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高纯钛溅射靶现在已广泛应用于半导体装置制造的金属镀工艺中,日本的日矿材料公司生产高纯钛溅射靶、铜、钽、钴、钨、镍等高纯金属以及合金靶、钛硅化物靶等,供给全世界的半导体厂家。 相似文献
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《硬质合金》2017,(5):353-359
难熔金属钨及钨合金由于具有高温稳定性好、电子迁移抗力高以及电子发射系数高等优点,在半导体大规模集成电路制造过程中有着广泛的应用。本文对半导体用高纯钨及钨合金靶材的应用领域、性能要求以及制备方法进行了详细的分析,并对其发展趋势进行了展望。高纯钨及钨合金靶材主要用于制造半导体集成电路的栅电极、连接布线、扩散阻挡层等,对材料的纯度、杂质元素含量、致密度、晶粒尺寸及晶粒组织均匀性等方面都有着极高的要求。高纯钨及钨合金靶材主要采用热压、热等静压等方式来制备,采用中频烧结+压力加工的方式可以制备出高纯度、高致密度的钨靶材,但晶粒尺寸及晶粒组织均匀性控制方面,与热等静压制备的钨靶仍有一定的差距。 相似文献
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《稀有金属材料与工程》2000,17(4):15-15
高纯钛在半导体超大规模集成电路中以钛硅化合物(TiSix)、氰化钛(TiN)、钨钛(W-Ti)等形式用做控制电极、扩散阻挡层、配线等材料,这些都是以薄膜形式使用的.薄膜主要是用溅射方法制备,所以高纯钛是作为溅射靶材使用.在纯度要求上,必须充分除去 Na, K等碱性金属, U, Th等放射性元素、Fe,Cr,Ni等重金属元素.另外,随着半导体的微型化,还开发了被称为离子金属等离子的技术,其溅射设备腔体内的各种部件也开始采用与溅射靶同样材质的高纯钛.在生物材料方面,高纯钛丝可用作捆扎材料. 高纯钛的生产… 相似文献
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钛业分会2004年度工作总结 总被引:1,自引:0,他引:1
对贵金属二次资源的特点、来源、预处理方法以及金银铂钯等贵金属的回收利用方法等进行综合评述,提出了在无害化处置贵金属废料时应充分考虑回收利用工艺的全面性、尽可能以废治废、生物处理、集中处理、政府积极参与协调并加大投入,对于目前暂时无法做到无害化处置的贵金属废料,将这些废料暂时集中放置,滞后处理等有价值的建议。 相似文献
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失效汽车尾气催化剂(TWC)在含贵金属的二次资源中占有重要地位,对其处理回收不但具有显著的经济价值,还具有重要环保意义。TWC中严重存在贵金属分布不均匀、含量低,难以精准检测的问题。贵金属的精准检测是TWC综合利用的前提条件。本文重点讨论了富集取样法和均匀取样法在TWC贵金属精准检测中的应用。此外,针对此类物料的特点提出了取样点数有高代表性的取样装置。取样后进行酸溶或微波消解溶样,再结合电感耦合等离子体光谱/质谱法(ICP-AES/MS)完成检测分析,是未来TWC中贵金属含量精准检测的发展方向。 相似文献
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贵金属及其合金作为组元材料,可与其他金属、陶瓷、碳、化学化合物、金属间化合物以及聚合物结合,构成贵金属复合材料。在贵金属复合材料中,贵金属及其合金可作为基体材料,为纤维状或颗粒状的其他材料强化;亦可以涂层、纤维和颗粒等形式作为功能相材料分布在其他基体材料中。本文是“贵金属复合材料的成就与展望”系列文章的第二部分,总结了贵金属复合材料的种类,包括层状复合、纤维复合和颗粒复合材料;列举了贵金属复合材料的主要体系及其应用;讨论了一些贵金属复合材料的结构特征及其今后研究的新课题。 相似文献
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由于贵金属材料具有独特的抗腐蚀性、生理上的无毒性、良好的延展性以及生物相容性,它在医学领域的应用日益拓展。作者在本文着重介绍贵金属材料在牙科(包括牙科汞齐合金和铸造合金)、针灸、体内植入的电子器件及医用生物传感器等方面的研究与发展,分析了牙科用贵金属材料的演变过程等。 相似文献