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溅射共沉积GaAs—SiO2复合薄膜的XPS研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用X射线光电子能谱(XPS)研究了由GaAs和SiO2组成的复合靶共溅射沉积的GaAs-SiO2复合薄膜的Ga、As和Si的化学结合状态及其沉积时的基片温度对其影响。结果表明:Ga、As和Si分别主要是以GaAs和SiO2的化学组态存在于复合薄膜之中,但当沉积时基片温度上升到一定值后(我们实验中为400℃),有部分的Ga和As被氧化,其氧化量随着基片温度的进一步升高而上升。沉积的SiO2中存在着少量的缺氧缺位。 相似文献
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通过对体均匀掺硅和离子注入硅样品的二次离子质谱(SIMS)深度剖面分析,采用均匀体标样法、剖面二次离子强度积分法和LSS理论关系计算获得了比较一致的、且与手册值接近的GaAs中硅元素相对灵敏度因子值。将相对灵敏度因子法应用于双能量、双剂量硅离子注入GaAs样品及分子束外延多层GaAs膜渗硅的SIMS定量分折中。从实验结果初步讨论了GaAs中氧和碳元素的存在对28Si-、103SiAs-二次离子信号强度的影响,28SiAs-和103Si-二次离子信号强度的线性关系和可靠性。 相似文献
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采用复合靶共溅射技术制备纳米GaAs晶粒镶嵌在a-SiO2中的复合薄膜。通过控制淀积时基片的温度,调节靶面GaAs的百分比,可制备出不同GaAs晶粒尺度与体积百分比的薄膜。 相似文献
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采集GaAs/Si界面的各个深度剖面的俄歇线形,试图获得局域态密度变化的信息。俄歇信号经过小心处理和一系列修正以消除失真,同时俄歇线形分析藉助因子分析来进行。发现在界面中两咱化学态并存,某些Si原子与As原子键合,并且每个Si原子将有0.3个P电子转移至As原子上,而其他Si原子保持纯Si元素的Si-Si键。 相似文献
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利用二次离子质谱系统地研究了生长温度,Al组分X值和As4夺强对Siδ掺杂AlxGa1-xAs的SIMS深度剖面,Si原子表面分凝和向衬底扩散的影响。实验发现,在外延生长Siδ掺杂AlxGa1-xAs时,随着生长温度的提高或Al组份X值增加,Si掺杂分布SIMS峰都非对称展宽,表面分凝作用加强,但不影响Si原子的扩散,因此SIMS剖面的展宽与扩散无关。 相似文献
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利用二次离子质谱(SIMS)系统地研究了生长温度,Al组份x值和As_4压强对Siδ掺杂Al_xGa_(1-x)As的SIMS深度剖面,Si原子表面分凝和向衬底扩散的影响。实验发现,在外延生长Siδ掺杂Al_xGa_(1-x)As时,随着生长温度的提高或Al组份X值增加,Si掺杂分布SIMS峰都非对称展宽,表面分凝作用加强,但不影响Si原子的扩散,因此SIMS剖面的展宽与扩散无关。另外,我们还发现As_4压强高于1.5×10 ̄(-5)mbar时,As_4压强对δ掺杂空间分布影响不大,而As_4压强低于此压强时,Si掺杂分布峰宽度增加很快,这主要由杂质扩散作用引起。生长温度对掺杂分布峰影响最大,其次是Al组份影响,而较小As_4压强的影响不可忽视。这些研究结果对外延生长Siδ掺杂Al_xGa_(1-x)As材料是有价值的。 相似文献
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对Si在电液相外延Ga-Al-As-Si系统中的两性掺杂行为进行了研究。提出了一种恒温生长Ga_(1-x)Al_xAs:Sip-n结的新方法,对这种p-n结的成因作了定性的解释,并对这种p-n结的电特性加以观察。 相似文献
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分子束外延生长GaAs中δ掺杂研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用二次离子质谱(SIMS)和电化学剖面C-V方法研究了生长温度对GaAs中理想Siδ掺杂的结构的偏离和掺杂原子电微活效率的影响。实验发现,外延生长Siδ掺杂,GaAs时,随着生长温度的升高,Si掺杂分布SIMS峰非对称展宽。表面分凝作用加强,但不影响Si原子扩散。另外,Si施主电激活效率随着生长温度的提高而增大。 相似文献
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Xie Xiaopeng Xie Youbai Theory of Lubrication Bearing Institute Xi an Jiaotong University Xi an P.R. China 《国际设备工程与管理》1998,(1)
