利用行波产生微波等离子体

在沿介质线的180×300mm~2的大范围内,行波产生了2.45GHz 的均匀有源微波等离子体。氩(Ar)等离子体的亮度温度在644±17℃以内。在200帕的气压下,电子温度和密度相应为4eV 和4×10~(11)cm~(-3),与小微波等离子体发生器具有相同的数量级。能容易地扩大等离子体面积。     

低温等离子体技术在治理环境污染中的应用与实现

主要介绍低温等离子体在环境污染治理中的功能、机理 ,并介绍了大功率低温等离子体发生装置的电气构成。     

低温等离子体反应沉积ITO膜的研究

研究了低温等离子体条件下ITO膜的沉积过程,获得了均匀、致密的ITO膜.测量了膜的光、电特性,确定了最佳沉积条件,并对实验结果进行了定性分析.     

低温等离子体灭菌实验研究

相对于传统的灭菌方法来讲,利用低温等离子体灭菌有许多优点。本文详细介绍了一个低温等离子体灭菌实验装置,并运用此装置对大肠杆菌和金黄色葡萄球菌进行了灭菌实验研究。通过对灭菌D值的比较发现大肠杆菌(革兰氏阴性菌)较之金黄色葡萄球菌(革兰氏阳性菌)易于灭杀。     

低温等离子体去除室内气态污染物的发展现状

本文介绍了室内气态污染物的来源和特点,阐明了等离子体的概念、存在状态以及分类,列举了低温等离子体的制备方法、部分化学反应的机理以及在去除室内空气污染物方面国内已取得的成果,并提出了今后需要进一步研究的问题。     

低温等离子体处理技术在印刷电路板上的应用

表面改性在最近10年中得到了很大的注意,并开发了新的应用场合。这种方法只改变表面性质而不改变内在性质。由于大量聚合物的应用代替了传统的材料。低压等离子体处理是解决聚合物表面改性一项很有前途的方法。等离子技术是一种干燥、环保和低成本的方法,将表面极细微地进行改性,无须人工操作或利用化学品。1低温等离子技术等离子体是包括离子、电子和中子等物质部分离子化的气体。在真空状态下,等离子作用是在控制和定性方法下能够电离气体。利用真空泵将工作室进行抽真空达到2～3Pa的真空度,再在高频发生器作用下,将气体进行电离,形成等…     

激光焊接等离子体电流产生机理及电磁场对其作用研究

理论分析表明,深孔中的等离子体向外喷出时,电子和正离子具有不同的热运动速度,电子速度约为正离子速度的50倍,从而在激光喷嘴和工件间形成一电位差.将喷嘴和工件短路则可产生一等离子体电流,其大小约为10-1 mA量级.在该回路中串联一外加电源,等离子体电流随外加电源电压增大呈线性增大.加入一垂直于激光束方向的磁场,则带电粒子受一侧向电磁力作用而被加速运动离开激光束. 实验采用焊接过程中提升喷嘴的方法,加入辅助电磁场进行焊接可使深熔焊焊缝长度增加,表明驱除熔池上方等离子体后激光效率获得提高.随激磁电流(磁场强度)增大,深熔焊长度增大.随外加电压(电场强度)增大,深熔焊长度在25V外加电压时,达到最大值,过低和过高的外加电压都减小深熔焊长度的增加量.(OE10)     

激光诱导SiH4等离子体反应碎片的产生机制

本工作利用光学发射光谱技术对ＴＥＡＣＯ２激光诱导ＳｉＨ４等离子体反应碎片的时间特性进行了测量，分析了碎片的产生和反应机制。提出碎片Ｓｉ，Ｓｉ＾＋等主要为一级反应产物，Ｓｉ２，ＳｉＨ等主要为二级的产物的结论。对Ｓｉ３９０．６ｍｍ，ＳｉＨ４１２．８ｍｍ谱线随实验条件变化的测量，进一步验证了我们的结果。     

无声放电等离子体及其应用

无声放电等离子体是一种非平衡态子体，它可用于等离子体化学、紫外与真空紫外光源以及气体激光器激励等方面。本文将概要介绍无放电及其应用的研究进展。     

低温等离子体消毒灭菌设备电源的研究与设计

低温等离子消毒技术因其具有快捷、安全和高效率等优点受到国内外广泛研究,而等离子体的电源在很大程度上又影响着等离子体发生器的性能。针对等离子体高压电源的特殊要求,本文将SPWM脉宽调制技术应用到等离子体发生器电源的设计中,研制了一款原理简单、控制和调节性能好,具有消除谐波、调节和稳定输出电压等诸多特点的单相输出电压可调、频率连续可调的新型等离子体高压电源。     

