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首次将超声处理引入UV-LIGA工艺中,研究了超声处理对SU-8胶模溶胀的影响,并探讨了其影响机理,从而获得了减小胶模溶胀及提高电铸微器件尺寸精度的方法.试验研究了超声处理对显影过程及电铸过程中SU-8胶模溶胀的影响,分析了不同超声时间下SU-8胶表面亲水性的变化趋势,并计算了不同超声时间下胶模的溶胀去除率.讨论了超声处理对不同结构微器件尺寸精度的影响.试验结果表明:SU-8胶模在显影过程中的溶胀不明显,并且超声处理对显影过程中胶模的溶胀影响很小,其主要影响SU-8胶模在电铸过程中的溶胀.随着超声时间的增加,胶模溶胀及其表面亲水性均呈现先减小后增大的趋势.当超声时间为10 min时,胶模溶胀最小,其溶胀去除率a值可高达70%,并且超声处理后电铸微器件的尺寸误差与结构尺寸无关.根据超声波的机械断键作用与聚合物吸水机理,从亲水性和内应力两个方面,探究了SU-8胶模溶胀随超声时间的增加而变化的原因.文中提出的减小SU-8胶溶胀的方法不依赖于工艺参数也不会增加掩模图形设计的复杂性,是一种实用的减小SU-8胶溶胀的新方法. 相似文献
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建立了一个以模糊推理为基础的模糊神经网络模型,该模型采用了自组织竞争学习与BP算法相结合的混合学习算法。利用该模型进行了刀具磨损识别的实验研究,实验结果表明该模型能够可靠地对刀具磨损进行识别。 相似文献
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传统的SPC控制图,在实际制订中需要大样本,在新的制造环境中出现很多困难和局限性。应用神经网络,引入模糊理论可对不确定分类问题具有更多优势。试验表明,在大多数情况下,它比其它统计过程控制图表现出更快的探测性和更准确的诊断性。 相似文献
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文章首先介绍了温控系统的方案设计以及部分功能模块,然后介绍BP神经网络结构和模糊推理,在分析两者弊端的基础上提出将两者相结合的控制方法。本文还介绍了模糊神经网络的结构和学习方法,以及如何对训练样本进行预处理,最后利用matlab神经网络工具箱作为平台,通过测试样本仿真和试验,本设计的应用为实现快速、精确的温控系统提供了一种功耗低、经济有效的解决方案。 相似文献
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模糊神经网络技术在防摇控制系统中的研究与应用 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了将模糊神经网络用于起重机电子防摇控制器和模糊神经网络的实现,以及如何利用MATLAB中的神经网络工具箱对模糊神经网络进行训练.并以MATLAB/SIMULINK为仿真平台建立了电子防摇控制仿真模型,经仿真表明该系统的抗干扰能力强,满足防摇控制系统的设计要求. 相似文献
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基于模糊神经网络产品设计的可装配性评价 总被引:6,自引:0,他引:6
首先建立了基于模糊神经网络的可装配性评价模型,然后将产品的可装配性分为零件级可装配性和装配顺序级可装配性,并将影响零件可装配性的因素分为零件装配特征的对称性、零件易于装配的形状特征个数、零件易于识别和零件易于抓取的形状特征个数,将影响装配顺序可装配性的因素分为总的操作数.非装配操作、装配工具的更换次数、平行的装配任务的数量、基础件的重定向次数和装配方向,建立了评价指标体系。最后将评价模型应用于某产品可装配性的评价。 相似文献
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以城市相邻交叉路口为研究对象,提出了一种相邻交叉路口的神经网络模糊控制的方法.将相邻交叉路口看作一个大系统,第1级控制各个单交叉路口,调整各方向的绿信比;第2级协调单元利用各路口测得的交通流数据,确定相邻交叉路口的周期和相位差.应用MATLAB编写了仿真程序,仿真结果表明,该方法可以有效减少相邻交叉路口车辆的平均延误. 相似文献
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为了得到结构更加紧凑、泛化性能更强的自组织模糊神经网络,提出了基于粒子滤波(particle filter,PF)的自组织模糊神经网络训练算法.其能够对模糊规则进行自动生成和增删.文中给出了模糊规则生成准则,应用误差率下降方法作为模糊规则增删策略,删除作用不大的规则.建立了以隶属函数宽度参数为状态,以理想输出为量测的动力学模型,利用PF对参数进行了学习.最后,对两个实例进行了仿真,从仿真结果可以看出,与D-FNN、SOFNN、EKF-SOFNN等算法相比,其在结构紧凑性以及泛化性能上都得到了提高,从而证明了PF-SOFNN的有效性. 相似文献
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基于模糊神经网络的精密角度定位PID控制 总被引:3,自引:0,他引:3
针对精密角度定位系统存在非线性、时变性,传统PID控制难以获得理想控制效果的问题,提出一种基于模糊神经网络的PID控制方法,将模糊控制、神经网络与PID控制相结合,采用3层前向网络、动态BP算法,利用神经网络的自学习和自适应能力,实时调整网络的权值,改变PID控制器的控制参数,整定出一组适用于控制对象的kp、ki、kd参数,实现精密角度定位PID控制的自适应和智能化。实验结果表明,采用BP神经网络整定的PID控制较传统的PID控制,控制性能有较大的提高,能有效提高定位精度,缩短定位时间。 相似文献
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用UV-LIGA技术制造大通孔率精细镍网 总被引:1,自引:1,他引:0
高开孔率、大厚度金属精细网板的制造是网板业界的技术难题。分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点,并提出采用基于SU-8光刻胶的UV-LIGA技术来制备高开孔率大厚度精细金属网板的工艺思路。优选了关键工艺环节的操作参数,表征了试样的形貌特点,检测并分析了试样的相关性能。结果显示,采用优化的工艺条件(前烘65 ℃/20 min,95 ℃/20 min;适量曝光剂量;后烘65 ℃/10 min,95 ℃/15 min;匀胶后静置、随炉冷却;超声辅助显影等)所制备的六边形镍网(边200 μm),不仅开孔率高(88%),厚度大((120±3) μm),且具有尺寸精度高(形位误差±2 μm)、孔形一致性好(筋宽偏差<3 μm)、孔壁平滑等特点。结果表明,UV-LIGA技术是一种制备高通孔率、大厚度精细金属网的有效工艺手段。 相似文献