微机电系统测试技术及方法

微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。     

微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析

微机电系统的发展，对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术，难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究，将其与微细电铸等工艺集成，提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法，并从原理上验证了两者集成的可行性，为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径。     

微机电系统的进展分析与研究

系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统，微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺，以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路，使微机电系统的研究走向产业化，才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位。     

微机电系统集成设计方法与实现技术

针对微机电系统设计所存在的多学科交叉、周期长等问题，提出自顶向下设计与自底向上修正的双向微机电系统集成设计方法，将设计流程分为系统级、器件级和工艺级三个阶层；以微惯性器件为典型对象研究了各阶层的关键实现技术，并在此基础上构建微机电系统集成设计平台；所进行的硅微加速度计设计实例说明平台的设计流程可行，同时平台所具有的系统级、器件级和工艺级的多设计入口以及各阶层的全参数化驱动设计功能可提高微机电系统设计的效率。     

MOEMS器件研究及其应用

近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.     

微机电系统的机械学特性研究

目前微机电系统的研究成果主要侧重于制造加工工艺方面，而对微机电系统机械学特性的系统研究则显缺乏。在概述微机电系统发展状况的基础上，归结分析了微机电系统在组成结构、材料特性以及力学行为等方面异于宏观机械的一些新特征，并探讨了微机电系统的机械学特性。     

回转体刀具CAD/CAPP关键技术的研究

基于面向制造的设计思想,采用制造法造型技术对回转体刀具进行了三维形体设计,同时对造型过程中涉及的与加工制造密切相关的工艺数据进行提取与存储,最终自动生成工艺卡文件,实现了复杂回转体刀具的CAD/CAPP系统集成。     

《精密加工技术实用手册》王先逵 主编／2001

精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加工、微型机械与微型机电系统、精密测量及微尺寸测量技术、微位移技术、误差的在线检测与补偿技术、精密和超精密加工的支持环境及精密基础件加工等。     

几种新型集成硅微(型)传感器系统

介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺.     

快速原型制造技术在工业产品造型设计及制造中的应用

介绍了快速原型制造技术的原理、工艺、优点等,并对比分析了传统的工业产品造型设计及制造方法,通过对比分析说明利用此项技术进行工业产品造型设计及制造能大幅度提高设计及制造水平、缩短设计制造周期、降低设计制造成本,具有广泛的应用前景。     

微系统领域的关键技术

评述微系统的３维成形、空间运动机构制作和微作业技术。提出了微系统的定义,提出了它区别于宏系统、微电子系统的特点及这些特点对上述３个技术的影响。评述了ＬＩＧＡ、ＤＲＩＥ、ＥＤＭ、微浮雕、折叠法、ＲＰＭ６种３维成形法,并指出如何组合它们以适应激光学系统、微流体系统、微机构等商品化的配套需要。评述了微运动副的制造方法、带弹性变形件及柔性变形件的微机构设计原理和制造方法,并对它们的选择原则提出建议。评述了     

High-efficiency approach for fabricating MTE rotor by micro-EDM and micro-extrusion

Micro-gas turbine engine（MTE） rotor is an important indicator of its property, therefore, the manufacturing technology of the microminiature rotor has become a hot area of research at home and abroad. At present, the main manufacturing technologies of the MTE rotor are directed forming fabrication technologies. However, these technologies have a series of problems, such as complex processing technology high manufacturing cost, and low processing efficiency, and so on. This paper takes advantage of micro electric discharge machining（micro-EDM） in the field of microminiature molds manufacturing, organizes many processing technologies of micro-EDM reasonably to improve processing accuracy, presents an integrated micro-EDM technology and its process flow to fabricate MTE rotor die, and conducts a series of experiments to verify efficiency of this integrated micro-EDM. The experiments results show that the MTE rotor die has sharp outline and ensure the good consistency of MTE rotor blades. Meanwhile, the MTE rotor die is applied to micro extrusion equipment, and technologies of micro-EDM and micro forming machining are combined based on the idea of the molds manufacturing, so the MTE rotor with higher aspect ratio and better consistency of blades can be manufactured efficiently. This research presents an integrated micro-EDM technology and its process flow, which promotes the practical process of MTE effectively.     

