《精密加工技术实用手册》王先逵 主编／2001

精密加工和超精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是一个国家制造工业水平的重要标志之一。本书分4篇共14章，内容包括总论、精密加工常用材料、超精密车削、精密和超精密磨削、光整加工、超精密加工机床、精密特种加工及微细加工、微型机械与微型机电系统、精密测量及微尺寸测量技术、微位移技术、误差的在线检测与补偿技术、精密和超精密加工的支持环境及精密基础件加工等。     

超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题

介绍超精密测量技术与仪器工程研究中的几个热点问题;二维和三维微小内尺度精密和超精密测量技术、超精密三维轮廓与坐标测量技术,无基准三维轮廓测量技术、超精密回转基准和直线基准技术、大输出力、高稳定性超微驱动技术等。这些问题代表了目前超精密测量技术和仪器工程研究的发展趋势,优先发展仪器单元技术和解决关键技术是促使仪器工程精度水平迅速提高的关键。     

测长机述评

测长机是用于测量大型零件和量具尺寸的精密长度计量仪器。它的类型是以测量所采用的基准器种类而定义的。目前市场上常见的测长机有三个类型光学测长机、激光测长机、光栅测长机。贵阳新天光电科技有限公司（原新天精密光学仪器公司）是集研制、生产、销售光、机、电、算一体化精密计量仪器的大型综合性高新技术企业，有着近40年的光学计量仪器专业研究和制造经验，属国家一级计量单位。多年来一直被列为市级、省级、国家级重点发展企业。通过IS09001：2000国际质量管理体系认证和ISO10012-1计量确认体系评审，所研发的产品项目多次荣获省级、部级及国家级科技成果奖。     

测量室透明管理模式研究

在制造企业转型发展与工业4.0浪潮推动的大背景下,制造型企业对于零件质量精密控制的要求也愈发提高。测量室作为一个制造型企业零件质量控制的主要抓手,起到了举足轻重的作用,其管理模式作为整个测量室运营的核心显得尤为重要。本文结合上海大众动力总成有限公司质量分析中心精密测量室建设的实际情况,从现代工业技术发展对于测量室建设的意义与现有管理模式的局限性两点出发,探讨了管理模式、基础理论、业务发展和企业需求的交叉点,分析了建设测量室透明管理模式的必要性,并且从测量室定位、设备资源优化、业务拓展等多方面诠释了对于管理模式方面的思考。     

几何量工业测量的现状与发展

工业测量不仅是要获取产品质量状态信息,还将成为工业4.0等未来制造模式中的赛博化系统(CPS)的一个重要信息源。然而,工业测量涉及到一个庞大的技术体系,包括误差/公差的定义、检测的方法、评定的方法、多种测量方法测量结果的比对、测量系统构建及能力评估、产品质量符合性判定及验收等,其背后则是一套完整的国家/国际标准以及严格的测量过程管理体系和产品验收流程。以产品的几何量质量及检测为对象,从计量/检测的原理和方法角度,基于目前最先进的质量设计和控制的理念与方法,探讨了工业测量背后的标准体系及其相关理论与方法。分析和研讨了现代工业测量技术及其发展中涉及的相关技术问题、国内外工业测量技术目前的应用现状,并对工业测量技术的发展进行了探讨。     

超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统

面向浸没式光刻机双工件台的超精密位置测量应用需求,提出了一种超精密空间分离式外差利特罗平面光栅编码器位移测量系统.给出了测量系统的原理与方案设计、系统各部件的设计及制造、编码器测量原理推导及实验验证等.所设计平面光栅编码器位移测量系统的相位卡的细分率为4096,测量分辨率为x50 pm/z25 pm.实验结果表明:该平...     

面向浸没式光刻机的超精密光学干涉式光栅编码器位移测量技术综述

超精密平面光栅编码器位移测量技术是32～7nm节点浸没式光刻机的核心技术。通过分析浸没式光刻机平面光栅位置系统的需求和布局,提出了光刻机专用超精密平面光栅编码器的基本需求。针对现有的光栅编码器,开展了基本测量光路方案、相位探测方案、分辨率增强光路方案、离轴/转角允差光路方案、死程误差抑制光路方案的综述分析,提出了现有设计方案面向光刻机应用所需要解决的关键问题。面向亚纳米级测量精度的需求,针对光栅编码器的仪器误差,对周期非线性误差、死程误差、热漂移误差和波前畸变误差进行了综述分析,提出了平面光栅编码器实现亚纳米精度所需要解决的关键问题。本综述为光刻机专用超精密平面光栅编码器的研制提供了参考。     

超精密测量技术冲破“封锁线”

正南极天文望远镜、空间引力波探测装置、极大规模集成电路制造装备要依靠超高精、光刻机度的测量…仪…这一系列关键装备的加工制造器对大量光学元件的各项参数进,都需行测量。以往,超精密测量技术受到国外封锁,成为制约高端装备制造发展的瓶颈问题近日工。,由上海理大学光电学院庄松林院士领衔的韩森教授团队与苏州慧利仪器有限责任公司共建联合实验室所研发的国产化高端产品--数字化激光干涉仪进展顺利。     

