罗茨真空泵最大压缩比和排气效率

近年来罗茨真空泵在真空技术中[1]日益得到重用。它的主要应用范围是在中真空区域。罗茨真空泵弥补了在这一个压强范围内原有真空泵的缺陷,即在这一个压强范围内回转式油封真空泵的抽气速率下降很快,但另一方面在这一个压强范围内扩散泵却又达不到它的最高抽气速率。自然,除此之外罗茨真空泵还用在“粗”真空的某些方面;主要是应用来减少大量的预真空抽气装置。在这种情况下,采用罗茨家真空泵抽气装置要比使用极其庞大的机械　转真空泵经济得多。对于某些在真空中进行的工艺来说,采用这样一个庞大的预真空装置是不必要的。所以用于生产优质…     

罗茨真空泵的最大允许压差和溢流阀压差

文章分析了影响提高罗茨真空泵最大允许压差因素，提出了解决方法。介绍了带溢流阀罗茨泵的特点和溢流阀压差的试验方法，明确提出应对带溢流阀罗茨泵考核溢流阀压差。     

油封罗茨泵作粗真空泵的试验

按罗茨原理工作的变容泵目前国内主要应用在两个领域:一是入口压强 760托,出口压强0.1～2公斤/厘米2做罗茨鼓风机使用;二是在入口压强为10～10-2托范围内与前级泵配合做机械增压泵使用;除此而外罗茨泵还有第三个重要的应用,即通过水封或油封,使罗茨泵直接对大气排气在入口压强为400托以上的粗真空区域工作。在这个范围内与目前广泛应用的水环泵相比罗茨泵的突出优点是能源消耗少,据法国《hibon》公司介绍用罗茨泵取代水环泵可以节电35%,我国沈阳造纸机械修造厂试制的ZBK—13型水封罗茨泵用于造纸机脱水也取得节电25%的效果。鉴于国内这方…     

新型节能节水泵—LS直排大气湿式罗茨真空泵

ＬＳ型直排大气湿式罗茨真空泵属粗真空获得设备。与水环泵相比，具有极高的节能节水效果。文中给出了使用单级或双级直排大气湿式罗茨真空泵与使用水环泵的性能比较特别是功耗的比较。     

论罗茨真空泵的基础压力和漏率

基础压力是容积真空泵的特征性能指标,但作为容积泵一员的中真空罗茨真空泵却不是,它的性能在很大程度上依赖、取决于前级真空泵和测试条件,只有漏率才是罗茨真空泵的特征性能指标。本文分析了极限压力、基础压力和漏率三者之间的关系,着重指出,漏率的测量与前级泵无关,也基本上不受环境温度的影响,应取代极限压力(基础压力)作为中真空罗茨真空泵的特征性能指标。     

干式罗茨真空泵磁流体密封的研究

本文设计了干式罗茨真空泵的磁流体密封，对磁流体密封磁场进行了有限元分析，针对不同文献中磁流体密封耐压公式的不严密甚至错误，作者对磁流体密封耐压公式进行了严密推导，在实验台上验证了磁流体真空密封的效果、耐压能力及转速对真空度的影响。本设备近十年的连续运转证明：在干式罗茨真空泵采用磁流体密封效果良好。     

关于真空泵基础压力与罗茨真空泵特征性能指标的探讨

本文阐述了真空泵的极限压力与基础压力两者的概念和关系,对国际标准ISO21360-1:2012中有关基础压力的条款做了详细的解读。对影响中真空罗茨泵抽气性能的特性指标进行了分析,给出了用罗茨泵零流量压缩比K0和最大允许压差作为罗茨真空泵的抽气性能指标的合理性,建议选择罗茨泵零流量压缩比K0作为罗茨泵抽气能力的主要考核指标之一,将最大允许压差作为罗茨泵的辅助考核指标。     

干式罗茨真空泵磁流体密封的研究

本文设计了干式罗茨真空泵的磁流体密封 ,对磁流体密封磁场进行了有限元分析 ,针对不同文献中磁流体密封耐压公式的不严密甚至错误 ,作者对磁流体密封耐压公式进行了严密推导 ,在实验台上验证了磁流体真空密封的效果、耐压能力及转速对真空度的影响。本设备近十年的连续运转证明 :在干式罗茨真空泵采用磁流体密封效果良好     

