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多孔硅制备工艺的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
多孔硅的发光性能与其制备工艺密切相关,本文着重讨论了阳极氧化技术、表面再处理、硅衬底的电学性质等因素对多孔硅质量的影响,给出了合适的工艺条件。 相似文献
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介绍了两种制备多孔硅的方法:电火花刻蚀法和激光辐射腐蚀法。讨论了这两种新方法制备的多孔硅样品的结构和发光特性,同时,与电化学法制备的多孔硅的结构和发光特性进行了比较。最后指出这两种新方法对于多孔硅形成机理和发光机制研究是有所帮助的。 相似文献
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剖析了多孔硅光致发光与温度有关的实验现象,提出了一个既通过局域在量子线上激子态复合同时又通过一热释过程后经表面态复合的并在不同温度范围起作用的综合发光机理,定性地解释了多孔硅发光的温度特性及其它实验结果。 相似文献
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利用水热技术原位制备出铁钝化多孔硅样品,并对其发光特性进行了测试。样品具有较强的光致发光强度,而且在室温空气存放过程中其发光强度不发生衰减,发光峰位不发生蓝移。上述发光特性归因于样品表面形成的良好铁钝化。 相似文献
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发光多孔硅微结构及其发光起源探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
用制备发光多孔硅样品的常规电化学方法,在未抛光多晶硅表面,成功地制备出了均匀地发射肉眼可分辨的可见光样品。样品的先致发光光谱得到了测定,证明是一种典型的多孔硅光致发光光谱。用扫描电镜对样品的表面形貌、截面结构进行了详细的分析,摄制出了发光多孔硅样品的完整多孔状微结构清晰照片。实验结果认为多孔硅样品可分成三层:表面层、多孔层、单晶硅衬底;而多晶硅表面上制备的发光样品只有两层结构:表面层、多晶硅衬底。文中认为多孔硅可见光发射应来自其表面层,而与层下的多孔层微结构无关。 相似文献
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介绍了多孔硅的形成方法及其机理。对国内外有关该材料在固体发光方面的研究现状和进展及其在光电器件上的应用作了讨论。 相似文献
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多孔硅(PorousSilicon)是晶体硅于氢氟酸溶液中在硅衬底上形成的多孔态的硅材料。PS可见光区的强烈光辐射使其成为世界范围的研究焦点。本文用电化学方法制得了PS结构,扫描电子显微镜(SEM)的结果表明PS是一个硅的毫微结构量子线的网络,光致发光(PL)谱表明PS发可见红光,而喇曼光谱显示一个在516cm(-1)附近的非对称峰,说明PS是一种新型的硅材料。 相似文献
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介绍了用阳极氧化腐蚀形成多孔硅的工艺,并分析了它的微结构,实验测定了多孔硅光致发光谱(PL),由PL谱的峰值位于可见光区,不同于Si的带隙能量;用纳米量子限制效应(Q-CE),解释了多孔硅中进入量子线中电子和空穴能量增量为ΔEc和ΔEv,于是多了孔硅有效带宽成为E=E。+ΔE。而E。是Si的带宽为l.08eV,ΔEc和上ΔEv分别为h2/4meq2和h2/4mhq2,由此计算与实验结果一致。 相似文献
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在可见光谱内,多孔硅的发光现象及其广阔的应用前景激发了人们对这种潜在光电子学材料的巨大研究兴趣。本文介绍了多孔硅的结构、制备方法和形成原理,着重从纳米结构量子尺寸效应的角度,讨论了多孔硅的能带展宽现象和可见光的发射机制,并评述了这种材料在实际应用中的重要价值与原型器件的发展状况。 相似文献
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Porous silicon prepared by pulse electro-etching is heat-treated in O2 atmosphere with an enhancement of its PL peak and an improvement of its PL stability. The PL peak of a sample porous silicon treated in O2 atmosphere at 1000℃ presents itself a three-peak structure and, compared with an un- heat-treated sample, there exists blue shift of ~ 40nm. 相似文献
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详细讨论了两种新的多孔硅发光机制理论(无序Si网络结构和聚硅烷/氢化物发光)以及相应的实验支持。通过分析多孔硅的各种发光机制和多孔硅微结构研究,作者认为多孔硅不是仅有一种发光机制,不同的微结构和成分构成会产生不同的发光机制,其中量子限制效应和聚硅烷/氢化物发光是受到较多实验支持的,分别有微结构和成分决定的发光理论。 相似文献
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用光致荧光谱、傅里叶变换红外光谱(FTIR)和扫描电子显微镜(SEM)对用阳极氧化法制成的多孔硅层在1%NH3/H2O2溶液中的腐蚀现象进行了研究。红外分析表明,Si-O键和H-O键的强度随NH3/H2O2溶液的腐蚀时间的增加而增加,Si-H键强主匠随腐蚀时间增加而减少。光致荧光谱的峰值在腐蚀开始时先下降后上升,半高宽变窄,谱峰的以边明显蓝移。分析研究表明,1%NH3/H2O2溶液对多孔硅层有腐蚀 相似文献