多晶硅太阳电池双层SiN_x镀膜工艺研究

采用PECVD法,通过优化工艺参数,创新性地在多晶硅表面沉积了双层SiNx膜,并对其少子寿命、反射率及电性能进行分析。结果表明,对比传统多晶硅太阳电池生产采用的单层SiNx镀膜工艺,本工艺可有效延长多晶硅少子寿命、增强光谱吸收、降低多晶硅的表面反射率,其电性能明显提高,中短路电流提高了100mA,光电转换效率提高了1.34%。     

SiMx：H膜沉积气体压力与热处理温度的匹配性研究

采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺在多晶硅片上生长SiMx：H膜，研究了不同反应气体压力对SiMx：H膜层性能的影响，以寻求SiNx：H膜光学性能和钝化效果之间的平衡关系。在气体压力为0．25Pa时，SiNx：H膜的折射率和钝化效果均达到理想的范围，并经840℃热处理后钝化效果得到进一步提高，与烧结工艺温度相匹配。气体压力0．25Pa条件下沉积的SiMx：H膜制成太阳电池后开路电压和短路电流最高，电池性能最佳。     

SiN_x:Tb~(3+)薄膜中Tb~(3+)与银表面等离激元耦合

本文采用PECVD方法在石英衬底上生长不同剂量比的氮化硅薄膜SiNx,并利用离子注入方法在SiNx中注入Tb3+离子。然后通过在SiNx薄膜表面沉积银岛膜,研究了银表面等离激元和SiNx:Tb3+发光的相互作用。研究发现,银岛膜的存在降低了SiNx:Tb3+发光荧光寿命,而且SiNx:Tb3+发光荧光寿命随着银岛膜厚度的增加而减小。而氮化硅薄膜中的硅纳米晶也会影响Tb3+的光模密度,并对SiNx:Tb3+发光荧光寿命产生影响。     

低温沉积SiO2薄膜工艺的研究

利用等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）研究SiO2薄膜低温制备工艺,分析工艺条件对薄膜性能参数影响,通过调节射频功率优化薄膜应力,在150℃低温下获得接近零应力SiO2薄膜,薄膜沉积速率约为40nm／min,片内均匀性优于3％,折射率为1．46±0．003,并具有良好的附着力和抗蚀性能。由于沉积温度低,薄膜性能好,因此可以作为绝缘层或介质层,应用于柔性电子领域。     

PECVD法生长氮化硅工艺的研究

采用了等离子体增强化学气相沉积法(plasma-enhanced chemical vapor deposition,PECVD)在聚酰亚胺(polyimide,PI)牺牲层上生长氮化硅薄膜,讨论沉积温度、射频功率、反应气体流量比等工艺参数对氮化硅薄膜的生长速率、氮硅比、残余应力等性能的影响,得到适合制作接触式射频MEMS开关中悬梁的氮化硅薄膜的最佳工艺条件.     

射频功率对非晶硅薄膜光电性能的影响

采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术,在Coming Eg 2000玻璃上制备非晶硅薄膜,研究了射频功率对薄膜光电性能的影响.结果表明:通过调节功率可获得具有高折射率,高吸收系数,低暗电导率的非晶硅薄膜.     

等离子增强型化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响

等离子增强型化学气相沉积(PECVD)氮化硅技术是目前半导体器件在合金化后低温生长氮化硅的唯一方法.研究了由进口PECVD设备制备的氮化硅薄膜性质与沉积条件的关系,测定了生成膜的各种物理化学性能,详细探讨了各种沉积参数对薄膜性能的影响,提出了沉积优质氮化硅薄膜的工艺条件.     

铝膜沉积工艺对AIC法制备多晶硅薄膜的影响

采用真空热蒸发和磁控溅射两种方法沉积铝膜,通过对Glass/Si/SiO2/Al叠层结构进行铝诱导晶化(AIC)制备多晶硅薄膜。采用X射线衍射谱(XRD)、光学显微镜和拉曼光谱对样品进行分析,研究两种铝膜沉积工艺对AIC法制备多晶硅性能的影响。结果表明,采用两种方法沉积的铝膜均能诱导出(111)高度择优取向的大晶粒尺寸(～100μm)的多晶硅薄膜,但与磁控溅射沉积相比,真空热蒸发沉积的铝膜诱导出的多晶硅薄膜应力更小、结晶质量更高,且晶化速率更快。     

多层减反射膜对PERC太阳电池性能的影响

优化晶体硅材料的光学特性,可有效提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率.采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,在钝化发射极和背表面太阳电池(PERC)上成功制备出叠层结构的多层减反射薄膜提升硅材料的光学特性.研究结果表明,正面使用二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅作为器件的叠层介质膜,将SiO2/Si优良的界面性质和SiNx、氮氧化硅稳定的化学性质结合起来,使器件具有稳定的钝化特性.在叠层结构器件中,Si O 2作为缓冲层有利于减少光学损失和钝化表面缺陷态,薄的SiO2几乎不会对多层减反结构产生干扰.SiNx可以有效降低光在器件表面的光学反射率,增加光的透射从而减少器件本身的光学损失.氨气有助于强化氢气在硅片表面的扩散,降低长波的光学损失和降低表面复合速率.PECVD制备的氮氧化硅在短波区域具有很好的吸收效果,表面复合速率明显下降,有效提高器件的短波响应.与此同时,经过热处理的减反射薄膜还可以钝化器件的缺陷,最终提升太阳能电池的减反射性能和钝化性能.     

