专利名称:一种刻蚀金属钼材料的方法

正专利申请号:CN201110362349.6公开号:CN102417156A申请日:2011.11.15公开日:2012.04.18申请人:北京大学本发明公开了一种刻蚀金属钼材料的方法,在金属钼材料上形成刻蚀掩膜,然后采用高密度等离子体(如ICP、TCP等)干法刻蚀工艺,产生高密度、高能量离子和自由基,实现了对金属钼体材料的高速率、各向异性刻蚀。刻蚀速率可达2.63μm/min,     

氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状

随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础。     

黑硅制备技术及其应用的研究进展

基于黑硅材料的发展,讨论了国内外在黑硅制备技术方面的研究进展,包括反应离子刻蚀法、飞秒激光脉冲法、电化学刻蚀法及金属辅助刻蚀法,总结了各种工艺在应用上的特点,对黑硅材料当前取得的应用及发展进行了综述.结果表明:黑硅材料的特殊结构能够极大降低硅表面光反射,有效提高硅太阳能电池转换效率;其特殊光敏性可应用于光波探测器;表面各向异性的黑硅在红外吸收中可以产生太赫兹辐射.当前飞秒激光脉冲法制备的黑硅材料体现了很好的光敏性,并且有望直接嵌入目前半导体制造工艺,因此备受青睐,然则其制备成本较高;相比之下,电化学刻蚀法则设备简单、成本较低,亦颇具研究前景.最后,展望了国内黑硅材料的发展趋势.     

瑞典Sandvik材料技术公司新的不锈钢带钢

瑞典Sandvik材料技术公司推广了一种新的产品，开始生产一系列表面设计的不锈钢带钢。对不锈钢带钢采用涂层的制造工艺已经开发出来，该工艺能使基层和表层材料有选择地结合，从而提供新的材料性能。生产的高度灵活性使表面设计的带钢能按照用户技术要求生产。导电性、低电阻率、腐蚀、     

金属增材制造技术的关键因素及发展方向

金属增材制造技术是一种短流程、近终形的新型材料成形技术.在金属增材制造技术中, 设备是载体, 材料是关键, 工艺是基础, 三者是影响金属增材制造技术发展的关键因素.本文通过对具有代表性的金属增材制造技术的特点进行总结, 分析了设备、材料和工艺之间的关系以及三者在金属增材制造技术中的重要作用; 综述了金属增材制造设备的原料供给系统、成形系统和控制系统的研究现状; 总结了金属增材制造材料中钛合金、镍合金、铝合金和钢铁材料的典型组织特点和力学性能; 论述了金属增材制造工艺参数对残余应力、孔洞、精度和组织的影响; 指出了目前金属增材制造技术在设备方面存在设备成本高、产品成形尺寸受限、成形效率低等问题, 在材料方面存在生产成本高、适用性差等问题, 在工艺方面存在参数匹配困难、热积累严重等问题; 从降低设备和材料成本、扩大产品成形尺寸范围、提高产品精度和成形效率、拓展材料种类和适用范围、减少工艺参数匹配难度、提升产品质量及综合性能、开发金属增材制造新技术方面展望了金属增材制造技术的发展方向.      

不锈钢在贵冶烟气制酸中的应用

总结了贵溪冶炼厂烟气制酸工艺的发展及技术进步情况,并介绍了硫酸的腐蚀特性以及各类不锈钢材料在贵溪冶炼厂烟气制酸工艺中的应用情况。     

基于绿色制造的新型机械制造工艺及装备技术研究

随着现代科学技术的发展,人们对机械制造的要求也越来越高。传统的机械制造不仅会发生浪费材料的现象,还在制作过程中产生一系列的污染,对环境造成很坏的影响。所以绿色制造是我们需要探寻的新思路。绿色制造整体来说是以保护环境、节约资源为主要目标,以新型制造工艺为主要手段的建设技术。针对传统制造中的一系列问题,探讨了基于绿色制造的新型机械制造工艺及装备技术。     

