超高真空中水冷密封接头的设计与实验

在超高真空系统中，水冷却密封接头结构是一个关键性问题。介绍了两种新型结构实验过程。分析了各自的优缺点并举例说明在同步辐射光束线中的应用。     

充入气体含水量对超高真空系统排气特性的影响

在未烘烤的超高真空系统中，真空室表面所吸附的水蒸汽是影响排气时间及极限真空度的关键因素。通过实验，对充气气体中水蒸汽含量及操作方式与真空系统排气特性的关系进行了测试，为超高真空系统操作工艺的确定提供了依据。     

低温波荡器超高真空系统研制

在高能辐射同步光源验证装置(HEPS-TF)阶段,研制了一台低温永磁波荡器(CPMU)样机,周期长度为13.5 mm.低温波荡器的磁结构放置在真空室中,存在大量的材料出气与夹气,为了提供束流正常运行所需的超高真空环境,研制了波荡器的超高真空系统.首先估算了波荡器的放气率、放气量,并根据指标要求计算了真空系统所需的有效抽...     

超高真空气相氢渗透系统的研制

报道了超高真空气相氢渗透实验装置的设计及研制。用溅射离子泵获得超高真空，监测室本底真空度为6×10~(－7)Pa。用圆弧刀口银垫片活密封方式对试样进行密封，实验的极限温度可达650℃。采用B－A规对渗透氢流所引起的压强变化进行动态监测，再通过标准漏孔对系统进行标定，从而定量监测氢渗透动力学过程。采用本实验装置，准确地测量了HR－1型奥氏体不锈钢的氢渗透热力学参数。     

红外探测器生产中的超高真空系统

讨论了红外探测器生产中应用的超高真空系统的组成,分析了喷射泵、液氮冷却吸附泵、钛离子泵及钛升华泵的工作机理,并给出了一些数据.系统具有无油污染、噪音低、工作稳定等特点。真空度可达1×10~(-6)Pa。     

超高真空的获得—泵与抽气系统

在“超高真空”历史发展的几十年间,技术和用户需求两方面都发生了许多变化。甚至超高真空的含义也有些演变。问题的焦点是：从如何获得只有泵壁出气气体负载的最低压强的静态真空转向如何获得生产过程气体低污染和高纯度的动态真空。现在,想用一种全能的泵来实现这一设想是不实际的,因为不同的真空抽气技术有着更明显的应用范围。这种情况对传统的超高真空泵－离子吸气砂来说是一样的。在大多数情况下,在设计系统时离子吸气泵是     

兰州重离子冷却储存环超高真空系统首台样机的研制

介绍了兰州重离子冷却储存环(HIRFL-CSR)超高真空系统首台样机的研制过程,给出了实验结果.介绍各真空室结构,对关键标准设备进行了测试与选型.根据实验结果估算出极限真空条件下材料的表面出气率;根据公式估算出钛升华泵的有效抽速并通过实验得到证实;对真空烘烤装置的初步工作也作了介绍.样机达到了3×10-9Pa的设计指标,结果表明HIRFL-CSR工程真空系统的设计方案是可行的.     

矩形螺旋槽真空动密封研究

螺旋槽真空动密封是近年来国际上真空密封研究课题之一。它的主要优点是密封偶 件之间无接触；功耗少；结构简单，在高温、高速、深冷、腐蚀以及超细微粉和带有颗粒的液体等苛刻的真空条件下能正常工作，因此这种真空密封技术受到了人们的关注。国外一些学者对液体和粘性条件Ｆ的气体的螺旋槽密封研究较多，而对稀薄气体的真空密封研究较少，特别是螺旋槽本身相对轴套运动的密封理论研究到目前为止还未曾有人报导过、本文依据稀薄气体动力学理论，对矩形槽内的输运状态进行了数学描述，建立了螺旋槽的几何形状与密封系数之间的关系函数．按照新的密封系数可以恰当评价真空密封的程度，文中给出了最佳几何参量的选择范围。     

动密封在真空锁中的设计与应用

详细介绍了在真空锁中的动密封设计过程,并就设计中出现的问题做了分析,提出了解决方案.     

