多晶硅表面微机械光学角速率传感器

多晶硅表面微机械技术是微机电系统（Ｍｉｃｒｏｅｌｅｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ,ＭＥＭＳ）中重要的加工技术。本文采用这种加工技术,提出了一种基于Ｓａｇｎａｃ效应的新型微机械学光角速率传感器（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｒｏｔａｔｉｏｎ Ｓｅｎｓｏｒ,（ＯＲＳ）。由于采用ＭＥＭＳ的最新技术,安将是一种低成本、微型化的ＯＲＳ,文中给出了ＯＲＳ中环形谐振腔的设计和基本理论分析,并提出了电路和控制系统的     

静电场耦合微机电系统的动态模型

研究静电场耦合微机电系统（Ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ,简记为 ＭＥＭＳ）的动态模型问题。首先,给出了耦合静电场的输入／输出两端点对模型,讨论了微机电系统的独立变量对的选择与分析方法。其次,叙述了所研制的典型微结构,包括ＳＥＭ照片、有限元分析的振动模态,以及简化模型。第三,分析了ＭＥＭＳ传感器系统的静电场与静电力表达式、动力学方程,以及开环和闭环传递函数。第四,给出了ＭＥＭＳ传感器系统的实测频率特性和等效模型参数,并且根据以上分析和试验结果,提出了几点有重要意义的结论。     

微型光机电系统

微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。     

三维参数化设计中零部件间的干涉检查

本文讨论了在ＡｕｔｏＣＡＤ中，利用ＡＭＥ的Ａｕ－ｔｏＬＩＳＰ函数对三维真立体进行参数化设计，利用ＡＭＥ中的布尔交运算来检查零部件的干涉问题。     

微型机电系统的计算机辅助设计系统简介

虽然微型机电系统的制造通常使用基于集成电路工艺的平面制造技术,但由于ＭＥＭＳ器件的三维特性,使它与ＩＣ的制造有很大不同。而且,它涉及复杂的多能量域问题,给设计分析带来一较大难度。为加快ＭＥＭＳ的设计过程,需要有相应的计算机辅助设计系统（ＭＥＭＳＣＡＤ）。文中介绍了ＭＥＭＳＣＡＤ的系统结构及国外的发展现状。     

CIMS环境下的工程设计数据管理系统研究与开发

工程设计集成系统是ＣＩＭＳ的重要组成部分,而工程设计数据管理系统是ＣＩＭＳ信息集成的重要支撑。这里分析了ＣＩＭＳ环境下工程设计数据及其管理的特点,提出ＣＩＭＳ环境下工程设计数据管理系统（ＣＩＭＳ／ＥＤＢＳ）设计目标,结构框架,并对其进行深入讨论,是后,开发一个面向中小型企业的ＣＩＭＳ／ＥＤＢＳ系统。     

Smar的现场总线基本系统

ＳＭＡＲ的第３代系统———ＳＹＳＴＥＭ３０２是公司集中总结近２０年在系统工程和设计方面的经验和４年现场总线现场经验,采用数字技术、分散控制和ＤＣＳ的长处基础上形成的,ＳＹＳＴＥＭ３０２是全数字的现场总线控制系统（ＦＣＳ）。ＳＹＳＴＥＭ３０２解决了全部软件升级并且硬件已获得奖项（１）,ＳＹＳＴＥＭ３０２硬件平台完全建立在领先地位,非常容易使用,技术符合ＦＯＵＮＤＡＴＩＯＮ现场总线和ＥＴＨＥＲＮＥＴ网络,并且软件平台建立在ＷＩＮＤＯＷＳＮＴ和ＯＰＣ（ＯＬＥ过程处理）基础上。这些开放的技术使得用户从…     

一种基于电磁型微马达的微摩擦测试装置

随着ＭＥＭＳ技术的发展,人们迫切需要对微观世界的摩擦现象进行研究测试,以求发现宏观与微观世界中摩擦现象的联系和区别,但由于测试条件的限制,现在还很难对微观世界进行直接测试。文中提出了一种全新的微小摩擦测试方法－－间接测量法,利用了微型马代同时作为驱动元件和测试元件,通过分析微马达在施加力前后其运动特性的改变,间接地计算出微小摩擦力的大小。文中对测试机理和系统实现做了详细介绍。     

SEW电子产品介绍--交流电机用数字变频器

以微处理器控制的ＳＥＷＭＯＶＩＴＲＡＣ变频器为ＳＥＷ交流电机及制动电机提供了电子无级变速控制。ＭＯＶＩＴＲＡＣ为安装在配电箱内而特别设计 ;同时 ,它的集约化生产及快速反应 ,使产品生产周期缩短 ,同时 ,也简化了维修工作。基本型的产品只以单象限操作 ,亦即只有电子式反转 ,没有再生制动 ;如果添加断路器与制动电阻 ,就可以四象限操作 ,即双转向驱动与再生制动。ＳＥＷ变频器ＭＯＶＩＴＲＡＣ满足ＥＭＣ标准ＥＮ５００８１和ＥＮ５００８２ ,作为先决条件 ,就将电子设备接到ＥＭＣ指令８９／３３６ＥＥＣ上 ,而ＥＭＣ的安装要准确…     

基于O—O的CIMOSA企业工程工具集CAEET的研究

ＣＩＭＯＳＡＣＡＥＥＴ计算机辅助企业工程工具集是用以帮助ＣＩＭＳ用户快速、规范地建立ＣＩＭＯＳＡ模型的计算机辅助工具集。本文重点介绍了基于Ｗｉｎｄｏｗｓ应用Ｔｏｏｌｂｏｏｋ开发的ＣＡＥＥＴ／ＦＶ功能视图工具的结构框架，采用面向对象的程序设计方法实现ＣＡＥＥＴ／ＦＶ的方法。     

