MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计

为了实现MEMS薄膜材料参数的在线测试,设计了MEMS薄膜吸合电压在线测试系统.该测试系统由测控软件、测试硬件平台与测试微结构构成,能够全自动地快速完成薄膜吸合电压的在线测试,并立即输出薄膜的杨氏模量与残余应力.测试系统最大可测试100 V的吸合电压,测试精度为±1.0 V.最后对由标准牺牲层加工工艺制作的多晶硅双端固支梁进行了测试实验,并给出了测试数据,实验结果表明本测试系统具有高精度、快速测试的优点,适合于工业生产的大批量测试需求.     

MEMS薄膜热导率测试结构

系统分析了具有代表性的半导体薄膜热导率测试结构的模型，结构特点，测量方法及不足；对表面加工和CMOS工艺，需要进行测试结构的合理设计和提高薄膜热导率测量的精确度。     

微机械薄膜应力的在线测试结构

微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响，因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法，详细分析了各种方法的特点。对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值。     

基于MEMS技术和无线射频网络的人体 健康参数采集系统

结合MEMS技术和无线射频技术,提出了一种新型的人体健康参数采集方法.基于此方法设计了一种便携式、低成本的人体健康参数采集系统.介绍了系统的测量原理以及硬件和软件设计.该系统测量体温的精度为±0.5℃,测量血压的精度为±1 mmHg,在可靠通讯距离下无线数据传输的实际乱码为0.     

电力系统在线数据采集系统的研制

介绍了一种可用于电力系统在线监测的数据采集系统。描述了系统的硬件构成和软件实现。该系统能够用于电力系统在线数据采集，能获得较好的采样速率和采集精度。     

基于虚拟仪器的薄膜材料拉伸测试系统

光致弯曲薄膜材料在微机电系统中有着巨大的应用前景,而材料基本物理参数的测试是重要的基础性工作.鉴于现有的薄膜材料拉伸测试机不能满足微尺度条件下的测试需要或者较为昂贵,设计出一种薄膜材料拉伸测试系统,能够精确均匀加载,并运用LabVIEW编程设计出拉伸测试虚拟仪器,实现数据采集、分析、处理和存储,以及控制信号输出.该系统具有分辨率高的优点,位移分辨率和力分辨率分别可达1μm和1mN,满足了微小尺度薄膜试验的需要.     

基于在线压缩的数据采集存储系统

在高速数据采集存储系统中,随着数据存储速度需求越来越高,数据带宽和计算能力的快速增长,存储性能越来越成为系统性能的瓶颈。为此,设计并实现一个基于在线压缩的数据采集存储系统。该系统通过提供一套简单的API,实现自身的灵活性以及高可集成性。系统允许用户注册自己的压缩算法,同时向用户屏蔽压缩数据的管理,并且对数据压缩以及存储过程进行优化。实验结果表明,在数据达到一定压缩率情况下,该系统显著地减少数据存储时间,提高了系统的存储速率,同时提高了存储空间利用率。     

在线气相色谱仪数据采集系统的开发

在气相色谱仪的气路系统部分 ,检测载气、辅助气和气路系统气体的流量和压力是选择最佳操作条件必不可少的。本系统应用微处理器对气路流量和压力进行在线检测 ,提高了气相色谱仪的智能化水平。图 1　系统结构图1　系统组成系统由一个主控模块和 8个数据采集模块组成 ,系统结构如图 1所示。数据采集模块将传感器采集的模拟信号进行A/D转换 ,通过RS - 485串行通信网络与主机进行数据交换。主控模块的液晶屏显示压力和流量值 ,键盘用于选择从机和回路数。2　硬件设计2 .1　主控模块主控模块中主机采用ATMEL公司的AT89C5 1单片机。AT89C5…     

基于PCI数据采集卡的飞机电气参数测试系统

针对不同型号飞机机载电气系统要满足不同的飞机供电特性标准的特点,介绍了一种基于DAQ-2010高速数据采集卡和CPLD(复杂可编程逻辑电路)的高性能、多用途电气参数测试系统。该系统精度高、速度快、通道多,能够满足多种测试标准的要求,具有成本低、操作简单、使用方便等优点。实际运行表明:系统工作稳定、可靠性高、具有很好的实际应用价值。     

埋入式义齿电容压力传感器在线检测系统

本文详细给出了一种埋入式义齿电容压力传感器在线检测系统.作为义齿治疗的客观化辅助系统.系统在硬件上采用电容式压力传感器完成作用力信号采集,用UA303型A/D采集器作为计算机接口,以计算机作为人机交互、软件处理和显示终端.在软件上,用VC 6.0开发了在线检测系统.系统可实时观察义齿作用力,使义齿下方粘膜及粘膜下方的骨组织所承受的作用力达到有利于支持组织健康的范围.结果表明测量系统具有实时性、系统可靠、界面友好,易于操作以及系统可扩展性强等优点.     

