18—20GHz体声波微波延迟线

给出了利用换能器旁瓣响应得到的体声波微波延迟线在１８－２０ＧＨｚ频率范围内的频域及时域性能，其最小插入损耗为８３ｄＢ，延迟时间２００ｎｓ，并对器件插入损耗进行了分析。     

微波体声波延迟线的电磁屏蔽

本文分析了微波体声波延迟线多层介质的电磁屏蔽效应，结果表明，全屏蔽方式可以有效地解决微波延迟线研制中的直通抑制问题。实验结果证实了理论分析。     

一种新型50 MW全固态高压纳秒脉冲源设计

介绍一种输出功率50 MW的新型全固态高重频高压纳秒脉冲源设计,提出了一种高压纳秒脉冲源线路功率合成设计实现新方法,并用实验证实了该方法的有效性和可行性,实现了全固态、高重频、高压、纳秒脉冲源的高功率输出,满足了实际应用需求.解决了输出功率50 MW全固态纳秒脉冲源设计实现方法、多个高压纳秒脉冲源的高精度同步(小于50 ps)、高稳定全固态高压纳秒脉冲源单源模块设计、系统设计的电磁兼容等关键技术问题.采用该线路功率合成新方法设计的高压纳秒脉冲源将为先进高性能小型全固态高重频高压纳秒脉冲源设计提供基础技术支撑.     

精密长延迟纳秒高压脉冲源

介绍一种为大电流开关点火的精密长延迟纳秒高压脉冲源的研制。采取低压固体电路与大小氢闸管电路的合理配置，较好地解决了精密长延迟和高压脉冲输出时低延迟时间晃动的难点。该源具有延迟时间晃动小和可调的精密长时间延迟、上升时间小和幅度大的脉冲输出、抗强脉冲干扰等特性。     

基于SOS的高重频高压纳秒脉冲源设计

依据高重频高压纳秒脉冲输出的要求,基于半导体断路开关(SOS)的工作特点,设计了高重频高压纳秒脉冲源脉冲发生器线路。分析发生器线路的工作原理,对输出脉冲幅度50 kV/100 Ω、脉宽约10 ns~20 ns和重复频率100 kHz脉冲源的线路中关键器件的参数进行了计算。分析关键器件SOS、饱和脉冲变压器、副开关要求,给出了关键器件的选型参考。     

C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证

介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微机电系统(MEMS)工艺制备与凸点式晶圆级封装实现滤波器制备。研制出标称频率5 800 MHz、插入损耗小于2.8 dB、阻带抑制大于40 dBc、体积仅1.0 mm×1.0 mm×0.35 mm的C波段宽带薄膜体声波滤波器。     

一种先进高压纳秒脉冲功率合成器设计

提出了一种基于先进高压纳秒脉冲线路功率合成器设计全固态高重频高压纳秒脉冲源新方法,并用实验证实了该方法的有效性和可行性,实现了全固态、高重频、高压、纳秒脉冲源的高功率输出,满足了实际应用需求。解决了全固态高重频纳秒脉冲线路功率合成、多个高压纳秒脉冲源的高精度同步(小于50ps)、高稳定全固态高压纳秒脉冲源单源模块设计、系统设计的电磁兼容等关键技术问题。该高压纳秒脉冲线路功率合成器新方法将为高功率先进高性能小型全固态高重频高压纳秒脉冲源设计提供技术参考。     

基于TLT的高频高压脉冲源研制

文章研究了TLT的相关机理,着重对四阶TLT进行了详细分析与研究,并设计与制作了四阶TLT,最后通过相关实验验证,成功实现了四阶TLT的理想增益以及400KHz下的高压脉冲输出.     

体声波传感器的系统级行为仿真

为证明六端口网络可用于体声波(BAW)传感器读出电路,对包含薄膜体声波谐振器(FBAR)和微带六端口网络的BAW传感器最小系统建立等效电路模型。在ADS软件中对FBAR建立Mason等效电路模型和对微带六端口网络建立等效电路模型。微带六端口网络的端口1连接射频源,端口2与FBAR相连,其他4个端口分别连接4个50Ω的电阻用于读取功率;在Matlab软件中分别使用根心解法和平均解法对FBAR的反射系数进行求解,解得两条反射系数与频率曲线,分析得到了两种反射系数近似计算方法的优劣,并分析了六端口网络工作频带的增宽方法。仿真结果表明,微带六端口网络能准确测量出FBAR的反射系数与频率曲线,证明六端口网络可用于BAW传感器读出电路。     