湿式罗茨真空泵转子型线研究

本文论述了湿式罗茨真空泵特点，多圆弧──渐开线转子型线参数，并对该型线参数进行分析，给出了不同Ｄｍ／Ａ值下的λ—ａ及γ—ａ值表，还绘制了函数λ＝ｆ１（ｚ，α）和γ＝ｆ２（ｚ，α）两个曲线图。应用这些数据表或曲线图，可进行湿式罗茨真空泵转子型线参数选择，也可以对圆弧──渐开线型罗茨增压真空泵转子型线、直排大气气冷罗茨真空泵转子型线以及罗茨鼓风机转子型线的参数进行选择。文中最后给出一湿式罗茨真空泵转子型线参数选择实例。     

罗茨滑阀机组的节能效果及其分析

前言 我厂在82年相继试制成功ZJ-150,ZJ-300, ZJ-600三种规格罗茨真空泵,它们能与电机直联,进出口直通能直接接在前级泵上方(罗茨泵均无底盘),同时又试制成功了半自动控制的罗茨滑阀机组JZJ-150/2H-30。近年来我厂对JZJ-150/2 SK-6罗茨水环机组也进行了大量研究,于83年一季度也已试制成功。 我厂是国内滑阀泵的主要生产厂,据我们所知用户中相当一部份滑阀泵是在10～10-2托区间内长期运转。但近年来我们通过对罗茨泵的大量试验研究,使我们认识到这些滑阀泵如用罗茨滑间机组代替即可获得节能75%(有时可达90%以上)的惊人效果。 对用户而…     

日本罗茨真空泵概况

罗茨真空泵在日本的真空冶金方面已经得到广泛应用,极大部份的真空脱气装置以及—些大型的真空电弧炉都是采用了罗茨泵的真空机组,各种真空感应妒亦都是以罗茨泵作为予抽真空及增压之用,其它如真空蒸发方面,大型连续的金属蒸镀设备亦都配有各种大小不同的罗茨泵。 日本生产罗茨泵的工厂有神港精机株式会社、大阪真空株式会社、日本真空技术株式会社以及岛津制作所等4家。岛津是生产中小型罗茨泵,最大的是6000米3/时,其它3家公司最大的都能生产到20,000米3/时,至于30,000米3/时的罗茨泵,神港精机正在设计制造。 我们这次在日本参观,重点是看…     

双级气冷罗茨泵在火电机组应用中的常见问题分析和处理

某电厂660MW机组采用双级气冷罗茨泵对真空系统进行了节能改造,双级气冷罗茨泵在运行中出现了泵体温度过高和凝汽器真空度不达标的问题,对机组安全经济运行产生了不良影响。采用观察分析和试验的方法查找导致泵体温度高和真空度不达标的原因,发现了罗茨泵前级冷却器和凝汽器抽真空母管处的积水现象,积水堵塞了抽气管路导致气路不畅,最终引起罗茨泵泵体温度高和凝汽器真空度不达标。经技术改造消除了两处积水现象,进而解决了罗茨泵泵体温度高和真空系统真空不达标的问题。     

三级罗茨泵直腰茧形转子型线的研究

三级高真空罗茨泵是一种新型罗茨泵，具有极限真空高、压缩比高的特点．在１０～１０－３Ｐａ范围抽速大，并获得无油真空。用于溅射、离子镀及真空沉积设备等抽气，优于扩散泵和分子泵。     

圆弧-摆线-渐开线型罗茨泵转子型线参数选择范围

罗茨泵转子型线是罗茨泵的关键。零流量压缩比高的罗茨真空泵、湿式罗茨泵真空泵和罗茨鼓风机均要求泵工作时转子与壳体之间及两转子之间气体泄漏较小，这样可改善泵的低压下性能，即提高泵的抽气效率。转子型线为“圆弧－摆线－渐开线”就可以满足这一要求。文中给出了泵的参数选择图，从图中可以看出泵的参数选择范围，文中说明了该图边界的性状．由该图可查出泵的容积利用系数λ同转子顶圆半径Ｒｍ与节圆半径Ｒ之比 Ｒｍ／Ｒ以及同渐开线压力角α的关系。 λ＝ｆ（Ｒｍ／Ｒ，ａ）。图中用计算机绘出了几个比较特征参数下转子型线及其啮合情况，借此可根据实际需要来选择系的转子型线参数。此种转子型线工艺性良好。可仿型法加工（只需两个工位）。还可以用范成法加工其渐开线部分，余下部分用成型铣刀加工。若以范成法加工型线渐开线部分时，设计转子型线时可选取渐开线基圆半径ｒ为整数．以便于其工艺装备的设计。     