Ge1-xCx薄膜的制备及红外特性的研究

利用等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备出Ge1-xCx薄膜,并系统地研究了工艺参数对薄膜成分的影响,以及不同组分Ge1-xCx薄膜的红外光学特性.结果表明,薄膜中的C含量随着CH4/GeH4气体流量比的增大而增大;薄膜的红外折射率随组分的不同在2～4范围内变化;薄膜的沉积速率随射频功率增大而增大,但当功率达到60 W以后其变化不明显;沉积速率随温度的增加而减少;该薄膜具有透长波红外的性能.     

数字中间片系统概观

广义的数字中间片系统是处于胶片电影、数字电影及电视、DVD等多种媒体形式中心环节的用于电影后期加工的软、硬平台。本文对数字中间片在当前及未来电影后期制作中的作用和地位等作出了简要介绍。     

液晶显示器（LCD）防反射膜的开发

液晶显示器（LCD）的用途从电脑显示器、笔记本电脑到液晶显示电视（LCD-TV）不断发展,市场规模持续快速增长。关于LCD高精细度、高灰度、高对比度的各种开发连续不断。LCD表面保护膜以前多使用AG（Anti-Glare）膜,后来又上市了有上述作用的、可作为表面保护模的防反射（AR=Anti-Reflection）膜。该反射膜反射率低,并且表面物性高,本文介绍了产品设计和构成技术。     

Numerical ellipsometry: Analysis of thin metal layers using n-k plane methods with multiple incidence angles

A major challenge for those utilizing ellipsometry has been data processing of raw measured data. The least-squares numerical methods in common use are plagued by local minima and the multivalued functions in ellipsometry. Previously we have applied complex analysis in the n-k plane to improve ellipsometry modeling for growing films on substrates. The work presented here extends this new methodology to multiple angle measurements over a wavelength range spanning visible for thin absorbing metal films deposited on various substrates. Results show that the new method allows reflection ellipsometry determination of thin absorbing film thickness and properties without the need for additional measurements.     

果蔬保鲜膜的研究进展

果蔬保鲜应控制包装储存环境中O_2和CO_2的体积比,控制储存环境的相对湿度,及时排除果蔬在包装存储中释放的乙烯、乙醇等气体。果蔬保鲜膜主要有普通保鲜膜、微孔保鲜膜、防雾功能保鲜膜、可食性保鲜膜、硅窗调气保鲜膜和抗菌保鲜膜等。在果蔬保鲜的实际应用中,一般采用复合式保鲜法。多功能保鲜膜及可降解的无公害保鲜膜将是今后果蔬保鲜膜的发展趋势。     

薄膜润滑研究的回顾与展望

薄膜润滑是20世纪90年代以来广泛研究的新型润滑状态。它是界于弹流润滑和边界润滑之间的一种过渡润滑状态，有着自己独特的润滑规律。文章回顾了薄膜润滑的研究历史，包括薄膜润滑概念的提出、测试技术的发展、薄膜润滑的膜厚特性、润滑机理探索以及计算理论等方面的研究成果与主要进展。     

光学薄膜及其发展现状

介绍了传统光学薄膜的原理,并对反光膜、增透膜、纳米光学薄膜等传统光学薄膜的研究现状及应用情况,以及几种新型光学薄膜如高强度激光器、金刚石及类金刚石膜、软X射线多层膜、光电通信用光学薄膜的研究现状及应用进行了详细分析;最后对光学薄膜的发展前景进行了展望。     

一种新型的光学增透膜——DLC及改性DLC薄膜

光学增透薄膜是一种很重要的光学材料，传统的MgF2和ZnS增透膜具有强度低的缺陷，已经不能满足现代科技进步的需要。回顾了近年来关于DLC薄膜和CN薄膜光学性能的研究情况，讨论了改性的DLC薄膜用做增透膜的可行性。从理论和实践两个方面进行了探讨，结果表明DLC薄膜和CN薄膜在光学增透领域具有广阔的应用前景。     

TiO_2过渡层对Si基ZnO薄膜光致发光特性的影响

采用直流反应溅射法在Si(100)衬底上制备了有TiO2过渡层的ZnO薄膜,并与直接在Si上生长的样品进行比较。通过X射线衍射技术和光致发光谱等分别对ZnO薄膜的结构和光学性质进行测量和分析。测量结果表明,引入过渡层后ZnO薄膜的平均晶粒尺寸变大,晶粒间界变少,结晶质量提高,薄膜内的应力得到一定程度的释放。此外,室温光致发光谱表明过渡层使ZnO薄膜的紫外发射明显增强,并研究和分析了其微观机理。     

Synthesis of porous titania thin films using carbonatation reaction and its hydrophilic property

Super-hydrophilic porous titania thin films containing mesoscale channels were successfully synthesized by the carbonatation reaction. An amorphous Li-Ti-O film with a smooth surface was prepared on a glass substrate by radio frequency magnetron sputtering using a Li₂TiO₃ target in an Ar atmosphere. The as-deposited films were carbonated at 400 °C for 10 h in CO₂, resulting in the formation of Li₂CO₃ and the development of characteristic through-channels. After dissolution of the Li₂CO₃ in distilled water, porous TiO₂ thin films with mesoscale through-channels were fabricated. The obtained porous films had a large surface area and show a rapid decrease in the water contact angle or excellent super-hydrophilicity.     

壳聚糖复合保鲜膜成膜性能的改性研究进展

壳聚糖来源丰富,可被生物降解,制成薄膜后具有一定的透O2、CO2和透水蒸气的性能,有很好的保鲜和抑菌效果,若采用简单的物理共混和化学改性等方法制成多成分的复合膜以弥补单层壳聚糖保鲜膜的性能局限,将会满足不同食品的包装需要。本文从机械性能、阻隔性能、抗菌性能和生物降解性四个方面论述了复合保鲜膜成膜性能的改性研究,为复合保鲜膜的改性提供理论依据。