DiagnosisSystemforJournalBearingsontheBasisofSpectrographandFerrographyAnalysisXieXiaopengXieYoubaiTheoryofLubricationandBear... 相似文献
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本文用GSMBE技术生长纯度GaAs和δ-掺杂GaAs/Al_xGa_(1-x)As结构二维电子气材料并对其电学性能进行了研究。对于纯度GaAs的GSMBE生长和研究,在低掺Si时,载流子浓度为2×10~(14)cm~(-3),77K时的迁移率可达84,000cm~2/V.s。对于用GSMBE技术生长的δ-掺杂GaAs/Al_xGa_(1-x)As二维电子气材料,在优化了材料结构和生长工艺后,得到了液氮温度和6K迁移率分别为173,583cm~2/V.5和7.67×10~5cm~2/V.s的高质量GaAs/Al_xGa_(1-x)As二维电子气材料。 相似文献
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《国际设备工程与管理》1996,(1)
TimeFrequency(scale)AnalysisandDiagnosisforNonstationaryDynamicSignalsofMachineryHeZhengjiaMengQingfengZhaoJuyuanLiuXinmingDe... 相似文献
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Li Chengren Marine Engineering Institute Northwestern Polytechnical University Xi''''an P.R.China 《国际设备工程与管理》1997,(4)
A-B7300CNCMachineToolRebuildingLiChengrenMarineEngineeringInstitute,NorthwesternPolytechnicalUniversityXi’an,710072,P.R.China... 相似文献
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TechnicalInnovationinaBalancingMachinewithMicrocomputerZhangJinDongfeng-CitroenAutomobileCompanyLtd.AbstractThispaperdiscuses... 相似文献
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浅析影响瓦楞纸箱粘合强度的因素TheFactorAfectingAdherenceofCorrugatedBoxes胡文堂*HuWentangAdherenceisoneofthemostimportantphysicalper-formancefo... 相似文献
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纳米GaAs—SiO镶嵌复合薄膜的发光特性 总被引:3,自引:0,他引:3
采用射频磁控共溅射法制备了纳米GaAs-SiO2镶嵌复合薄膜。通过X射线衍射、透射电镜观察和X射线光电子能谱等手段研究了薄膜的结构及其与沉积过程中基片温度间的关系。测量了薄膜的光致发光特性。表明,薄膜由晶态的GaAs及非晶Sdisplay status两相组成,GaAs在沉积过程中未明显氧化且以纳米颗粒形式均匀地弥散;GaAs的平均粒径依赖于沉积时的基片温度。通过控制基片温度,成功地获得了GaAs的平均粒径分 相似文献
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Li Baowen Technological Faculty of Maintenance Engineering Guangzhou University Guangzhou P.R. China 《国际设备工程与管理》1996,(1)
StudyonFaultDictionaryLiBaowenTechnologicalFacultyofMaintenanceEngineeringGuangzhouUniversityGuangzhou,510091,P.R.ChinaAbstra... 相似文献
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数据库管理系统汉字拼音首字母检索码的生成与使用 总被引:1,自引:0,他引:1
叙述了在Visual Basic 5.0+Offce97的Acess环境下,利用开发的数据库软件生成汉语词仁拼音首字母检索码,及其在数据库管理系统中的应用。 相似文献