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对不同基体上采用直流气体放电话化反应蒸发沉积法(DC-GDARE)制备的氧化锡超微粒薄膜的晶相结构进行了分析。结果表明:不同的基体对此类薄膜的生长有极重要的影响作用。 相似文献
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对超微粒SnO2/ZnO复合薄膜进行了复数阻抗谱法的分析研究。用实验验证了所提出的内部模拟等效电路,并利用表面科学理论加以定性解释,为超微粒子复合薄膜的气敏机理和导电机理的进一步研究提供了新的实验依据。 相似文献
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研究了用直流气体放电活化反应蒸发沉积法技术制备的超微粒子复合薄膜的电学性质及气敏性质,并对其作用机理进行了分析解释. 相似文献
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用溅射法制备了SnO_2/ZnO薄膜,采用XPS,AFS,SEM,等手段研究了薄膜的表面及界面,发现在薄膜中,锌与锡存在不同深度的相互扩散,从SEM的断面观察可看到有一个明显的界面存在。XRD分析则表明:ZnO极易沿(002)面择优取向生长。并且SnO_2/ZnO膜具有良好的气敏性质。 相似文献
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用真空蒸发的方法,在1.33×10-3Pa的真空中,蒸发SnO2,ZnO获得超微粒结构的SnO2-ZnO复合膜。当复合膜中ZnO质量分数为20%时,SnO2-ZnO复合膜对乙醇气体的灵敏度为40,膜的方电阻值也较低,为0.01×103Ω/□。复合膜经热处理后,其电学性能也得到改善,当温度t=600℃时,ZnO质量分数为20%的SnO2-ZnO复合膜热处理后,其膜对乙醇气体有较高的选择性,灵敏度为60。当t=400℃时,对掺有Sb2O5质量分数为450×10-6,ZnO质量分数为20%的SnO2-ZnO复合膜进行热处理,其方电阻仅为0.003×103Ω/□,具有优良的导电性能。 相似文献
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SnO_2/SiO_2双层薄膜的湿敏特性 总被引:2,自引:0,他引:2
本实验是在单晶硅片上热生长一层SiO2,然后用真空淀积的方法获得一层超微粒SnO2薄膜,通过对SnO2/SiO2薄膜电阻与相对湿度关系的测试,发现阻湿的线性特性和灵敏度明显优于SnO2薄膜和SiO2薄膜,测湿范围明显展宽。 相似文献
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报道了锌、锡氧化物超微粒子薄膜的阻温特性,并根据氧表面吸附模型和截流子穿越势垒理论对其结果加以解释。 相似文献
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UKF、PF与UPF跟踪性能的比较 总被引:2,自引:0,他引:2
无迹卡尔曼滤波器(UKF)是用一系列确定样本来逼近状态的后验概率密度,对任何非线性高斯系统都有较好的跟踪性能。粒子滤波器(PF)是用随机样本来近似状态后验概率密度函数,适用于任何非线性非高斯系统,但当似然函数出现在转移概率密度函数的尾部或者在高精度测量的场合,PF的跟踪性能降低。针对强非线性、非高斯系统、高精度测量的环境,文中提出采用UPF算法进行跟踪,并对PF、UKF和UPF三种跟踪算法进行了仿真,结果表明,UPF的跟踪精度要远高于PF、UKF的精度。 相似文献
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本文研究了用直流气体放电活化的反应蒸发制备的二化锡纳米薄膜的表面性质、电学性质以及气敏性质,重点研究正反向电场对其电学性质和气敏性质的影响,从理论上探讨了它的气敏机理。 相似文献
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ZnO/SnO2双层膜的结构及敏感特性研究 总被引:4,自引:0,他引:4
将SnO2及ZnO粉末压制成靶材,采用溅射衍制备了ZnO/SnO2双层薄膜,用XPS,XRD,SEM等手段对制得的薄膜进行分析测试,发现双层膜表面有一定量的吸附氧存在,双层膜中锌、锡有一定的相互扩散,比较了单层SnO2及ZnO膜与双层膜的气敏特性,结果表明双层膜在灵敏度及选择性方面都优于单层膜。 相似文献
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Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction (SILAR) was used to form Cd(OH)2 thin films from aqueous cadmium–ammonia complex on glass substrates at room temperature and the thermal annealing effect on thin films was studied. The as-deposited films were annealed at 200, 300 and 400 °C for 1 h in an oxygen atmosphere for conversion from Cd(OH)2 to CdO and change in the structural, optical and electrical properties of the films and the effect of the light on the electrical properties of the films were investigated. The structural and surface morphological properties of the films were studied using X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). It was found that Cd(OH)2 phase is converted into the cubic CdO films by annealing. The band gap energy values of films decreased from 3.59 to 2.13 eV through increasing annealing temperature. It was found that the current increased with increasing light intensity and CdO films were more conductive than the as-deposited films. 相似文献