Investigation on a cylindrical ultrasonic micromotor

The relationship between the arrangement of ceramics and the force coefficient shows that the maximum excitation efficiency will be obtained when the ceramics are placed at the trough of the first bending mode of the stator. Therefore, a cylindrical ultrasonic micromotor with a novel stator is proposed. The prototype motor is 5 mm in diameter, 30 mm in length and 4.2 g in weight. The micromotor operates with the first bending mode at 53 kHz. Its maximum speed is 350 r/min when the drive voltage is 200 V and the stall torque reaches 2.5 mN · m. As this motor is suitable for miniaturization because of its simple structure, another cylindrical ultrasonic micromotor is developed. Piezoelectric ceramic tube is used as its stator. This micromtor is 2 mm in diameter, 7 mm in length and 0.258 g in weight. Its speed reaches 813 r/min when the drive voltage is 60 V at 75 kHz. The operation mechanism, structure and design method of these two motors are introduced. __________ Translated from Proceedings of the CSEE, 2006, 26(12): 128–133 [译自: 中国电机工程学报]     

MEMS器件的计算机辅助设计与模拟

概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程,分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题,讨论了目前采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米／纳米镊子实例,分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接,所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。     

电磁型平面微电机及其制作工艺

为得到一种尺寸小、输出力矩大、转速高的直流可调速微电机,提出了一种利用微机械加工工艺制作微电机的方法。定子和转子都做成平面结构,定子线圈采用了平面型、无槽式集中绕组;线圈之间采用了三相星形连接方式,采用了微机械LIGA工艺和硅微机械加工工艺;转子采用钕铁硼永磁材料,进行轴向充磁,成辐射状间隔分布。装配时转子分布于定子两侧,不但减小了电机尺寸,还有利于定子的散热。把装配完毕的微电机接通三相半控控制电路对其转速和力矩进行了测试,测试结果表明,电机运转平稳,输出力矩大。     

Application of modified molecular gas lubrication equation to the analysis of micromotor bushings

The microtribological phenomena have important effects on microelectro-mechanical systems (MEMS), especially when relative motion is required (e.g. microactuators). From the design concept of self-acting bearings (e.g. the flying head in a magnetic recording system), some step-shaped bushings beneath the rotor of a micromotor are considered and analyzed quantitatively. The modified molecular gas lubrication equation (MMGL) is utilized to analyze the step-shaped bushings. The results show that the coupling effects of roughness and gas rarefaction are significant and important in the design of bushings.     

Design and analysis of millimeters-scale omnidirectional mobile microrobot for microfactories

An omnidirectional mobile microrobot with a 9 mm × 8 mm × 8 mm size is introduced. The microrobot is driven by three electromagnetic micromotors with 2 mm diameter, two of which are for linear movement and the third one for steering. Dynamics is analyzed to present the relationship between the micromotor torque and the dual-wheel structure size as well as the frictions. Experiment results show that the microrobot payload ability can satisfy the requirements of conveying tasks in microfactories.     

非接触法在微电机力矩测试中的应用

为解决温度、振动、摩擦力、空气流动等因素对微电机力矩测试精度影响大的问题,提出了利用非接触法对微牛·米级微电机输出力矩进行测试的测量方法。对自行研制的测试设备——微力矩测试仪的工作原理及测试精度进行了详细分析。用所提出的测试方法和设备对电磁式微电机的力矩特性进行了测量,测试结果表明:该测试方法测量精度高,能够满足微牛·米级微电机力矩特性测试的要求。     

静电微电机及其可靠性分析

自1987年首台静电微电机诞生以来，微电子机械系统(micro-electro-mechanical system，MEMS)的研究和开发已取得突破性进展。对静电微电机的可靠性研究现状进行综述，介绍静电微电机主要结构元件呈现的失效模式和机理，以及摩擦、磨损、粘附等特性对微电机运行稳定性的影响，从不同角度探讨减少微电机失效的问题，介绍各种测试方法、检测仪器、润滑抗粘附材料和解决方案，并对相关领域的工作进展进行总结和展望。     

卧式板型直线超声电机的微型化

基于L1B4板型直线超声电机,研制了一种外型尺寸为36mm×5mm×4mm的卧式板型微型直线超声电机。论述了电机的工作原理和运行机理,使用解析法和有限元法进行了微型化结构设计,分析了定子的振动模态,并实现了频率简并。通过模拟压电激励的动态频率响应,对比了样机的5片压电陶瓷布置方案和常用的两片压电陶瓷布置方案的共振位移响应曲线,证实了采用5片压电陶瓷布置方案增大了输出端点处产生的振动位移。样机特性测试实验表明,当激励信号电压为150Vpp,频率为62kHz时,电机最大速度为183.7mm/s,输出推力为50mN。预期该电机可以用于电机安置空间比较狭窄且需要一定动力的直线驱动场合。     

Design and analysis of millimeters-scale omnidirectional mobile microrobot for microfactories

An omnidirectional mobile microrobot with a 9 mm × 8 mm × 8 mm size is introduced. The microrobot is driven by three electromagnetic micromotors with 2 mm diameter, two of which are for linear movement and the third one for steering. Dynamics is analyzed to present the relationship between the micromotor torque and the dual-wheel structure size as well as the frictions. Experiment results show that the microrobot payload ability can satisfy the requirements of conveying tasks in microfactories. __________ Translated from Robot, 2007, 29(5): 423–427 [译自: 机器人]     

压电微马达有限元分析及实验研究

压电微马达是微型机械领域中的一个崭新课题,本文从动力学角度对压电微马达进行有限元分析,得出固有频率和定子表面切应力场等重要结论,并通过模型样机实验研究验证有限元分析结论的正确性,从而为压电微马达的优化设计奠定了基础。