MEMS近红外光谱仪信号采集系统设计

基于MEMS的近红外光谱仪以其较小的体积和便携性能已成为当下研究的热点,然而其光信号采集对噪声的抑制以及同步有很高要求。采用FPGA和ARM作为控制处理器,设计并实现了低噪声信号调理电路,完成光信号的高速同步采集;通过高速USB,与光谱处理器进行数据交互,实现数据高速传输。     

基于SD卡的微温脉动仪数据采集系统设计与实现

望远镜圆顶附近的温度变化等对望远镜成像质量的影响称为圆顶视宁度。为了检测圆顶温度的变化,本文设计基于SD卡的微温脉动仪数据采集系统,用来监测望远镜圆顶周围环境微温变化,实验结果表明,该采集系统可以实现多通道大量采集数据的功能。在实测中,对望远镜圆顶的设计具有实际意义。     

MEMS加速度传感器标定测试采集系统的设计

在传统MEMS加速度传感器标定设备的基础上,设计了一套基于以太网传输的20路传感器信号自动采集系统.W5300芯片作为硬件采集卡的核心,Visual Studio+QT作为上住机软件的开发平台.传感器产生的电压信号经过A/D采样,经由以太网收发模块将采集的数据通过网线传输给计算机.系统具有多通道连续采集、参数设置、数据存储、多路实时显示波形的功能.简化了数据采集过程,解决了因数据拥堵导致的数据丢失的问题,提高了标定测试采集效率.     

基于VB与研华数据采集卡的数据采集系统设计

根据DC600V青藏发电车电源检测的需要,利用研华数据采集卡搭建数据采集系统的硬件平台,介绍系统的硬件结构和软件结构,在此基础上以VB 6.0为平台,采用中断触发方式进行数据采集,实现数据的实时采集、动态显示等,并利用VB和SQL数据库技术,建立设备数据库,为用户提供机车运行状态的诊断和预测。实验证明该系统稳定性好、准确性高。     

基于C++ Builder的自动变速器电控单元实车试验数据采集系统

本文阐述了基于Borland C Builder开发的自动变速器电控单元(ECU)实车试验的数据采集系统，通过对系统硬件结构、软件编制核心步骤的描述。详细介绍了系统的开发过程。本数据采集系统为自动变速器电控单元的开发提供了重要的测试平台。     

基于TMS320F2812的陀螺信号实时采集处理系统

目前MEMS陀螺的精度还不是很高,为了降低MEMS陀螺的噪声,改善非线性性能,提高其精度,提出了采用TI公司新一代的数字信号处理器TMS320F2812和DSP/BIOS实时操作系统的MEMS陀螺信号实时采集与处理系统,对陀螺信号进行降噪、温度补偿、非线性补偿处理;在DSP/BIOS多任务机制下实现数据采集、处理、传输的并行化,同时采用小波信号除噪和补偿算法对信号进行处理;该系统处理时间短,可以满足陀螺使用要求,算法简单有效,可以显著降低陀螺噪声;实用表明使用高速DSP器件并采用有效的信号处理方法可以显著地改善MEMS陀螺的性能.     

基于CPLD的数据采集系统的设计

通过对一般数据采集系统的特点了功能分析,提出了一种通过CPLD实现对多个通道的高速模拟数据采集的设计,本系统可实现每0.01 ms采集一路数据,具备先完成数据采集并存储,然后通过单片机进行数据的后续处理能力.设计使用一片CPLD完成A/D采样控制、数据存储、通道选择控制的集成.     

基于LabVIEW的远程数据采集系统

为满足复杂环境下远程数据采集的需求,开发出了以LabVIEW为虚拟仪器软件开发平台,采用非NI公司的普通数据采集卡的嵌入式远程数据采集系统。该系统在远程及本地提供友好的人机界面,实现数据的采集、保存、回读、波形显示和报警等功能。实际运用表明,该系统操作简单,远程数据采集过程具有良好的稳定性和可靠性。