快速成型技术及其在微机械制造中的应用

本文介绍了快速成型技术的基本原理、典型的成型工艺及系统,以及快速成型在产品设计、快速制模、快速铸造、医疗工程、三维复制及打印等方面的应用;报道了快速成型技术在微机械制造中的应用实例.     

Engineering surface and development of a new DNA micro array chip

This paper proposes a new concept of the ‘engineering surface’, which extends the conventional idea of a functional surface by combining it with micro/nano manufacturing technology. Characteristic features and possibilities of the engineering surface are discussed in detail. This paper reviews studies on micro/nano fabrication technologies for advanced materials and evaluation technology for surface function. New fabrication technologies, micro machining and nano forming, are introduced, which will be basic manufacturing processes of the engineering surface. Also, a new surface evaluation technique is introduced for the surface energy of the nano fabricated surface. Design of a new DNA micro array chip is introduced as an example of applications of the engineering surface. Controllability of surface property by nano fabrication is studied.     

宏/微双重驱动机器人系统的研究现状与关键技术

宏／微双重驱动机器人系统的综合性能优于采用单一驱动方式的机器人系统。在总结了宏／微双重驱动机器人系统的概念、特点、组成结构的基础上，分析了该领域国内外的最新动态及其关键技术，为宏／微双重驱动机器人的进一步设计与开发提供了翔实的信息与参考依据。作为对宏／微技术的总结与应用，提出了一种新颖的集成式宏／微双重驱动柔性并联机器人系统，可在立方厘米级的工作空间内达到纳米级的运动精度。     

制造设备与系统的微型化技术

微型工厂是小型产品制造系统的一个创新概念.本文介绍了微型工厂概念提出的背景和科学意义,阐述了目前微型工厂微型制造系统的研究发展概况,探讨了制造设备与系统微型化技术的关键问题,并且提出了一些需要开展的研究方向.     

功能结构器件的离散-堆积制造方法

功能结构器件的加工过程要求实现多种材料组分的梯度分布和内部微结构的构造。通用的自顶而下，整体控制局部的制造方法有着很大的局限性。快速成形技术提出了离散-堆积的降维制造思想，在直写技术的辅助下，可以通过对材料的微单元操作，实现功能结构器件的堆积制造。     

A review of the techniques for the mold manufacturing of micro/nanostructures for precision glass molding

Micro/nanostructured components play an important role in micro-optics and optical engineering, tribology and surface engineering, and biological and biomedical engineering, among other fields. Precision glass molding technology is the most efficient method of manufacturing micro/nanostructured glass components, the premise of which is meld manufacturing with complementary micro/nanostructures. Numerous mold manufacturing methods have been developed to fabricate extremely small and high-quality micro/nanostructures to satisfy the demands of functional micro/nanostructured glass components for various applications. Moreover, the service performance of the mold should also be carefully considered. This paper reviews a variety of technologies for manufacturing micro/nanostructured molds. The authors begin with an introduction of the extreme requirements of mold materials. The following section provides a detailed survey of the existing micro/nanostructured mold manufacturing techniques and their corresponding mold materials, including nonmechanical and mechanical methods. This paper concludes with a detailed discussion of the authors recent research on nickel-phosphorus (Ni-P) mold manufacturing and its service performance.     

聚晶金刚石微细立铣刀设计有限元优化分析

微细立铣刀的设计制造是微细铣削的关键技术。该文在对近年出现过的聚晶金刚石微细立铣刀进行结构分析的基础上,总结出PCD微细立铣刀设计的总体原则和具体要求,确定其设计制造的一般步骤。按照这个步骤,设计出PCD微细立铣刀结构（微细立铣刀刀头结构、微细立铣刀刀柄结构）,利用ANSYS对微细立铣刀进行结构静力学分析和模态分析。