采用PZT薄膜的体声波RF滤波器设计

在分析体声波滤器的原理、结构及相关参数的基础上,结合锆钛酸铅薄膜的材料特性,提出了一种射频体声波滤波器设计。设计中考虑了衬底、电极的质量加载对中心频点的影响,模拟了不同连接方法下滤波器的频率特性,探讨了薄膜材料的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化。     

高可靠性声体波微波延迟线研究

通过优化换能器设计和采用双面光刻、超声键合和密封封装等技术,研制出中心频率f0=4 300 MHz,-3 dB带宽Δf-3 dB≥200 MHz,延迟时间Δt=0.358μs的声体微波延迟线。通过试验验证,该产品具有高可靠性和良好的环境适应性,取得了满意的实用效果。     

Ku波段高性能声体波微波延迟线的设计与优化

通过优化换能器拓扑结构、腔体结构和可调的微带匹配网络设计,研制出中心频率14 000 MHz、带宽1 500 MHz及延迟时间0.5 μs的Ku波段声体微波延迟线.该产品的插入损耗为-56 dB,直通抑制大于45 dB,三次渡越抑制大于55 dB,产品综合性能指标优异.     

16～17 GHz体声波延迟线技术研究

通过优化高频低损耗换能器设计、极薄压电薄膜生长、微波网络匹配、高频气密封外壳的电磁兼容设计等技术,研制出了工作在16～17 GHz的微波声体波延迟线,其带宽为1 098 MHz,延迟时间0.34 μs,插入损耗-54 dB,三次渡越抑制28 dB,直通抑制44 dB.     

声表面波延迟线

声表面波延迟线是在雷达和通信系统中应用非常广泛的器件.文中结合实用声表面波延迟线器件的设计实例,介绍了折叠式固定延迟线结构原理和设计计算,克服了传统延迟线受基片材料长度和器件尺寸的限制,满足了雷达、通信等电子设备中对电信号的长延迟需求;同时还讨论了为满足超高频的应用需求和增加相对带宽,所采用的谐波和倒相换能器的设计方法.     

声表面波延迟线的优化设计

在现代雷达和通信系统中,声表面波延迟线是应用非常广泛的器件,与此同时,对该器件的技术要求也越发严格,以至于常规的声表面波延迟线很难满足。介绍了4种声表面波延迟线的优化设计方法,克服了传统延迟线受器件尺寸和基片材料长度、相对带宽及多路延迟的限制,满足了雷达、通信等电子设备中对电信号的长延迟需求,为声表面波延迟线设计提供了参考。     

高性能C波段声体波微波延迟线

通过优化换能器拓扑结构和匹配网络设计,研制出f0=4.3 GHz,Δf-3 dB≥200 MHz,Δt=0.358μs的C波段声体微波延迟线。该产品的插入损耗约为-22 dB,直通抑制大于40 dB,三次渡越抑制大于28 dB,回波损耗约为-16 dB,产品综合性能指标优于国外同类产品。     

一种基于声体波延迟线的机载雷达校准系统

根据机载雷达校准原理,比较三种地面静态有源校准方法,分析基于声体波延迟线的机载雷达校准系统的特点,并且通过工程应用验证其实用性.     

基于BAW微波延迟线的雷达距离标定模块研制

针对目前雷达距离零点标定存在的问题,提出了一种基于声体波微波延迟线构成的雷达距离标定模块的方案,以及在设计上降低声体波(BAW)微波延迟线插入损耗,增长延迟时间,扩展工作频率范围的方法,并以此研制了一种能用于多种雷达的通用距离标定模块。实际测试结果表明,基于声体波微波延迟线构成的雷达距离标定模块测试精度高、对场地要求低,可广泛用于雷达生产和维修。     

一种采用IDT技术的新型高频声体波换能器

压电晶体一液体界面的叉指换能器在一定频率的电信号激励下将仅向液体介质中辐射声体波，可将这一效应用于高频声体波超声换能器的制作。通过分析与计算压电晶体一液体的界面有效介电常数虚部，可确定出叉指换能器仅向液体中辐射声体波的表面慢度。根据待激发声体波的频率和慢度，可得到叉指换能器仅向液体中辐射声体波时的周期。考虑到叉指换能器直接接触液体并向液体中辐射声体波，可在叉指换能器表面敷设一层SiO3薄膜以保护电极。该类换能器的最大优点是不需匹配层而直接向液体中辐射声波，其工作频率上限原则上只受声表面波工艺限制。设计并制作出频率为31．5MHz的声体波超声换能器，实测了频响，与理论相符。