分流法超高/极高真空校准装置性能研究

分流法超高／极高真空校准装置由极高真空（XHV）系统、超高真空（UHV）系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10^-10 Pa的极高真空；采用的分流法真空规校准方法，使压力校准下限延伸到了10^-10 Pa；利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性，使用惰性气体校准时，减小了校准下限的不确定度；校准装置的校准范围为（10^4～10^-10）Pa，合成标准不确定度为1．5％～3．5％。     

Design of a new UHV all-metal joint for CLIC

All-metal joints are widely used in the vacuum systems of particle accelerators. The most common ConFlat^® design consists of a flat soft copper gasket captured between two stainless steel flanges with sharp edges (knives). The gasket is plastically deformed and a high contact pressure develops around knives to obtain leak tightness. For large accelerators, a high reliability and a cost-optimized design are required. A smooth internal transition between flanges is needed for the RF waveguides of the compact linear collider (CLIC), with limited deformation of the inner part of the gasket. We present the study of a flange meeting these requirements. First the finite element analysis (FEA) of the Stanford linear accelerator center (SLAC) X-band all-metal joint, which has a similar specification, is shown. Some drawbacks, such as non-homogeneous sealing properties, are highlighted. Then, a new joint design is described. FEA results are presented and are compared with experimental measurements carried out on prototypes.     

六自由度运动平台控制系统的神经网络优化

阐述了六自由度运动平台的控制原理，并根据控制系统的特点，提出采用基于RBF和BP神经网络来改进常规PID控制器实现系统控制性能。在该控制系统结构中，提出了在RBF网络辨识Jacobian的基础上，将BP神经网络引入了平台控制系统中PID控制器的控制参数在线整定的算法，最后给出了在MATLAB下的具体仿真算法。     

双生长室超高真空化学气相淀积系统的研制

本文介绍了中国科学院半导体研究所的双生长室超高真空化学气相淀积系统的工作原理、技术参数、结构、性能及特点。该系统具有双生长室、引入准分子激光和多态源等主要优点,是IV族半导体材料生长和研究的强有力工具。     

HIRFL-CSR超高真空系统

中国科学院近代物理研究所承担的国家“九·五”重大科学工程项目兰州重离子加速器冷却储存环(HIRFL- CSR)目前正处在建设阶段。为减少真空系统中残余气体分子对粒子束造成的损失 ,要求系统平均真空度达到 6× 10 - 9Pa。在研制和建造过程中 ,我们做了大量的工作以获得所要求的真空度。本文将介绍其中样机的研制 ,超高真空实验室的建立和各项实验工作 ,大型真空处理设备的建造 ,真空烘烤系统研制等。同时对目前的工程进展也做了简要介绍     

重离子深层治癌束运线极高、超高真空系统压力分布与受力分析研究

重离子深层治癌柬运线真空系统与兰州重离子加速器冷却储存环（HIRFL—CSR）相连接,要求极高、超高真空度。本文介绍了深层治癌线真空系统的布局;根据极高和超高真空段不同的气载和有效抽速进行了系统的压力分布计算;对真空室在常温和烘烤状态下的应力和变形进行了分析;通过系统的实验测试,验证了计算数据。     

真空平板玻璃封接性能研究

针对真空平板玻璃封接温度较低和玻璃与封接焊料要具有相匹配热膨胀系数的特点,实验选定PbO-TiO2-SiO2-RxOy系封接焊料,采用真空熔接法侧边封接真空平板玻璃,利用EBSD、EDS、XRD方法分析了真空平板玻璃封接层的显微组织结构与物相组成,研究了封接层与玻璃界面处结合性与稳定性,并对真空平板玻璃封边进行了剪切强度与气密性实验,测定了真空平板玻璃封边处的剪切性能与气密性能,探讨了真空平板玻璃的封接机制。结果表明,封接层与玻璃之间的界面清晰,结合紧密,封接效果良好,封接层分为厚度在7~9μm的界面反应润湿层与厚度在180~190μm的熔融层两个部分,界面处出现了元素迁移,并在界面反应润湿层生成了少量的PbTiO3。封接层无明显裂纹,存在少量不连通的气孔,但不影响其气密性能,封边气密性达到1.0×10-9 Pa·m3/s。     

陶瓷金卤灯用封接材料膨胀系数的研究

为了制造性能良好的陶瓷金卤灯，保证陶瓷放电管和金属电极引线之间形成牢固的气密性封接是一个关键，和石英管不同，陶瓷管无法在加热软化后通过挤压与金属电极引线粘合在一起，为了完成放电管和电极的密封，必须采用合适的封接材料将它们封接起来，因此对陶瓷金卤灯的关键材料Al2O3-Dy2O3-SiO2系封接材料膨胀系数进行了研究。     

差压气密性检测仪设计与实现

设计了基于差压法原理的以ARM处理器为控制核心的通用型气密性检测仪.该仪器系统通过气控阀控制气路对工件的充放气过程,并利用高精度差压传感器获得由气体泄露产生的差压值,人机交互界面采用触摸屏模块.结果表明,该检测仪方便快捷、测试精度高、稳定性好.