罗茨泵

一、罗茨泵 罗茨泵(也称为罗茨鼓风机)在真空工艺过程中广泛地被应用。罗茨泵同前级泵 (滑阀泵、水环泵及其它)组合,能使工作压强范围进入中真空(1托至 10-3托),如果两级罗茨泵串联,甚至可以进入高真空。罗茨泵的工作原理允许制成容量很大的抽气设备(100000米3/小时以上)。例如,在相同的工作压力范围内与水蒸汽喷射泵比较,常常是经济的。罗茨泵(见图1)是属于容积泵,在泵壳里,两个形状对称的转子(2)以相反方向而旋转。两个转子的截面积近似八字形且由齿轮驱动而同步回转,因此,经过机壳内壁(3)运动时彼此不接触。转子与机壳及转子之间的间隙有…     

基于数值计算方法的双螺杆真空泵气体输运过程研究

基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模型。以渐开线型端面的等螺距螺杆真空泵为研究对象,计算分析了泵从大气压到极限真空的整个抽气过程。对不同入口压强下的级间泄漏量与抽速进行了研究,研究表明:不同的泄漏通道对级间泄漏的影响有所不同。在排气端,齿顶圆与泵腔内壁之间的泄漏通道对级间泄漏的影响较大;在吸气端,两转子齿顶齿根面之间、斜齿面之间以及凹齿面之间这三种泄漏通道对级间泄漏的影响较大。     

一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构

IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本文基于啮合原理,通过计算机动画编程和理论计算,提出一种适合直排大气罗茨干泵的转子型线,并对型线和转子结构进行改进,使加工更为简单。分析了容积利用系数和转子间隙分布,并得出结论：（1）改进型线的容积利用系数的改变量在5%以内,对抽气性能影响不大;（2）转子啮合时的间隙分布绝对误差在0.025mm以内,并不影响泵的热力学及抽气性能,验证了结构改进的合理性。文末还介绍了一个改进结构罗茨转子加工的实例。     

高压差工作用气冷式罗茨真空泵设计及其性能

在大型汽轮机转子真空动平衡机室设计中选用了气冷式罗茨真空泵作为其主泵以大大加快抽空速度。气冷式罗茨真空泵由于其特殊结构，在携带一泵外冷却器后，可在极高的压差下连续工作而不会超温。这种泵还具备无油压缩的优点，可防止油蒸汽对被抽气体的污染，可广泛应用于各种真空作业上。本文介绍了这种泵的设计及其性能。     

用多级罗茨真空泵对危险性气体的大流量抽除

本文探讨了在10-3毫巴(1微米)～大气压的真空范围内和指定的温度下以最小的污染对要求高的气体──高纯、稀有或危险性气体的抽除。对于在此范围产生的问题,其合理的解决手段就是一种变容真空泵──专用的罗茨真空泵,这种系工作室不需要润滑,转子与壳体之间无机械接触,但由于冷却过程没有外部介质,因此能以高的压缩比进行抽气。本文还论述了从离心铀分离装置中抽除UF。的专门设计的多级罗茨真空泵。这种泵对氮的最大抽速为220米3/小时,并能从低于10毫巴直接压缩到大气压。 一、前言 在真空范围内抽除要求的气体,日益需要经济的方法。这些问…     

湿式罗茨真空泵工作阻力的研究

直排大气并以抽除水汽为主的湿式罗茨真空泵，广泛用于造纸等行业以代替水环式真空泵，如此可节省能耗．木文论述转子型线为多圆弧——渐开线型的湿式罗茨真空泵的工作阻力、工作阻力矩、有效瞬时功率以及工作阻力的水平分力和铅垂分力．为后续轴及轴承等设计提供已知数据。该文也可用于圆弧——渐开线型转子型线的罗茨增压泵的工作阻力计算（因为后者是前者的一个特例即γ＝０或β＝π／４）。文中给出电子计算机程序框图及一个实例的结果及分析。