现代精密测量技术现状及发展

精密测量是先进制造发展的前提和基础,作为智能制造的眼睛,极大地提高了生产效率、降低了生产成本,直接推动了人类社会发展。在制造信息化大背景下,作为先进制造的先导技术,精密测量方法与仪器技术必须超前或在先进制造基础上提出新的发展趋势,为先进制造精密化、集成化、智能化发展提供信息支撑。概述了工业生产与科学研究中的现代精密测量技术发展现状和研究内容,着重叙述了应用于精密检测的最新技术、精密测量如何从实验室走向生产现场、精密测量技术的未来及发展方向。     

非球面曲面光学零件超精密加工装备与技术

"Nanosys-300非球面曲面超精密复合加工系统"是 "九五"重点预研课题-"非球面曲面的超精密加工与测量技术"的主要研究成果.重点对非球面曲面光学零件超精密加工机床,非球面曲面光学零件超精密加工工艺,非球面曲面光学零件超精密测量技术进行了研究.其主要技术成果有:非球面超精密复合加工系统综合设计和制造技术,高速超精密空气静压主轴系统,超精密闭式液体静压导轨系统,高速超精密空气静压磨头电主轴系统,开放式高性能数控系统集成技术等.系统的精度检测和工艺实验表明其研究水平进入了国际先进行列.     

深沟球轴承沟道尺寸分选测量系统的研究与改进

针对在深沟球轴承沟道尺寸分选过程中使用的测量系统进行分析,并通过对测量系统的改进,提高沟道尺寸分选的精度,保证测量结果的准确性与有效性。     

基于CAN和μC/OS-Ⅱ的新型电子测量仪设计

简述实时操作系统μC／OS-Ⅱ在T89C51CC01单片机上的移植方法,并以此为基础,设计一种基于CAN和μC／OS-Ⅱ的新型电子测量仪。此系统所需数据来源于CAN网络,因此,处在不同空间位置的多个物理量就能显示在同一仪表盘上,成功实现多功能、远程、数字化测量。并描述此系统的软硬件结构。     

基于机器视觉的高精度工业尺寸测量系统研究

针对工业中高精度三维尺寸的测量要求,提出并设计了一种基于棱镜与多个工业智能相机的三维尺寸测量系统,它主要由机架、相机支撑架、3个工业智能相机、带有标记点的工件定位座、棱镜、气缸、可编程控制器、工控机组成。3个工业智能相机、可编程控制器均与工控机相连,工控机负责整个系统的数据采集、处理、结果判断与存储。该测量系统自动化程度高、成本较低、测量速度快,测量精度可达士0．03mm,可部分取代三坐标测量机在工业高精度尺寸测量中的应用。     

An optical non-contact probe

An optical non-contact probe to detect displacement, position and inclination of a work surface is presented. It uses two light beams which intersect near the surface and form spots of light on it. Images of the spots are formed on a photo-detector by a lens. Positions of the images and distance between them, which depend on the distance from the intersection to the surface, are sensed by the detector. Its output is electrically converted into a signal which represents displacement, position or inclination of the surface. An experimental probe is set up, in which laser diodes and a position-sensitive detector are used. The probe is tested on sandy, milled, lathe-turned, ground and specular surfaces and the measurements agree with predicted values.     

浅谈工业计量网络系统的设计

本文主要通过介绍工业计量网络系统的建设,加强称重计量设备和称重计量数据的信息化管理,为企业生产决策者保障企业正常运转,提供了强有力的支持,同时为企业带来更多的经济效益。     

测量系统分析在称重传感器研发制造中的应用

随着对称重传感器精度的要求越来越高,对研发制造称重传感器的测量系统也随之提高。本文简单地介绍了测量系统的几个特性及其判定准则,主要是针对计量型数据的测量系统进行分析,并列举如何对称重传感器制造过程中测量ZTC的测量系统进行分析、改进。     

阀门电动装置测试系统的研究与应用

为了对阀门电动装置的质量参数进行检测，设计了基于ARM的阀门电动装置测试系统，可对电动装置的转矩、行程、转速等性能参数进行精确检测。对测试系统的硬件结构与软件功能进行了研究。该测试系统已在实际测试过程中得到应用，经过实际运行，证明该系统性能稳定，达到了预期的效果。     

基于二次判别的高速主轴圆度检测系统设计

设计了面向高速主轴的圆度检测的接触式测量系统。基于采样截面系统传感器点数影响到测量精度和测量成本,介绍了基于全域插值理论的二次判别方法。实例验证了64点圆度的估计精度经济性和准确性最佳。     

一种新型圆感应同步器的设计

圆感应器是一种采用电磁感应原理的角度测量仪表,目前国内的圆感应同步器只能实现小范围内的绝对角度测量。为了实现0°~360°绝对角度测量,介绍了一种新型圆感应同步器的设计方法及其工作原理。     

基于流程的制造绩效评价体系研究

面向制造业企业,引入制造绩效指标评价体系和生产能力测量,并在此基础上提出了制造绩效测量系统的概念设计及基于流程分析的制造绩效评价系统模型,在系统的3个层次上分别设计了绩效指标群、网络层及协议层的指标,分析了网络层中评价指标间的交互关系,并提出协议层中各个绩效指标的测量和报告规范。