂时集中放置,滞后处理等有价值的建议。  相似文献   

14.
随着科技的发展材料基因组工程技术成为材料科学研究的热点,其中的高通量实验技术是其中最重要的三部分之一。针对该类技术,首先总结了各类高通量实验技术的基本原理、种类和方法;在此基础上针对贵金属研究领域的特点,分析了各种高通量实验技术在贵金属材料研究领域中的优缺点和存在的问题,以及贵金属高通量实验方法需要基本的主要特征;给出了适合贵金属研究的高通量实验方法以及改进之处,并对其发展方向进行了分析和讨论。  相似文献   

15.
魏燕  陈家林  胡昌义  蔡宏中  郑旭  祈小红  陈力 《贵金属》2013,34(S1):122-126
现代工业和高技术领域中,部分高熔点的贵金属材料(Pt、Rh、Ir)及其合金、复合材料等作为耐高温耐腐蚀型材料具有重要应用。因其具有高熔点、高温抗氧化性、高的抗腐蚀性能及高温强度等一系列优点,近年来在高温材料领域的研究及应用有了突飞猛进的发展。综述了贵金属材料在高温结构材料及高温抗氧化功能涂层方面的研究与应用进展,探索贵金属金属材料在高温领域的发展方向。  相似文献   

16.
张颖  孙树臣  肖发新  涂赣峰 《贵金属》2022,43(S1):163-169
失效汽车尾气催化剂(TWC)在含贵金属的二次资源中占有重要地位,对其处理回收不但具有显著的经济价值,还具有重要环保意义。TWC中严重存在贵金属分布不均匀、含量低,难以精准检测的问题。贵金属的精准检测是TWC综合利用的前提条件。本文重点讨论了富集取样法和均匀取样法在TWC贵金属精准检测中的应用。此外,针对此类物料的特点提出了取样点数有高代表性的取样装置。取样后进行酸溶或微波消解溶样,再结合电感耦合等离子体光谱/质谱法(ICP-AES/MS)完成检测分析,是未来TWC中贵金属含量精准检测的发展方向。  相似文献   

17.
贵金属及其合金作为组元材料,可与其他金属、陶瓷、碳、化学化合物、金属间化合物以及聚合物结合,构成贵金属复合材料。在贵金属复合材料中,贵金属及其合金可作为基体材料,为纤维状或颗粒状的其他材料强化;亦可以涂层、纤维和颗粒等形式作为功能相材料分布在其他基体材料中。本文是“贵金属复合材料的成就与展望”系列文章的第二部分,总结了贵金属复合材料的种类,包括层状复合、纤维复合和颗粒复合材料;列举了贵金属复合材料的主要体系及其应用;讨论了一些贵金属复合材料的结构特征及其今后研究的新课题。  相似文献   

18.
李关芳 《贵金属》2004,25(3):54-61
由于贵金属材料具有独特的抗腐蚀性、生理上的无毒性、良好的延展性以及生物相容性,它在医学领域的应用日益拓展。作者在本文着重介绍贵金属材料在牙科(包括牙科汞齐合金和铸造合金)、针灸、体内植入的电子器件及医用生物传感器等方面的研究与发展,分析了牙科用贵金属材料的演变过程等。  相似文献   

19.
贵金属纳米粒子/碳纳米管复合材料具有优异的电、磁、光及催化性能,在多相催化、燃料电池、化学/生物传感器、抗菌材料和复合材料等领域有潜在的应用。综述了贵金属纳米粒子/碳纳米管的性能特点和国内外的研究现状,并深入分析了化学镀、电化学沉积和物理技术等在制备贵金属纳米粒子包覆碳纳米管中的应用。表面包覆了高分散纳米贵金属粒子的碳纳米管有望应用在能源、环境和生物化学领域。  相似文献   

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