金属增材技术在钢铁领域的研究进展

随着增材制造技术的日益成熟,其在钢铁材料制备领域逐渐崭露头角。首先介绍了国内外增材制造技术的发展现状,简述了目前增材制造金属材料的前沿技术;之后汇总了大量增材制造钢铁材料的研究成果,包括不锈钢粉末的制备技术、增材制造不锈钢改性工艺、先进钢铁丝材的增材制造等;从多个角度回顾了近几年来国内外增材制造钢铁材料的研究进展。基于对现有研究成果的总结,指出了增材制造技术在未来钢铁材料领域的重要意义,并为中国钢铁材料增材制造技术的发展提出了展望与规划。     

微机电系统中的材料和加工

本文主要讨论微机电系统中的常用材料和加工技术。具体分析了Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、金刚石和石英等材料的性能及其在微机电系统中的应用,并论述了材料的各向同性和各向异性刻蚀加工技术以及材料间的健合工艺。     

先进车型车身用材与典型设计制造工艺分析

车身轻量化与安全性是汽车制造行业目前最关注的两大研究方向。采用逆向解析的方法，针对某前驱小型车白车身用材进行材料反求，从白车身钢板用材与典型设计制造工艺两方面，结合轻量化与安全性需求，详细分析了车身钢铁材料的应用准则与车身设计制造中被动安全、激光拼焊、热成形技术、形状优化等典型工艺的应用情况。通过逆向解析对车身设计理念进行研究，了解了高性能材料和典型先进制造工艺的发展方向，为汽车产品设计提供参考，促进了车身用材与制造工艺的多元化发展。     

半导体制造装备抗等离子冲蚀用氧化物陶瓷

在半导体及液晶显示屏的刻蚀制造装备中,高纯氧化铝和高纯氧化钇作为抗等离子冲蚀材料已得到广泛应用。对不同等离子能量下涂层相关性能的研究显示,高纯氧化钇涂层较高纯氧化铝涂层及氧化铝烧结块体表现出更为优异的抗等离子冲蚀性能。尽管氧化钇涂层的性能略低于氧化钇烧结块材,但随着等离子能量的提高,两者性能的差异也逐渐减小。随着等离子能量在实际工况下不断提高,氧化钇涂层也得到了更为广泛的应用。     

TP2铜管精整工序喷墨质量不良原因分析及改进措施初探

在精密铜管精整复绕工序中,涡流探伤装置检测到伤点后会向喷墨装置发送信号,以对铜管表面缺陷进行喷墨标记,但是该过程普遍存在喷墨不良,严重影响了对缺陷的判断。本文介绍了TP2铜管生产线中涡流探伤仪器的工作原理,对原有的涡流探伤仪器、喷墨装置以及喷枪结构进行调研,分析了原有喷墨装置喷墨时存在的漏墨和拖墨问题,探讨了等离子技术与激光刻蚀技术作为喷墨技术替代方案的可能性。文献调研、现有技术分析及其他替代试验的结果表明,采用等离子体表面处理技术对已喷墨铜管进行处理后,可以一定程度地改善铜管拖墨的问题;采用功率为300 W的激光对铜管表面进行刻蚀处理,激光头速度分别为80 mm/s和200 mm/s时,对铜管表面刻蚀呈现出的不同效果,均能够进行缺陷的有效标识。因此,铜管表面激光刻蚀技术可以作为喷墨技术的替代方案。     

板材微细表面形状轧制的研究

一项用等离子腐蚀法在硬质合金轧辊表面加工出三座标可控微细表面形状的工艺已研制成功。并用该轧辊轧出了具有微细表面形状的板材。     

SPS技术在粉末冶金材料中的应用现状

放电等离子烧结(SPS)技术作为一种新型粉末固化成形技术,因其升温速度快、烧结时间短、烧结材料的致密度高等优点而引起了广泛关注。重点概述了放电等离子烧结技术的应用领域,分析其发展过程中面临的问题,展望了其未来发展趋势。     