用氧等离子体激活处理的低温硅片直接键合技术

针对在ＭＥＭＳ加工中所要求的低温键合,提出了一种用氧等离子体激活处理来降低退火温度的低温硅片直接键合技术。研究了低温ＳＤＢ的特性并得出了经过氧等离子体处理的硅片界面能比常规同条件的ＳＤＢ提高近１０倍的结论。最后详细探讨了其键合机理。     

激光等离子体密度条纹的产生和衰减

本文报道一个新的激光与等离子体相互作用的宏观理论.根据宏观流体动力学的双流体模型,计算机数值模拟的结果表明,由于激光等离子体密度条纹的产生和衰减的周期性导致了入射激光反射率的周期性变化,说明激光与等离子体的相互作用过程不是连续的.该理论能成功地解释近年来的实验结果.利用宽频带激光打靶和无规位相片可以抑制密度条纹,提高激光能量向等离子体输运的效率.     

低温等离子体电源的设计及有机物降解研究

设计了一种高效纳秒(ns)级低温等离子脉冲电源,该电源主要由高压直流发生装置和脉冲形成单元两部分构成。分析了电源主电路工作原理,并在给定电路和负载参数下对电源主电路进行仿真,得出实验波形。在负载为400Ω时,输出最大电压幅值是25kV,ns级上升沿,脉冲重复频率1.2 kHz左右。在不同电压峰值和脉冲频率的情况下,考察对100mg/L对氯苯酚废水的处理效果。结果表明,对氯苯酚的降解率随着电压峰值和脉冲频率的增大不断升高。     

低温等离子体对光缆护套表面处理后印字效果浅析

本文简要分析了光缆护套表面标志在施工、维护中的重要性,给出了当前光缆表面喷码存在的一些不足之处,介绍了低温等离子体在高分子材料表面改性中的作用原理和特点,对比试验了光缆护套表面喷码标志的耐磨损性能,试验结果表明：经等离子体处理的光缆护套表面喷码标志的耐磨损性能明显优于未经等离子体处理的普通光缆.     

高功率YAG激光在生理盐水中产生微等离子体的研究

利用光学阴影探测方法研究了调Ｑ－ＹＡＧ脉冲激光在生理盐水光学击穿阈值附近诱导微等离子体和冲击波产生的过程，得到了微等离子体和冲击波随人射激光能量和延迟时间而变的系列光学阴影图，并且指出了冲击波的机械作用在脉冲激光眼科医疗中的影响。     

不锈钢表面亚磷酸三甲脂低温等离子体聚合膜的制备和表面特性的试验研究

采用射频等离子体聚合的方法在317L型不锈钢表面形成一层亚磷酸三甲脂等离子体聚合膜。利用红外光谱法（FFtR）、扫描电镜（SEM）对该聚合膜进行了化学成分和表面形貌的分析。利用接触角测试仪分析该聚合膜的亲水性。结果发现亚磷酸三甲脂等离子体聚合膜可以明显改善不锈钢表面的亲水性。     

强直流场下空气等离子体产生的太赫兹波的特性研究

研究了强直流偏压场下的800 nm飞秒激光电离空气等离子体产生的太赫兹波.通过改变直流偏置场的方向,使之垂直或平行于泵浦光偏振方向,对太赫兹波的偏振特性进行了系统的研究.研究结果表明太赫兹波的产生是有质动力和直流偏置场的共同作用结果,外直流偏置场能够放大和调制总的太赫兹波.     

等离子体对低温定向生长碳纳米管的作用

利用负偏压增强热丝化学气相沉积在低衬底温度（550℃）下催化生长了碳纳米管,并用扫描电子显微镜研究了它的生长过程,发现低温下碳纳米管能否定向生长依赖于等离子体功率,同时还发现碳纳米管在压强太低时不能够生长.结合有关理论分析,结果表明,当等离子体功率较大时,等离子体形成的强电场对催化剂颗粒的作用导致了碳纳米管的定向生长;而低压下碳纳米管不能够生长是由于碳粒子扩散太快的缘故.