超精密测量技术动态

始于60年代后期的超精加工技术,如今已在许多领域得以实用化;而超精密测量技术,则是评价超精加工技术的必不可少的手段。     

复合型超精密表面形貌测量仪

研制了基于同一显微镜基体实现原子力探针扫描测量与非接触光学测量两种功能的复合型超精密表面形貌测量仪.分析了基于白光显微干涉原子力探针的测量方法、探针微悬臂变形量与白光干涉条纹移动量的关系以及探针微悬臂测量非线性误差的修正方法,和通过融合垂直扫描系统的位移量和悬臂梁变形量得到了原子力探针的工作方式.研制了三维精密位移系统...     

超精密测量是支撑光刻机技术发展的基石

光刻机是尖端装备的珠穆朗玛峰。超精密测量是支撑光刻机产品研发与制造,保证光刻机产品制造精度等级与质量水平的基石。本文综述了光刻机产业的特点与发展趋势。在此基础上,从零部件、分系统、整机集成、整机性能层面阐述了超精密测量对光刻机技术发展的支撑作用。分析了光刻机产品精密能力提升的途径和超精密光刻机产业测量体系建立的必要性,包括管控超精密光刻机产品制造质量的工业测量体系和管控光刻机产品工业测量体系量值准确可靠的计量体系。提出了建设光刻机产业计量测试中心的必要性。     

基于光栅干涉相位移动扫描的超精密测量方法

精密定位技术作为精密制造和精密装备的基础,一直制约着我国精密制造和精密装备产业的发展,而纳米级的位移测量技术又是制约精密定位技术发展的一个重要原因.研究了一种基于光栅干涉相位移动扫描原理的纳米级位移测量系统,利用光栅干涉仪实现光学四倍频,再利用条纹移相机构实现信号的进一步细分,获得亚纳米级的测量分辨率.     

电机转速的精密测量

本文介绍了一种应用单片机技术测量电机转速的新方法,具有测速范围宽和测量精度高等特点。     

超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题

介绍超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题;二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术,无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些问题代表了目前超精密测量技术和仪器工程研究的发展趋势,优先发展仪器单元技术和解决关键技术是促使仪器工程精度水平迅速提高的关键。     

超低频电压的精密测量

介绍一种以8031单片机和AD1674模数转换器为核心的高精度超低频数字电压表的测量原理、硬件电路和软件设计.     

基于阈值判定法的白光干涉仪自动扫描技术研究

为了解决实际操作中人工寻找干涉条纹费时、不准确和干涉扫描范围难以精确确定等问题,提出了一种自动扫描技术,实现了白光干涉仪的自动对焦和干涉扫描范围的自动确定。该技术采用全新的基于图像灰度方差变化的方法。首先,计算图像灰度方差变化比值;然后,将该比值与预先设定的阈值进行比较,判断干涉条纹初始和结束位置;最后,根据这两个位置自动确定干涉扫描范围。实验证明:当阈值取0.5时,采用粗精双级结构的白光干涉仪能在3min内准确完成1.2μm被测高度的自动扫描过程,约是手动调节速度的两倍。该技术提高了白光干涉仪的自动化水平及使用效率。     

精密和超精密加工技术的新进展

精密和超精密加工技术的发展,直接影响尖端技术和国防工业的发展。世界各国都极为重视,投入很大力量进行开发研究,故近年来发展迅速。本文介绍了国内外精密和超精密加工技术各主要领域的最新进展:精密和超精密机床的新发展,超精密切削机理和金刚石刀具的研究,精密镜面磨削和研磨技术的新发展,非球曲面精加工技术的发展以及微型机械制造中的精微加工技术的发展;提出我国应重视精密加工的研究,加大投入,加速提高我国精密和超精密加工技术水平。     

三坐标精密运动平台底座的设计

在超精密加工中，大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾，也是多坐标超精密加工的难点。文中以建成较大尺度三维结构的制造系统原型机为目标，进行了三坐标精密运动平台底座的设计工作，运用ANSYS软件完成了平台的静态变形和动态特性的分析，通过对平台的设计方案进行比较，完成了运动平台底座的设计。     

精密微小内尺度测量技术研究进展

针对微小内尺度的精密测量问题介绍了非接触式、补偿式与瞄准触发式等几种测量新技术。分析了每一种测量技术的测量机理,通过对其结构设计分析得出该技术适用的测量范围,并对其测量性能进行了讨论;重点分析了瞄准触发式测量技术,并对其性能进行了比较。最后对微小内尺度的精密测量发展方向进行了总结。     

国内外精密加工技术最新进展

介绍了精密和超精密加工技术各主要领域国内外的最新进展。提出应重视精密加工的研究和加大投入,加速提高我国的精密和超精密加工技术水平。     

基于计算机视觉的精密测量技术

精密测量技术是精密工程领域研究的一项重要内容。具有测量精度高、测量速度快等特点的计算机视觉方法在精密测量技术中得到了广泛的应用。本文首先介绍了基于计算机视觉的精密测量技术的基本原理,然后分析了该精密测量方法的几个应用实例。最后,以计算机视觉方法在微运动测量中的应用为例。表明了该方法在精密测量技术中的优越性。通过分析,揭示了基于计算机视觉的精密测量技术在精密工程领域的重要性。     

精密与超精密磨削关键技术探讨

目前普通磨削正在向着精密与超精密磨削方向发展。探讨了精密与超精密磨削的关键技术,提出其未来发展趋势与研究方向。     

超精密加工技术的发展及对策

介绍超精密加工及其应用背景,发展动向,以及超精密加工关键技术的一些最新成果,从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化,廉价化发展趋势,同时就如何发展诸如模块化部件,执行系统,测量控制和环境控制等超精密加工关键技术提出一些新的观点和方法。     

人体三维扫描技术研究

三维人体扫描技术是集光、机、电于一体的先进非接触式测量技术,在医学、影视业、服装业等众多领域有着广泛的应用前景。介绍了三维实物扫描的三种基本方法,比较其优缺点及适用场合,得出适合人体的三维扫描技术。     

从Control 2008看精密测量技术的发展

首先对在斯图加特举办的Control 2008博览会进行了回顾，总结了在展会中所展现出来的精密测量技术的新技术和新进展，最后对精密测量技术的发展进行了展望。