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介绍一种基于光三角法的激光非接触测振仪,对激光测振仪的结构参数的优化设计进行了分析。研制的激光测振仪的主要技术参数为工作距离40mm-2m,测量范围2-50mm,测量分辨力2-220μm频率响应0-3kHz. 相似文献
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三角法位移传感器测头设计研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文以直射式激光三角测头为例,导出了满足Scheimpflag成象条件下的待测面位移与象位移间的准确关系,作为仪器结构参数设计的基础。并对提高测量精度和实用性的各项改进设计进行了分析。 相似文献
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高精度激光三角法位移测量被测表面倾斜影响研究 总被引:12,自引:0,他引:12
在高精度激光三角法位移测量中,被测表面的倾斜对测量准确度有很大影响。本介绍利用光散射的基本原理研究光电接收器接收面上象光斑的光能质心偏移与倾斜角及位移量之间的定量关系,给出了计算机模拟及实验结果,探讨了减少或消除被测表面倾斜影响的方法。 相似文献
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介绍了激光三角法反射式光路设计的基本原理、光路结构和成像系统;给出了在不同实验参数下的测量范围、测量精度和测量误差,并对测量范围和测量精度与各主要参数间的变化关系进行了分析。实验表明,该方法可以实现小角度的高精度测量,且其测量范围和测量精度可以进行动态调节。 相似文献
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利用光纤和调制半导体激光的准直方法 总被引:3,自引:0,他引:3
本提出了一种新的激光光纤准直方法。利用光传播的平行性和直线性,光学准直技术被用于精密地建立几何参数的测量基准,在这些应用中,光束、处理电路的漂移、杂散光是影响测量精度的主要因素。为了消除这些影响,本利用调制半导体激光技术和光纤技术形成准直光束,四象限探测器进行探测,相敏检波技术对光电调制信号进行解调,所有的信号共享同一信号处理信道,且光束的调制频率远离杂散光的频率范围,激光光束漂移杂散光、电路漂移被抑制,在1m范围获得了0.3μm的准直精度。 相似文献
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纳米级二维激光外差干涉仪的设计 总被引:1,自引:2,他引:1
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度,、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干仪将采用差分干涉仪,采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。 相似文献
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一种新型激光多普勒振动传感器 总被引:2,自引:1,他引:2
介绍了一种采用激光多普勒技术的非接触振动传感器,分析了它的工作原理及光路电路结构,并给出了初步实验结果与测量误差分析。文中指出这种高性能价格比的振动测量仪器可望有好的应用前景。 相似文献
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