便携式呼吸机用微压传感器

为战场救护用的便携式呼吸机开发了一种量程为2kPa的小型微压传感器．为减小尺寸及冲击振动的影响，采用了微机械加工的方形平膜结构和梁膜复合结构。两种设计均能满足使用的要求．     

带补偿的光纤微压传感器

介绍一种用三根并排的光纤组成的差动补偿式微压传感器.传感器采用了差动补偿的检测方法,其输出不受光源强度波动、反射片反射率变化等的影响.该传感器在20kPa的测量范围内保持0.48%的线性度,长时间稳定性为0.2%/4小时.     

微压传感器制造中的硅杯腐蚀

<正> 一、前言 对于杯式扩散硅压力传感器来讲,硅杯是决定其性能优劣的关键部件。我们知道,工作压力P与硅杯的几何尺寸应满足下式要求: 其中,r为硅杯半径;h为膜片厚度;σ_c为硅的弹性极限,σ_c=8×10~7Pa。(1)     

单面多层结构硅微压传感器的研制

提出并利用“掩模－无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器，该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足，从结构上给予了改进，文中给出了理论分析和实验结果。     

使用微压传感器的不满管污水流量计研究与讨论

1引言随着城市工业化的发展，各工矿企业通过地下排水管道排放的污水量越来越大，如果不对其进行严格的监测与控制，不仅将使城市环境恶化，同时也将对人的身体带来危害。因此，应用先进技术，研制性能优良、使用方便、价格低廉、工作可靠而又具有一定通用性的工业污水流量仪表，已成为环境保护和工业生产部门的迫切需要。按排水工程的设计要求，在管道中排放的污水通常处于不满管流动状态，即处于无压管流状态。各工矿企业排放的污水又相当复杂，不仅会含有酸、碱、盐等化学有害物质，还会有固体颗粒、各种杂质以及悬浮物、漂浮物等。然而…     

微压传感器在全方位移动吸尘机器人中的应用

本文提出了一种采用气囊式微压传感器电路实现全方位吸尘机器人触觉的方案,使其能够行走以对复杂地域进行的清扫时,实现实时避障和对墙面,转角的逼近和跟踪等功能。介绍了两种对气囊压力的显示电路。     

压阻式压力传感器输出特性的补偿

在某型无人机高度传感器性能检测设备中,为解决压力的测量问题,设计了一种用于压阻式压力传感器(PRT)的信号调理电路,实现了对PRT传感器的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和满量程输出非线性等的高准确度校准和补偿。电路摒弃了以往传统的误差补偿形式,采用了一款新型信号调理芯片MAX1457,提出了软件补偿的方法,建立了误差校准补偿参数表,经过校准补偿传感器输出误差控制在了0.110%～0.158%。     

微压式液位传感器热灵敏度漂移的补偿

介绍了微压式液位传感器的工作原理、总体结构设计及热灵敏度漂移的补偿技术与方法,给出了补偿结果,验证了补偿技术与方法的有效性和可行性,为提高硅压阻式传感器的温度稳定性与准确度提供了一种实用有效的新方法。     

硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法

利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精度校准和补偿。传感器的输出精度达到了0.275%。     

用微机械加工技术制备Clark小型型氧传感器

用微机械加工技术制备Clark小型型氧传感器     

抗高过载微压传感器

在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >140倍满量程     

CYG600高温压力传感器

普通的压阻式压力传感器其敏感控测惠斯顿全桥的四个力敏电阻是用集成电路工艺制造的，电阻间用P．N结相互隔离。由于受到P．N结耐温限制，最高使用温度仅125℃，     

用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器

文中演示了一种高分辨率的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器及其制作方法,并利用该传感器实现了对化学气体的检测.通过传感器在线检测以及其它表征手段,验证了该传感器通过单分子自组装方法获得敏感层的可行性.经过Cu2 /巯基十一酸单分子自组装层修饰的微悬臂梁传感器可以对甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体进行快速响应,最小检测浓度可达数ppb(×10-9).     

多路超声波微压测量系统的研制

介绍应用超声波原理开发的一种集多路、高精度、快速数据采集处理和保存等功能于一体的智能化测压系统,以实现高效、准确、全自动多点微压测量。具体介绍微压测量系统的工作原理及硬、软件构成,并对该系统的测量分辨率、测量速度及可测量水柱的上下限值等作出评估。     

基于V-F变换的硅压阻压力传感器的处理电路

针对硅压阻压力传感器提出了一种基于电桥本身参数的温度自补偿方法,并设计了一种差分输入、双参数输出的高精度处理电路用以获得电桥参数。该电路用简单元件搭建差分输入的电荷平衡式V/F转换器,根据不同组态的频率输出解算电桥参数。该电路巧妙地利用差分输入方式消除了共模电压引起的误差,巧妙借用参考电阻消除了基准频率的影响,最终的输出频率只与被测量和参考电阻有关。经实验验证,电桥电阻的测量精度能达到0.0068%,经补偿后的压力传感器精度可达0.039%,相比补偿之前提高了一个数量级。     

MOS场效应管压力微传感器

阐述了一种MOS场效应管 (MOSFET)压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验 ,证明了MOSFET压力微传感器可通过简单的电压———电流转换原理 ,利用栅极电容的变化导致漏极电流与开启电压的变化而有效地测出作用于栅极膜片的压力的变化 ,具有较高的灵敏度与稳定性。     

压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统设计

针对触觉传感检测的实际需求,基于STM32单片机,采用分档分压与恒流源相结合的方法设计了一种压阻式柔性压力传感器阵列信号采集系统;基于串口通信技术设计了计算机信号读取与分析系统.设计开发的系统可以实现传感器阵列信号的实时采集、分析和存储,系统稳定性较好.采用标准电阻对研制的信号采集系统进行了性能检验,系统测量阻值与标准...     

一种航空配套微压传感器芯片设计及制备

针对航空领域微小压力测量需求,介绍了一种沟槽梁膜复合结构压力芯片的设计和制备方法。设计的压力芯片解决了传统硅压阻压力传感器灵敏度与线性度的固有矛盾,通过有限元分析可动膜片应力应变输出,并结合曲线拟合分析,提出了一种优化芯片可动膜片结构尺寸的设计方法。利用MEMS加工工艺,实现了沟槽梁膜双重应力集中结构压力芯片的制备。在量程0~1 psi范围内,传感器灵敏度30.9 mV/V/psi,非线性误差0.25%FS,综合精度0.34%FS,实现了灵敏度和线性度的同步提高,满足了飞行器高度、风洞测试等领域的微压测试需求。     

400MPa压阻式压力传感器

采用高强度合金膜片作为初始敏感元件来承受被测压力，再利用硅油将压力传递到压阻敏感元件上，经硅油传递后的压力要比被测压力小很多，从而可用低量程的压阻元件制成超高压力传感器。基于此原理，本文采用量程为２ＭＰａ的压阻元件，研制成了４００ＭＰａ量程的超高压力传感器。