电容加速度计的接口电路

电容硅微型加速度计可以采用静电力平衡结构来构成。这种闭合回路结构可通过改变反馈因数形成不同的测量范围。这样,用同一个加速度计可以测量从1μg—1g的输入加速度;同时可以包含一个调节器电路来修整闭环频率响应,从而达到理想的带宽与阻尼因数。 接口电路起开关电容器电路的作用,它以±5V双电源工作。给出了一个数值例子来说明这一理论。     

声加速度计

本文讨论了近年来研究的一些声加速度计的特性。这些加速度计采用压电晶体和微型机械悬臂梁作为谐振元件,而悬臂梁内含压电电容器,压阻电路,或声表面波振荡器。另一些加速度计采用一种具有闭环伺服电子线路的力再平衡技术。加速度计的灵敏度受重量和频率响应的限制,电压型加速度计灵敏度可达300mV/g,SAW加速度计可达10000Hz/g。动态范围达10~7,频率比例系数稳定性达10~(-3)ppm时,加速度计的测量范围为10μg—200000g。加速度计可以是分离的、混合集成的或整体的。     

压电石英晶体线加速度计

加速度计是惯性制导和惯性导航等应用中重要的传感器之一,其原理和结构多种多样.本文详细介绍了新近研制的悬臂梁式压电石英晶体线加速度传感器.实验表明:分辨率优于10~(-2)m/s~2,非线性度低于1%,测量上限可达1000m/s~2.     

隧道加速度计的发展概况

利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理，特点及发展趋势。     

高性能可变电容加速度计

本文介绍一种采用硅微加工技术制作的可变电容式加速度传感器.传感器采用了中位面、平面片悬置,气体阻尼和过量程止动.传感器由三块硅基片制成,硅基片采用了阳极粘合技术粘到硅酸盐玻璃镶嵌物上.典型的传感器有效电容为7pF,修正电容为3pF,响应为0.05pF/G,谐振频率为3.4kHz,阻尼临界值为0.7.采用这种传感器的加速度计具有极好的灵敏度和带宽,以及显著的耐冲击性能.     

全密封硅电容式加速度计制作技术

介绍了全密封硅电容式加速度计的结构，阐述了高平面度平行度的不粘片研磨抛光方法，硅的各向异性刻蚀工艺和静电静接技术，并对测试结果进行了分析讨论。     

微机械加速度传感器

对于传感器来说,没有一种比汽车的环境条件更为恶劣的,在汽车中所遇到的是尘埃脏物,不同的液体、振动、以及极端的温度(零下40℃到零上85℃.发动机罩里的温度甚至达到零上125℃)。在这样的条件下,要保证传感器的使用寿命达到10年以上。电子模块必须能应付变化的供电电压,承受各种不同的干扰脉冲。大批量的件数生产必须保持相同的质量.自然还要考虑到最低的价格。适合最低价格传感器的微机械目前有一种新技术是以硅为基础的微机     

微硅加速度传感器的发展

本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十代发展至今,其代表产品的特点,对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析、指出其优缺点,并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度的三维加速度计进行了重点讨论。     

介绍一种校准加速度计的新装置

1 概述 迄今为止,国内外校准加速度计所用的冲击摆有两种:一是单摆(数学摆),即冲击摆装置的激振摆(锤摆)与接受摆(砧摆)均为单摆构成;二是复摆(物理摆),即冲击摆装置的激振摆与接受摆均为复摆。在校准过程,这两种装置的优点是均能避免重力加速度g的影响,产生单次准半正弦波的冲击加速度,但其参数范围较窄,其加速度幅值可达5～500g,而其加速度脉冲持续时间约为2ms～40ms。     

振动试验台检定与压电式加速度计

论述了振动试验台检定的意义以及如何在振动试验台检定中合理选择和使用加速度计 ,以减少测量误差 ,获得高真实度和高可信度的检定结果     

微机械热对流加速度传感器可靠性研究

介绍了一种新型的微机械加速度计——热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺。由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成，其本身没有活动部件，因此这种加速度计的抗冲击能力几乎达到材料本身的强度。本文通过实验的方法验证了这种加速度计能适应各种恶劣环境，为器件的实用化奠定了基础。     

汽车SRS中速度传感器及应用

本文介绍汽车ＳＲＳ加速度传感器研制现状、基本结构原理、控制系统以及常用的控制算法，具体讲述摩托罗拉生产的ＭＭＡＳ４０Ｇ的应用，并对汽车ＳＲＳ加速度传感器的发展和市场作了展望，这是一种实用性强、市场前景好的微电子产品。     

石英挠性伺服加速度计的原理与应用

石英挠性伺服加速度计是具有国际先进水平的新型高级传感器。它精度高、长期稳定性好、体积小巧。是对加速度、速度、距离、摇摆、振动、倾斜等物理量敏感、测量、控制方面的换代产品。谁先掌握了它,谁将在这个领域内领先一步。     

用加速度计测量冲击和倾斜

由于加速度计具有从直流到400Hz的宽频率响应,因而可以用来测 量源自地球引力的静力加速度和源于冲击的震动或振动。本设计应用Motorola公司的MMAS40G10S加速度计,产生最小范围为-40G到+40G的加速度。倾斜测量概念 要测量一个目标的倾斜或取向,要求加速度计必须能对直流力作出响应。对于诸如压电之类不具有任何直流响应的技术来说这是不可能的。如图1所     

具有中性浮力的水下压电加速度计的研究

具有中性浮力的水下压电加速度计采用沿径向弯曲振动的压电陶瓷圆片作为敏感元件，它由粘接在一金属圆盘基座上的两片压电陶瓷圆片组成核心元件，用金属外壳实现边界支撑，外部由低密度复合材料包敷从而呈中性浮力。这种加速度计可直接测得水下声场中水质点的振动加速度。作者研制的加速度计高0．028m、直径φ0．074m、总质量0．12kg、密度990kg／m^3，其电压灵敏度为-24dB(0dB-1V／g)t电容量为2.4nF，谐振频率13kHz，工作频带20～5000Hz。     

正确地连接和使用加速度计

加速度计在汽车测试的许多方面得到了应用,这是因为车辆的各个系统都必须在每天的使用中经受得住冲击和振动。借助加速度计,工程师们能够测量一台车辆的车身、框架、悬挂,甚至座椅等怎样对它们在道路上所受到的各种力作出反应。 加速度计产生正比于向量加速度的信号(电压或电荷)。大多数加速度计在一个向量中动作,但也有三轴式     

加速度计振动陀螺

叙述了能同时敏感运动物体线加速度和角速率的加速度计陀螺的原理、结构及微机械加速度计陀螺的性能。