基于大数据技术的炉缸侵蚀模型

 针对高炉炉缸侵蚀的问题,介绍了高炉炉缸智能技术研究进展,分析了实现炉缸内衬可视化的技术。基于炉缸侵蚀模型的比较及大数据预测模型的发展,提出了融合大数据技术的炉缸侵蚀模型技术思想。模型基于决策树和遗传算法优化的BP神经网络,将铁水成分及温度、冷却参数、操作参数作为输入参数,采用融合大数据技术的方法,构建了炉缸侵蚀预测模型。大数据技术为钢铁行业的发展提供了新思路,进一步推动了高炉智能化炼铁。     

Increasing the Adhesion of Plastic Coatings to Metal Dentures

A technology for plasma-chemical modification of the surface of a denture metal base for strengthening the adhesion of the latter to a plastic coating has been developed. The optimal gas composition for plasma-chemical etching was determined. It has been established that the adhesion layer formed due to this treatment enhances the adhesion of the metal base to evicrol and carbodent plastics by a factor of 2.4-4.6. The proposed surface modification is not labor-intensive, the etching process is short (15-20 min), and the equipment used is not complicated. Owing to these circumstances, the technology can be easily applied in dental practice.     

等离子体技术制备纳米粉体研究现状

纳米粉体因具有较为独特的应用性能, 其高效制备方法是材料领域研究的热点。 等离子体技术是一种快速 发展的新型纳米粉体制备技术, 其热源温度可达 10000 K 以上, 具有高热焓、 高化学反应活性的优势, 近年来得 到了国内外研究工作者的广泛关注。 本文从等离子体技术及分类、 不同原料介质的等离子体纳米粉体制备、 等离 子体主要工艺参数对纳米粉体性能的影响等几个方面简要地介绍了等离子体技术制备纳米粉体的研究现状, 阐述 了等离子制备纳米粉体的重要意义和面对的挑战。     

国外等离子技术的发展

简要地介绍了近几年来国外等离子技术的开发研究情况和发展现状。在过去几年里，等离子技术中最显著的变革，是用石墨燃炬代替铜燃炬和钨燃炬，石墨燃炬较水冷金属燃炬更安全，并且减少了冷却水的损耗和维护燃炬的费用，使石墨燃炬的工作成本低于其它燃炬。此外，由于等离子技术能够提供充分燃烧和高温反应，因此，等离子技术的应用及其各种工艺流程也得到不断发展。     

3D打印用金属粉末的性能特征及研究进展

3D打印(增材制造)作为区别于传统去除型加工的新型制造技术,正以其简易的制造工艺、较低的生产成本和较短的研发周期,备受人们关注。目前,3D打印技术已经开始从研发阶段逐步向产业化发展,但是3D打印用金属粉末的成本及其性能成为制约该产业快速健康发展的瓶颈之一。3D打印用金属粉末需要满足高纯度、高球形度、细粒径和窄的粒径分布等要求。其制备方法主要有雾化法、等离子体法、旋转电极法、等离子熔丝法等。通过3D打印用金属粉末性能要求、制备方法、粉末性能对3D打印零件的成形效果影响等几个方面介绍国内外的一些研究进展,并提出目前3D打印用金属粉末制备所面临的问题。     

炉缸炭砖侵蚀过程及基于AHP的界面反应调控

 为了延缓炉缸炭砖侵蚀,基于炉缸破损调查试样分析和试验结果,研究了炉缸炭砖侵蚀过程,提出了基于层次分析理论(analytic hierarchy process,AHP)的界面反应综合调控技术。结果表明,炭砖侵蚀经历3个过程:铁水润湿炭砖、铁水渗透炭砖和铁水溶解炭砖。非稳态下铁水对炭砖的润湿作用使界面迅速由气-固界面转变为液-固界面;铁水渗透在炭砖微晶结构的作用下呈现出树枝状特征,且渗透面积越大、渗透延展度越高,炭砖脆化现象就越明显;在铁水碳欠饱和度的作用下,脆化的炭砖易溶解进入铁水中,导致炭砖被侵蚀。基于AHP的界面反应综合调控技术可帮助高炉操作者明确调控方向和调控重点措施,应从铁水成分调控和炭砖性能调控的几个关键技术采取措施以延长炉缸寿命。