埋沟式横向电压型集成压力传感器

本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。     

磁敏传感器产业的现状和发展趋势

本文主要评述磁敏传感器产生的现状及可能形成产业化生产和产业性应用的磁敏传感器的发展趋势。     

横向电压型压力传感器灵敏度的几何效应

本文报道了制作在(001)硅长方膜中心区域的二组共十种几何设计的横向电压型压力传感器的灵敏度测试分析结果.得到了电源电极短路效应和输出电极短路效应引起的灵敏度几何因子与器件尺寸的关系.实验结果与数值分析所得的结果相当符合.这些结果为横向电压型压力传感器几何图形的设计提供了有用的准则.     

磁敏传感器及其应用

本文简要评述了传感器和磁传感器的工作原理以及发展应用状况，介绍了汽车上应用的各类传感器，并对磁性温控开关的工作原理及应用做了较详细的论述。     

TbDyFe-FeNi多层膜/光纤磁传感器磁敏性能实验研究

采用磁控溅射工艺制备了TbDyFe-FeNi多层膜/光纤复合结构,并搭建M-Z干涉仪磁场检测系统对复合结构的磁敏性能进行试验测试.实验结果表明,在调制磁场频率为复合结构的固有频率的条件下,系统对磁场信号感应强度最大;系统输出信号大小随调制磁场强度线性增加,添置恒定直流磁场后,系统响应信号大小明显增强.在0～48 kA/m的直流磁场范围内,干涉仪(传感臂有效长度为10 cm)信号响应灵敏度为6.05×10-5rad/(√Hz·kA·m-1);当多层膜厚度增加到5 μm时,干涉仪信号响应灵敏度变为6.07×10-5rad/(√Hz·kA·m-1).     

MEMS压力传感器及其应用

简述MEMs压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。     

半导体压力传感器技术及其市场动向

压力是流体的状态量之一,压力计量对于了解流体状态非常重要,它是以石油工业为中心的工艺过程控制领域中不可缺少的。此外,最近也开始出现把压力传感器用于日常生活使用的机器上以提高它们性能的发展趋势。 一般来说是先把压力变换成力、变位和变形等其他物理量。然后,将和这些物理量的大小成比例变化的电阻和静电容量变换成电信号。利用电阻变化的压力传感器中有一种利用半导体的压力——电阻变化的压力传感器是采用IC制造技术制成。由于采用了硅微细加工技术,因而能将应变电阻和感受压力的膜片做成一个整体。     

半导体3-D磁敏器件的设计与分析

本文将普通的双极型IC工艺用干磁敏器件的制作中,成功地研制了一种新型三维磁敏晶体管,并在理论和实验上分析讨论了其灵敏度、线性度和失调等问题.用该方法制作的器件对B_x分量的灵敏度S_(xx)较国外文献报道的高一个数量级.     

不锈钢压力传感器管座

文章介绍了不锈钢压力传感器管座的关键技术和工艺,对管座设计和工艺过程中易出现的难题进行了分析并给出了实现方法及其结果。这种管座在抵御10000PSI的高压下仍能保证高可靠的密封性能,因而适用性特别强。     

压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

本文介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性。使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的。     

Pressure Sensor of Fiber Optics Coupling Type

The principle of fiber optics coupling pressure sensor with micro-power dissipation is introduced as well as the use of two-way signal single fiber transfer(measure signal and reference signal)to conduct a proportional measure.It also discusses the adopted ways for improving the stability temperature drift and the noise of the mea-suring system.     

Presure Sensor of Fiber Optics Coupling Type

ＰｒｅｓｕｒｅＳｅｎｓｏｒｏｆＦｉｂｅｒＯｐｔｉｃｓＣｏｕｐｌｉｎｇＴｙｐｅ①ＷＡＮＧＺｈｅｎｃｈｅｎ（ＹａｎｓｈａｎＵｕｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｑｉｎｈｕａｎｇｄａｏ０６６００４，ＣＨＮ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆｆｉｂｅｒｏｐｔｉｃ...     

MOS触发器型集成压力传感器

触发器型压力传感器具有灵敏度高，压力测量线性范围可调和能输出数字量等特点，论述了这类新型传感器的工作原理和特性，并重点分析了噪声对传感器特性的影响。为了改善传感器的特性，实验采用三角波调控电压，可以有效地调节传感器的测量灵敏度度和线性范围。     

Optically—powered Optical Fiber Pressure Sensor of Diffused Silicon

In this paper an optically-powered optical fiber sensor for pressure mea-surement is introduced.Differential strain gauges of diffused silicon are emploped as sensing elements and a micro-consumption circuit is used in the probe.Pulse width modulation and pulse position modulation are adopted for signal processing.     

一种多晶硅高温压力传感器

制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好，精度高等特点，电路工作范围为０－２５０℃，且具有良好的温度稳定性。     

Stabilization of Intensity—based Optical Fiber Pressure Sensor

A practical optical fiber differential pressure sensor is presented at first Then the techniques of light source feedback,set up of reference channel,proportional measurement and other methods to improve the stability of the system as well as to reduce the interference with same nature are emphatically discussed.Finally,the experiment results of the developed instrument are given.     

集成pH－ISFET／压力传感器的研究

基于ＳＤＢ／ＳＯＩ材料和硅微机械加工技术，提出了一种含微参比电极和择优差分补偿单元的背面引线ＰＨ－ＩＳＦＥＴ／压力传感器的新结构。并且设计了高稳定的可调芯片自恒温系统，以减少硅材料对温度敏感的效应。这种结构既方便地实现敏感元和信号处理电路的完全隔离，又有效地改善了敏感特性和稳定性。初步实验结果证实了新结构设计是成功的。